Mae cynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion yn cynnwys dyfeisiau arwahanol, cylchedau integredig a'u prosesau pecynnu yn bennaf.
Gellir rhannu cynhyrchu lled-ddargludyddion yn dair cam: cynhyrchu deunydd corff cynnyrch, cynnyrchwaffergweithgynhyrchu a chydosod dyfeisiau. Yn eu plith, y llygredd mwyaf difrifol yw cam gweithgynhyrchu wafer cynnyrch.
Mae llygryddion wedi'u rhannu'n bennaf yn ddŵr gwastraff, nwy gwastraff a gwastraff solet.
Proses gweithgynhyrchu sglodion:
Wafer siliconar ôl malu allanol - glanhau - ocsideiddio - gwrthsefyll unffurf - ffotolithograffeg - datblygu - ysgythru - trylediad, mewnblannu ïonau - dyddodiad anwedd cemegol - caboli mecanyddol cemegol - meteleiddio, ac ati.
Dŵr gwastraff
Cynhyrchir llawer iawn o ddŵr gwastraff ym mhob cam proses o weithgynhyrchu lled-ddargludyddion a phrofi pecynnu, yn bennaf dŵr gwastraff asid-sylfaen, dŵr gwastraff sy'n cynnwys amonia a dŵr gwastraff organig.
1. Dŵr gwastraff sy'n cynnwys fflworin:
Asid hydrofflworig yw'r prif doddydd a ddefnyddir mewn prosesau ocsideiddio ac ysgythru oherwydd ei briodweddau ocsideiddio a chyrydol. Daw dŵr gwastraff sy'n cynnwys fflworin yn y broses yn bennaf o'r broses dryledu a'r broses sgleinio cemegol-fecanyddol yn y broses weithgynhyrchu sglodion. Yn y broses lanhau o wafers silicon ac offer cysylltiedig, defnyddir asid hydroclorig sawl gwaith hefyd. Mae'r holl brosesau hyn yn cael eu cwblhau mewn tanciau ysgythru neu offer glanhau pwrpasol, felly gellir rhyddhau dŵr gwastraff sy'n cynnwys fflworin yn annibynnol. Yn ôl y crynodiad, gellir ei rannu'n ddŵr gwastraff sy'n cynnwys fflworin crynodiad uchel a dŵr gwastraff sy'n cynnwys amonia crynodiad isel. Yn gyffredinol, gall crynodiad dŵr gwastraff sy'n cynnwys amonia crynodiad uchel gyrraedd 100-1200 mg/L. Mae'r rhan fwyaf o gwmnïau'n ailgylchu'r rhan hon o ddŵr gwastraff ar gyfer prosesau nad oes angen ansawdd dŵr uchel arnynt.
2. Dŵr gwastraff asid-sylfaenol:
Mae bron pob proses yn y broses weithgynhyrchu cylched integredig yn gofyn am lanhau'r sglodion. Ar hyn o bryd, asid sylffwrig a hydrogen perocsid yw'r hylifau glanhau a ddefnyddir amlaf yn y broses weithgynhyrchu cylched integredig. Ar yr un pryd, defnyddir adweithyddion asid-sylfaen fel asid nitrig, asid hydroclorig a dŵr amonia hefyd.
Daw dŵr gwastraff asid-sylfaen y broses weithgynhyrchu yn bennaf o'r broses lanhau yn y broses weithgynhyrchu sglodion. Yn y broses becynnu, caiff y sglodion ei drin â hydoddiant asid-sylfaen yn ystod electroplatio a dadansoddiad cemegol. Ar ôl ei drin, mae angen ei olchi â dŵr pur i gynhyrchu dŵr gwastraff golchi asid-sylfaen. Yn ogystal, defnyddir adweithyddion asid-sylfaen fel sodiwm hydrocsid ac asid hydroclorig yn yr orsaf ddŵr pur hefyd i adfywio resinau anion a cation i gynhyrchu dŵr gwastraff adfywio asid-sylfaen. Cynhyrchir dŵr cynffon golchi hefyd yn ystod y broses golchi nwy gwastraff asid-sylfaen. Mewn cwmnïau gweithgynhyrchu cylched integredig, mae faint o ddŵr gwastraff asid-sylfaen yn arbennig o fawr.
3. Dŵr gwastraff organig:
Oherwydd gwahanol brosesau cynhyrchu, mae faint o doddyddion organig a ddefnyddir yn y diwydiant lled-ddargludyddion yn wahanol iawn. Fodd bynnag, fel asiantau glanhau, mae toddyddion organig yn dal i gael eu defnyddio'n helaeth mewn gwahanol gysylltiadau o becynnu gweithgynhyrchu. Mae rhai toddyddion yn dod yn ollyngiad dŵr gwastraff organig.
4. Dŵr gwastraff arall:
Bydd proses ysgythru'r broses gynhyrchu lled-ddargludyddion yn defnyddio llawer iawn o amonia, fflworin a dŵr purdeb uchel ar gyfer dadhalogi, a thrwy hynny'n cynhyrchu gollyngiad dŵr gwastraff sy'n cynnwys amonia crynodiad uchel.
Mae angen y broses electroplatio yn y broses pecynnu lled-ddargludyddion. Mae angen glanhau'r sglodion ar ôl electroplatio, a bydd dŵr gwastraff glanhau electroplatio yn cael ei gynhyrchu yn y broses hon. Gan fod rhai metelau'n cael eu defnyddio mewn electroplatio, bydd allyriadau ïonau metel yn y dŵr gwastraff glanhau electroplatio, fel plwm, tun, disg, sinc, alwminiwm, ac ati.
Nwy gwastraff
Gan fod gan y broses lled-ddargludyddion ofynion eithriadol o uchel ar gyfer glendid yr ystafell weithredu, defnyddir ffannau fel arfer i echdynnu gwahanol fathau o nwyon gwastraff sy'n anweddu yn ystod y broses. Felly, nodweddir allyriadau nwyon gwastraff yn y diwydiant lled-ddargludyddion gan gyfaint gwacáu mawr a chrynodiad allyriadau isel. Mae allyriadau nwyon gwastraff hefyd yn cael eu hanweddu'n bennaf.
Gellir rhannu'r allyriadau nwy gwastraff hyn yn bedwar categori yn bennaf: nwy asidig, nwy alcalïaidd, nwy gwastraff organig a nwy gwenwynig.
1. Nwy gwastraff asid-bas:
Daw nwy gwastraff asid-bas yn bennaf o drylediad,CVD, CMP a phrosesau ysgythru, sy'n defnyddio toddiant glanhau asid-bas i lanhau'r wafer.
Ar hyn o bryd, y toddydd glanhau a ddefnyddir amlaf mewn proses gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion yw cymysgedd o hydrogen perocsid ac asid sylffwrig.
Mae'r nwy gwastraff a gynhyrchir yn y prosesau hyn yn cynnwys nwyon asidig fel asid sylffwrig, asid hydrofflworig, asid hydroclorig, asid nitrig ac asid ffosfforig, ac amonia yw'r nwy alcalïaidd yn bennaf.
2. Nwy gwastraff organig:
Daw nwy gwastraff organig yn bennaf o brosesau fel ffotolithograffeg, datblygu, ysgythru a thrylediad. Yn y prosesau hyn, defnyddir hydoddiant organig (fel alcohol isopropyl) i lanhau wyneb y wafer, ac mae'r nwy gwastraff a gynhyrchir trwy anweddu yn un o ffynonellau nwy gwastraff organig;
Ar yr un pryd, mae'r ffotoresist (ffotoresist) a ddefnyddir yn y broses o ffotolithograffeg ac ysgythru yn cynnwys toddyddion organig anweddol, fel asetat bwtyl, sy'n anweddu i'r atmosffer yn ystod y broses brosesu wafer, sy'n ffynhonnell arall o nwy gwastraff organig.
3. Nwy gwastraff gwenwynig:
Daw nwy gwastraff gwenwynig yn bennaf o brosesau fel epitacsi crisial, ysgythru sych a CVD. Yn y prosesau hyn, defnyddir amrywiaeth o nwyon arbennig purdeb uchel i brosesu'r wafer, fel silicon (SiHj), ffosfforws (PH3), carbon tetraclorid (CFJ), boran, boron triocsid, ac ati. Mae rhai nwyon arbennig yn wenwynig, yn mygu ac yn gyrydol.
Ar yr un pryd, yn y broses ysgythru a glanhau sych ar ôl dyddodiad anwedd cemegol mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae angen llawer iawn o nwy ocsid llawn (PFCS), fel NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, ac ati. Mae gan y cyfansoddion perflworinedig hyn amsugniad cryf yn y rhanbarth golau is-goch ac maent yn aros yn yr atmosffer am amser hir. Yn gyffredinol, fe'u hystyrir fel prif ffynhonnell effaith tŷ gwydr byd-eang.
4. Nwy gwastraff proses pecynnu:
O'i gymharu â'r broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r nwy gwastraff a gynhyrchir gan y broses pecynnu lled-ddargludyddion yn gymharol syml, yn bennaf nwy asidig, resin epocsi a llwch.
Cynhyrchir nwy gwastraff asidig yn bennaf mewn prosesau fel electroplatio;
Cynhyrchir nwy gwastraff pobi yn y broses o bobi ar ôl gludo a selio'r cynnyrch;
Mae'r peiriant disio yn cynhyrchu nwy gwastraff sy'n cynnwys llwch silicon bach yn ystod y broses dorri wafer.
Problemau llygredd amgylcheddol
Ar gyfer y problemau llygredd amgylcheddol yn y diwydiant lled-ddargludyddion, y prif broblemau y mae angen eu datrys yw:
· Allyriadau llygryddion aer a chyfansoddion organig anweddol (VOCs) ar raddfa fawr yn y broses ffotolithograffeg;
· Allyriadau cyfansoddion perfflworinedig (PFCS) mewn prosesau ysgythru plasma a dyddodiad anwedd cemegol;
· Defnyddio ynni a dŵr ar raddfa fawr wrth gynhyrchu a diogelu gweithwyr;
· Ailgylchu a monitro llygredd sgil-gynhyrchion;
· Problemau defnyddio cemegau peryglus mewn prosesau pecynnu.
Cynhyrchu glân
Gellir gwella technoleg cynhyrchu glân dyfeisiau lled-ddargludyddion o safbwynt deunyddiau crai, prosesau a rheoli prosesau.
Gwella deunyddiau crai ac ynni
Yn gyntaf, dylid rheoli purdeb deunyddiau yn llym i leihau cyflwyno amhureddau a gronynnau.
Yn ail, dylid cynnal amrywiol brofion tymheredd, canfod gollyngiadau, dirgryniad, sioc drydan foltedd uchel a phrofion eraill ar y cydrannau sy'n dod i mewn neu'r cynhyrchion lled-orffen cyn iddynt gael eu rhoi mewn cynhyrchiad.
Yn ogystal, dylid rheoli purdeb deunyddiau ategol yn llym. Mae yna gymharol nifer o dechnolegau y gellir eu defnyddio ar gyfer cynhyrchu ynni glân.
Optimeiddio'r broses gynhyrchu
Mae'r diwydiant lled-ddargludyddion ei hun yn ymdrechu i leihau ei effaith ar yr amgylchedd trwy welliannau i dechnoleg prosesau.
Er enghraifft, yn y 1970au, defnyddiwyd toddyddion organig yn bennaf i lanhau wafferi yn y dechnoleg glanhau cylched integredig. Yn y 1980au, defnyddiwyd toddiannau asid ac alcali fel asid sylffwrig i lanhau wafferi. Hyd at y 1990au, datblygwyd technoleg glanhau ocsigen plasma.
O ran pecynnu, mae'r rhan fwyaf o gwmnïau ar hyn o bryd yn defnyddio technoleg electroplatio, a fydd yn achosi llygredd metelau trwm i'r amgylchedd.
Fodd bynnag, nid yw gweithfeydd pecynnu yn Shanghai yn defnyddio technoleg electroplatio mwyach, felly nid oes unrhyw effaith metelau trwm ar yr amgylchedd. Gellir gweld bod y diwydiant lled-ddargludyddion yn lleihau ei effaith ar yr amgylchedd yn raddol trwy welliannau prosesau ac amnewid cemegau yn ei broses ddatblygu ei hun, sydd hefyd yn dilyn y duedd datblygu byd-eang gyfredol o hyrwyddo dylunio prosesau a chynnyrch yn seiliedig ar yr amgylchedd.
Ar hyn o bryd, mae mwy o welliannau prosesau lleol yn cael eu gwneud, gan gynnwys:
·Amnewid a lleihau nwy PFCS sy'n cynnwys amoniwm yn unig, megis defnyddio nwy PFCs ag effaith tŷ gwydr isel i gymryd lle nwy ag effaith tŷ gwydr uchel, megis gwella llif y broses a lleihau faint o nwy PFCS a ddefnyddir yn y broses;
·Gwella glanhau aml-wafer i lanhau un wafer i leihau faint o asiantau glanhau cemegol a ddefnyddir yn y broses lanhau.
·Rheoli prosesau llym:
a. Gwireddu awtomeiddio'r broses weithgynhyrchu, a all wireddu prosesu manwl gywir a chynhyrchu swp, a lleihau'r gyfradd gwall uchel o weithrediad â llaw;
b. Ffactorau amgylcheddol proses hynod lân, mae tua 5% neu lai o'r golled cynnyrch yn cael ei achosi gan bobl a'r amgylchedd. Mae ffactorau amgylcheddol proses hynod lân yn bennaf yn cynnwys glendid aer, dŵr purdeb uchel, aer cywasgedig, CO2, N2, tymheredd, lleithder, ac ati. Yn aml, mesurir lefel glendid gweithdy glân gan y nifer uchaf o ronynnau a ganiateir fesul uned gyfaint o aer, hynny yw, crynodiad cyfrif gronynnau;
c. Cryfhau canfod, a dewis pwyntiau allweddol priodol ar gyfer canfod mewn gorsafoedd gwaith gyda symiau mawr o wastraff yn ystod y broses gynhyrchu.
Croeso i unrhyw gwsmeriaid o bob cwr o'r byd i ymweld â ni am drafodaeth bellach!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Amser postio: Awst-13-2024