குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் மாசுபாட்டின் மூலங்கள் மற்றும் தடுப்பு முறைகள்

குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் முக்கியமாக தனித்தனி சாதனங்கள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் அவற்றின் பேக்கேஜிங் செயல்முறைகள் அடங்கும்.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை மூன்று நிலைகளாகப் பிரிக்கலாம்: தயாரிப்பின் உடல் மூலப்பொருள் உற்பத்தி, தயாரிப்புவேஃபர்உற்பத்தி மற்றும் சாதன ஒருங்கிணைப்பு. அவற்றுள், தயாரிப்பு வேஃபர் உற்பத்தி நிலையே மிகவும் கடுமையான மாசுபாட்டை ஏற்படுத்துகிறது.
மாசுபடுத்திகள் முக்கியமாக கழிவுநீர், கழிவு வாயு மற்றும் திடக்கழிவு எனப் பிரிக்கப்படுகின்றன.

சிப் உற்பத்தி செயல்முறை:

சிலிக்கான் வேஃபர்வெளிப்புற அரைத்தல் - சுத்தம் செய்தல் - ஆக்சிஜனேற்றம் - சீரான மின்தடை - ஒளிக்கல்லச்சு - உருவாக்கம் - அரித்தல் - பரவல், அயனிப் பதியவைத்தல் - வேதி ஆவிப் படியவைத்தல் - வேதி இயந்திர மெருகூட்டல் - உலோகப்பூச்சு, முதலியன.

 

கழிவுநீர்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் பேக்கேஜிங் சோதனையின் ஒவ்வொரு செயல்முறைக் கட்டத்திலும் அதிக அளவு கழிவுநீர் உருவாகிறது. இதில் முக்கியமாக அமில-காரக் கழிவுநீர், அம்மோனியா கலந்த கழிவுநீர் மற்றும் கரிமக் கழிவுநீர் ஆகியவை அடங்கும்.

 

1. புளோரின் கலந்த கழிவுநீர்:

ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம் அதன் ஆக்ஸிஜனேற்ற மற்றும் அரிக்கும் பண்புகளின் காரணமாக, ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய கரைப்பானாகிறது. இந்தச் செயல்முறையில் ஃப்ளூரின் கலந்த கழிவுநீர் முக்கியமாக சில்லு உற்பத்திச் செயல்முறையில் உள்ள பரவல் செயல்முறை மற்றும் இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல் செயல்முறையிலிருந்து வருகிறது. சிலிக்கான் தகடுகள் மற்றும் அது தொடர்பான கருவிகளைச் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறையிலும் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் பலமுறை பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்தச் செயல்முறைகள் அனைத்தும் பிரத்யேக பொறித்தல் தொட்டிகள் அல்லது சுத்தம் செய்யும் உபகரணங்களில் முடிக்கப்படுவதால், ஃப்ளூரின் கலந்த கழிவுநீரைத் தனியாக வெளியேற்ற முடியும். அதன் செறிவின் அடிப்படையில், இதை அதிக செறிவுள்ள ஃப்ளூரின் கலந்த கழிவுநீர் மற்றும் குறைந்த செறிவுள்ள அம்மோனியா கலந்த கழிவுநீர் எனப் பிரிக்கலாம். பொதுவாக, அதிக செறிவுள்ள அம்மோனியா கலந்த கழிவுநீரின் செறிவு 100-1200 மி.கி/லி வரை இருக்கலாம். பெரும்பாலான நிறுவனங்கள், உயர் நீர் தரம் தேவைப்படாத செயல்முறைகளுக்காக இந்தக் கழிவுநீரின் பகுதியை மறுசுழற்சி செய்கின்றன.

2. அமில-காரக் கழிவுநீர்:

ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்திச் செயல்முறையில் உள்ள ஏறக்குறைய ஒவ்வொரு செயல்முறைக்கும் சில்லு சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும். தற்போது, ​​ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்திச் செயல்முறையில் கந்தக அமிலம் மற்றும் ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு ஆகியவை மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சுத்தப்படுத்தும் திரவங்களாகும். அதே நேரத்தில், நைட்ரிக் அமிலம், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் மற்றும் அம்மோனியா நீர் போன்ற அமில-கார வினைப்பொருட்களும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உற்பத்திச் செயல்முறையின் அமில-காரக் கழிவுநீர் முக்கியமாக சிப் உற்பத்திச் செயல்முறையில் உள்ள சுத்திகரிப்பு செயல்முறையிலிருந்து வருகிறது. பேக்கேஜிங் செயல்முறையில், மின்முலாம் பூசுதல் மற்றும் வேதியியல் பகுப்பாய்வின் போது சிப் அமில-காரக் கரைசலுடன் பதப்படுத்தப்படுகிறது. இந்தப் பதப்படுத்தலுக்குப் பிறகு, அமில-காரக் கழுவும் கழிவுநீரை உற்பத்தி செய்ய, அதைத் தூய நீரால் கழுவ வேண்டும். மேலும், சோடியம் ஹைட்ராக்சைடு மற்றும் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் போன்ற அமில-கார வினைப்பொருட்கள், தூய நீர் நிலையத்தில் எதிர்மின் அயனி மற்றும் நேர்மின் அயனி ரெசின்களை மீளுருவாக்கம் செய்து அமில-கார மீளுருவாக்கக் கழிவுநீரை உற்பத்தி செய்யப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அமில-காரக் கழிவு வாயு கழுவும் செயல்முறையின் போது கழுவும் வால் நீரும் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி நிறுவனங்களில், அமில-காரக் கழிவுநீரின் அளவு குறிப்பாக அதிகமாக உள்ளது.

3. கரிமக் கழிவுநீர்:

வெவ்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகள் காரணமாக, குறைக்கடத்தித் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் கரிமக் கரைப்பான்களின் அளவு மிகவும் வேறுபடுகிறது. இருப்பினும், சுத்திகரிப்புப் பொருட்களாக, உற்பத்தி மற்றும் பேக்கேஜிங்கின் பல்வேறு நிலைகளில் கரிமக் கரைப்பான்கள் இன்னமும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சில கரைப்பான்கள் கரிமக் கழிவுநீர் வெளியேற்றமாக மாறுகின்றன.

4. இதர கழிவுநீர்:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் எச்சிங் செயல்பாட்டில், கிருமி நீக்கம் செய்வதற்காக அதிக அளவு அம்மோனியா, ஃபுளூரின் மற்றும் உயர் தூய்மை நீர் பயன்படுத்தப்படும். இதன் விளைவாக, அதிக செறிவுள்ள அம்மோனியா கலந்த கழிவுநீர் வெளியேற்றம் உருவாகிறது.
குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில் மின்முலாம் பூசுதல் செயல்முறை அவசியமாகிறது. மின்முலாம் பூசிய பிறகு சில்லு சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும், மேலும் இந்தச் செயல்பாட்டில் மின்முலாம் பூசுதல் சுத்திகரிப்புக் கழிவுநீர் உருவாகும். மின்முலாம் பூசுதலில் சில உலோகங்கள் பயன்படுத்தப்படுவதால், அந்த மின்முலாம் பூசுதல் சுத்திகரிப்புக் கழிவுநீரில் ஈயம், தகரம், வட்டு, துத்தநாகம், அலுமினியம் போன்ற உலோக அயனி வெளியேற்றங்கள் ஏற்படும்.

 

கழிவு வாயு

குறைக்கடத்தி செயல்முறைக்கு இயக்க அறையின் தூய்மை குறித்து மிக உயர்ந்த தேவைகள் இருப்பதால், செயல்முறையின் போது ஆவியாகும் பல்வேறு வகையான கழிவு வாயுக்களை வெளியேற்ற பொதுவாக விசிறிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எனவே, குறைக்கடத்தித் துறையில் கழிவு வாயு வெளியேற்றங்கள் அதிக வெளியேற்ற அளவு மற்றும் குறைந்த வெளியேற்றச் செறிவு ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன. கழிவு வாயு வெளியேற்றங்களும் முக்கியமாக ஆவியாகின்றன.
இந்தக் கழிவு வாயு வெளியேற்றங்களை முக்கியமாக நான்கு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: அமில வாயு, கார வாயு, கரிமக் கழிவு வாயு மற்றும் நச்சு வாயு.

1. அமில-காரக் கழிவு வாயு:

அமில-காரக் கழிவு வாயு முக்கியமாகப் பரவல் மூலம் உருவாகிறது.சிவிடிவேஃபரை சுத்தம் செய்ய அமில-கார சுத்திகரிப்பு கரைசலைப் பயன்படுத்தும் CMP மற்றும் எச்சிங் செயல்முறைகள்.
தற்போது, ​​குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்முறையில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சுத்தப்படுத்தும் கரைப்பான், ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு மற்றும் சல்பூரிக் அமிலம் ஆகியவற்றின் கலவையாகும்.
இந்த செயல்முறைகளில் உருவாகும் கழிவு வாயுவில், சல்பூரிக் அமிலம், ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம், நைட்ரிக் அமிலம் மற்றும் பாஸ்பரஸ் அமிலம் போன்ற அமில வாயுக்களும், முக்கியமாக அம்மோனியா என்ற கார வாயுவும் அடங்கியுள்ளன.

2. கரிமக் கழிவு வாயு:

கரிமக் கழிவு வாயு முக்கியமாக ஒளிக்கல்லச்சு, உருவாக்கம், அரித்தல் மற்றும் பரவல் போன்ற செயல்முறைகளிலிருந்து உருவாகிறது. இந்த செயல்முறைகளில், வேஃபரின் மேற்பரப்பைச் சுத்தம் செய்ய கரிமக் கரைசல் (ஐசோபுரோப்பைல் ஆல்கஹால் போன்றவை) பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் ஆவியாதலால் உருவாகும் கழிவு வாயு, கரிமக் கழிவு வாயுவின் ஆதாரங்களில் ஒன்றாகும்.
அதே நேரத்தில், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி மற்றும் எச்சிங் செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்டில், பியூட்டைல் ​​அசிடேட் போன்ற ஆவியாகும் கரிமக் கரைப்பான்கள் உள்ளன. இவை வேஃபர் செயலாக்க செயல்முறையின் போது வளிமண்டலத்தில் ஆவியாகி, கரிமக் கழிவு வாயுவின் மற்றொரு ஆதாரமாக அமைகின்றன.

3. நச்சுக் கழிவு வாயு:

நச்சுக் கழிவு வாயு முக்கியமாக படிக எபிடாக்ஸி, உலர் அரித்தல் மற்றும் CVD போன்ற செயல்முறைகளிலிருந்து உருவாகிறது. இந்த செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் (SiHj), பாஸ்பரஸ் (PH3), கார்பன் டெட்ராகுளோரைடு (CFJ), போரேன், போரான் ட்ரைஆக்சைடு போன்ற பல்வேறு உயர் தூய்மை கொண்ட சிறப்பு வாயுக்கள் வேஃபரைச் செயலாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சில சிறப்பு வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை வாய்ந்தவை, மூச்சுத்திணறலை ஏற்படுத்தக்கூடியவை மற்றும் அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை.
அதே நேரத்தில், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இரசாயன ஆவிப் படிவுக்குப் பிறகு நடைபெறும் உலர் அரித்தல் மற்றும் சுத்தப்படுத்தும் செயல்முறையில், NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6 போன்ற அதிக அளவிலான முழு ஆக்சைடு (PFCS) வாயு தேவைப்படுகிறது. இந்த பெர்ஃப்ளூரினேட்டட் சேர்மங்கள் அகச்சிவப்பு ஒளிப் பகுதியில் வலுவான உறிஞ்சுதலைக் கொண்டிருப்பதோடு, வளிமண்டலத்தில் நீண்ட காலம் நிலைத்திருக்கின்றன. இவை பொதுவாக உலகளாவிய பசுமை இல்ல விளைவின் முக்கிய ஆதாரமாகக் கருதப்படுகின்றன.

4. பேக்கேஜிங் செயல்முறைக் கழிவு வாயு:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையுடன் ஒப்பிடுகையில், குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறையால் உருவாகும் கழிவு வாயு ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது; இதில் முக்கியமாக அமில வாயு, எப்பாக்சி ரெசின் மற்றும் தூசி ஆகியவை அடங்கும்.
மின்முலாம் பூசுதல் போன்ற செயல்முறைகளில் அமிலக் கழிவு வாயு முக்கியமாக உருவாகிறது;
பொருளைப் பசை கொண்டு ஒட்டி மூடிய பிறகு, பேக்கிங் செய்யும் செயல்பாட்டின் போது பேக்கிங் கழிவு வாயு உருவாகிறது;
வேஃபர் வெட்டும் செயல்முறையின் போது, ​​துண்டாக்கும் இயந்திரம் மிகச்சிறிய அளவிலான சிலிக்கான் தூசியைக் கொண்ட கழிவு வாயுவை உருவாக்குகிறது.

 

சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு பிரச்சினைகள்

குறைக்கடத்தித் துறையில் ஏற்படும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு பிரச்சனைகளுக்குத் தீர்க்கப்பட வேண்டிய முக்கியப் பிரச்சினைகள் பின்வருமாறு:
· ஒளிக்கல்லச்சு செயல்முறையில் காற்று மாசுபடுத்திகள் மற்றும் ஆவியாகும் கரிம சேர்மங்கள் (VOCs) பெருமளவில் வெளியேறுதல்;
பிளாஸ்மா அரித்தல் மற்றும் இரசாயன ஆவிப் படிவு செயல்முறைகளில் பெர்ஃப்ளூரினேட்டட் சேர்மங்களின் (PFCS) வெளியேற்றம்;
உற்பத்தியில் ஆற்றல் மற்றும் நீரின் பெருமளவிலான நுகர்வு மற்றும் தொழிலாளர்களின் பாதுகாப்பு;
துணைப் பொருட்களின் மறுசுழற்சி மற்றும் மாசு கண்காணிப்பு;
· பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் அபாயகரமான இரசாயனங்களைப் பயன்படுத்துவதால் ஏற்படும் பிரச்சனைகள்.

 

தூய்மையான உற்பத்தி

குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தூய்மையான உற்பத்தித் தொழில்நுட்பத்தை, மூலப்பொருட்கள், செயல்முறைகள் மற்றும் செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு ஆகிய அம்சங்களில் இருந்து மேம்படுத்த முடியும்.

 

மூலப்பொருட்கள் மற்றும் ஆற்றலை மேம்படுத்துதல்

முதலில், அசுத்தங்கள் மற்றும் துகள்கள் கலப்பதைக் குறைக்க, மூலப்பொருட்களின் தூய்மை கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.
இரண்டாவதாக, உற்பத்திக்கு அனுப்பப்படுவதற்கு முன்னர், உள்வரும் பாகங்கள் அல்லது பகுதி முடிக்கப்பட்ட பொருட்கள் மீது பல்வேறு வெப்பநிலை, கசிவு கண்டறிதல், அதிர்வு, உயர் மின்னழுத்த மின் அதிர்ச்சி மற்றும் பிற சோதனைகள் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும்.
மேலும், துணைப் பொருட்களின் தூய்மை கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். ஆற்றலைத் தூய்மையாக உற்பத்தி செய்வதற்குப் பயன்படுத்தக்கூடிய தொழில்நுட்பங்கள் ஒப்பீட்டளவில் ஏராளமாக உள்ளன.

 

உற்பத்தி செயல்முறையை மேம்படுத்துங்கள்

குறைக்கடத்தித் தொழிற்துறையே, செயல்முறைத் தொழில்நுட்ப மேம்பாடுகள் மூலம் சுற்றுச்சூழலில் தனது தாக்கத்தைக் குறைக்க முயல்கிறது.
உதாரணமாக, 1970களில், ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்தில் வேஃபர்களைச் சுத்தம் செய்ய கரிமக் கரைப்பான்கள் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்பட்டன. 1980களில், வேஃபர்களைச் சுத்தம் செய்ய கந்தக அமிலம் போன்ற அமிலம் மற்றும் காரக் கரைசல்கள் பயன்படுத்தப்பட்டன. 1990கள் வரை, பிளாஸ்மா ஆக்ஸிஜன் சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பம் உருவாக்கப்பட்டது.
பேக்கேஜிங்கைப் பொறுத்தவரை, பெரும்பாலான நிறுவனங்கள் தற்போது மின்முலாம் பூசும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகின்றன, இது சுற்றுச்சூழலில் கன உலோக மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும்.
இருப்பினும், ஷாங்காயில் உள்ள பேக்கேஜிங் ஆலைகள் இனி மின்முலாம் பூசும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதில்லை, எனவே கன உலோகங்களால் சுற்றுச்சூழலில் எந்த பாதிப்பும் ஏற்படுவதில்லை. குறைக்கடத்தித் தொழில், தனது சொந்த வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டில் செயல்முறை மேம்பாடுகள் மற்றும் இரசாயன மாற்றீடுகள் மூலம் சுற்றுச்சூழலில் தனது தாக்கத்தை படிப்படியாகக் குறைத்து வருவதைக் காணலாம்; இது, சுற்றுச்சூழலை அடிப்படையாகக் கொண்ட செயல்முறை மற்றும் தயாரிப்பு வடிவமைப்பை ஆதரிக்கும் தற்போதைய உலகளாவிய வளர்ச்சிப் போக்கையும் பின்பற்றுகிறது.

 

தற்போது, ​​பின்வருவன உள்ளிட்ட மேலும் பல உள்ளூர் செயல்முறை மேம்பாடுகள் மேற்கொள்ளப்பட்டு வருகின்றன:

அதிக பசுமை இல்ல விளைவைக் கொண்ட வாயுவிற்குப் பதிலாக குறைந்த பசுமை இல்ல விளைவைக் கொண்ட PFCs வாயுவைப் பயன்படுத்துதல், செயல்முறை ஓட்டத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் PFCS வாயுவின் அளவைக் குறைத்தல் போன்ற அனைத்து அம்மோனியம் PFCS வாயுவின் பதிலீடு மற்றும் குறைப்பு;
சுத்தப்படுத்தும் செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் இரசாயன சுத்திகரிப்புப் பொருட்களின் அளவைக் குறைப்பதற்காக, பல வேஃபர் சுத்தப்படுத்தும் முறையை ஒற்றை வேஃபர் சுத்தப்படுத்தும் முறையாக மேம்படுத்துதல்.
·கடுமையான செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு:
அ. உற்பத்திச் செயல்முறையைத் தானியக்கமயமாக்குவதன் மூலம், துல்லியமான செயலாக்கத்தையும் தொகுதி உற்பத்தியையும் சாத்தியமாக்குவதுடன், கைமுறைச் செயல்பாட்டின் அதிகப் பிழை விகிதத்தையும் குறைத்தல்;
ஆ. அதிதூய்மையான செயல்முறையின் சுற்றுச்சூழல் காரணிகளில், சுமார் 5% அல்லது அதற்கும் குறைவான உற்பத்தி இழப்பே மனிதர்கள் மற்றும் சுற்றுச்சூழலால் ஏற்படுகிறது. அதிதூய்மையான செயல்முறையின் சுற்றுச்சூழல் காரணிகளில் முக்கியமாக காற்றின் தூய்மை, உயர் தூய்மை நீர், அழுத்தப்பட்ட காற்று, CO2, N2, வெப்பநிலை, ஈரப்பதம் போன்றவை அடங்கும். ஒரு தூய்மையான பணிமனையின் தூய்மை நிலை, பெரும்பாலும் ஒரு அலகு கன அளவு காற்றில் அனுமதிக்கப்பட்ட அதிகபட்ச துகள்களின் எண்ணிக்கையைக் கொண்டு அளவிடப்படுகிறது, அதாவது துகள் எண்ணிக்கைச் செறிவு;
c. கண்டறிதலை வலுப்படுத்தவும், உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது அதிக அளவு கழிவுகள் உள்ள பணிநிலையங்களில் கண்டறிவதற்கான பொருத்தமான முக்கிய புள்ளிகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

 

மேலதிக கலந்துரையாடலுக்காக, உலகெங்கிலும் உள்ள வாடிக்கையாளர்கள் அனைவரையும் எங்களைச் சந்திக்க வரவேற்கிறோம்!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j