ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮೂಲಗಳು ಮತ್ತು ತಡೆಗಟ್ಟುವಿಕೆ

ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಡಿಸ್ಕ್ರೀಟ್ ಸಾಧನಗಳು, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಮೂರು ಹಂತಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು: ಉತ್ಪನ್ನ ದೇಹದ ವಸ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆ, ಉತ್ಪನ್ನವೇಫರ್ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಾಧನ ಜೋಡಣೆ. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, ಅತ್ಯಂತ ಗಂಭೀರ ಮಾಲಿನ್ಯವೆಂದರೆ ಉತ್ಪನ್ನ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಹಂತ.
ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು, ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಘನತ್ಯಾಜ್ಯ ಎಂದು ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಬಾಹ್ಯ ರುಬ್ಬುವಿಕೆಯ ನಂತರ - ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ - ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ - ಏಕರೂಪದ ಪ್ರತಿರೋಧ - ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ - ಅಭಿವೃದ್ಧಿ - ಎಚ್ಚಣೆ - ಪ್ರಸರಣ, ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ - ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ - ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು - ಲೋಹೀಕರಣ, ಇತ್ಯಾದಿ.

 

ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು

ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತದಲ್ಲೂ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು, ಅಮೋನಿಯಾ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು ಮತ್ತು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು.

 

1. ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು:

ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲವು ಅದರ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಮುಖ್ಯ ದ್ರಾವಕವಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಪಾತ್ರೆಗಳ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲವನ್ನು ಸಹ ಹಲವು ಬಾರಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಎಲ್ಲಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಮೀಸಲಾದ ಎಚ್ಚಣೆ ಟ್ಯಾಂಕ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರನ್ನು ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಬಹುದು. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಪ್ರಕಾರ, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅಮೋನಿಯಾ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಎಂದು ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅಮೋನಿಯಾ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು 100-1200 mg/L ತಲುಪಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಂಪನಿಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನೀರಿನ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗಾಗಿ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ಈ ಭಾಗವನ್ನು ಮರುಬಳಕೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ.

2. ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು:

ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಬಹುತೇಕ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೂ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೆರಾಕ್ಸೈಡ್ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ದ್ರವಗಳಾಗಿವೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ನೈಟ್ರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಅಮೋನಿಯಾ ನೀರಿನಂತಹ ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ಕಾರಕಗಳನ್ನು ಸಹ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ದ್ರಾವಣದೊಂದಿಗೆ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ನಂತರ, ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ತೊಳೆಯುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಅದನ್ನು ಶುದ್ಧ ನೀರಿನಿಂದ ತೊಳೆಯಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ಪುನರುತ್ಪಾದನೆಯ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಅಯಾನು ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಟಯಾನ್ ರೆಸಿನ್‌ಗಳನ್ನು ಪುನರುತ್ಪಾದಿಸಲು ಸೋಡಿಯಂ ಹೈಡ್ರಾಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲದಂತಹ ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ಕಾರಕಗಳನ್ನು ಶುದ್ಧ ನೀರಿನ ಕೇಂದ್ರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ತೊಳೆಯುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತೊಳೆಯುವ ಬಾಲ ನೀರನ್ನು ಸಹ ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕಂಪನಿಗಳಲ್ಲಿ, ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರಿನ ಪ್ರಮಾಣವು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ.

3. ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು:

ವಿಭಿನ್ನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದಾಗಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳ ಪ್ರಮಾಣವು ತುಂಬಾ ಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳಾಗಿ, ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಇನ್ನೂ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ನ ವಿವಿಧ ಲಿಂಕ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲವು ದ್ರಾವಕಗಳು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ವಿಸರ್ಜನೆಯಾಗುತ್ತವೆ.

4. ಇತರ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು:

ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ನಿರ್ಮಲೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಅಮೋನಿಯಾ, ಫ್ಲೋರಿನ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ನೀರನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅಮೋನಿಯಾ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರಿನ ವಿಸರ್ಜನೆಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ನಂತರ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲವು ಲೋಹಗಳನ್ನು ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಬಳಸುವುದರಿಂದ, ಸೀಸ, ತವರ, ಡಿಸ್ಕ್, ಸತು, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮುಂತಾದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಲೋಹದ ಅಯಾನು ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಇರುತ್ತದೆ.

 

ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಶಸ್ತ್ರಚಿಕಿತ್ಸಾ ಕೊಠಡಿಯ ಶುಚಿತ್ವಕ್ಕೆ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದರಿಂದ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬಾಷ್ಪೀಕರಣಗೊಳ್ಳುವ ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಲು ಫ್ಯಾನ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯು ದೊಡ್ಡ ನಿಷ್ಕಾಸ ಪರಿಮಾಣ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಸಾಂದ್ರತೆಯಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಾಷ್ಪೀಕರಣಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಈ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ನಾಲ್ಕು ವರ್ಗಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು: ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲ, ಕ್ಷಾರೀಯ ಅನಿಲ, ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ವಿಷಕಾರಿ ಅನಿಲ.

1. ಆಮ್ಲ-ಕ್ಷಾರೀಯ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ಆಮ್ಲ-ಕ್ಷಾರೀಯ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಸರಣದಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ,ಸಿವಿಡಿ, CMP ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು, ಇವು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ.
ಪ್ರಸ್ತುತ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ದ್ರಾವಕವೆಂದರೆ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೆರಾಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲದ ಮಿಶ್ರಣವಾಗಿದೆ.
ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ನೈಟ್ರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಫಾಸ್ಪರಿಕ್ ಆಮ್ಲದಂತಹ ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರೀಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅಮೋನಿಯಾ ಆಗಿದೆ.

2. ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ, ಅಭಿವೃದ್ಧಿ, ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಸರಣದಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಣವನ್ನು (ಐಸೊಪ್ರೊಪಿಲ್ ಆಲ್ಕೋಹಾಲ್ ನಂತಹ) ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬಾಷ್ಪೀಕರಣದಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲದ ಮೂಲಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ;
ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ (ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್) ಬ್ಯುಟೈಲ್ ಅಸಿಟೇಟ್‌ನಂತಹ ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಆವಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲದ ಮತ್ತೊಂದು ಮೂಲವಾಗಿದೆ.

3. ವಿಷಕಾರಿ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ವಿಷಕಾರಿ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ಡ್ರೈ ಎಚಿಂಗ್ ಮತ್ತು CVD ಯಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ (SiHj), ರಂಜಕ (PH3), ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಕ್ಲೋರೈಡ್ (CFJ), ಬೋರೇನ್, ಬೋರಾನ್ ಟ್ರೈಆಕ್ಸೈಡ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲವು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ವಿಷಕಾರಿ, ಉಸಿರುಗಟ್ಟಿಸುವ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ.
ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯ ನಂತರ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಪೂರ್ಣ ಆಕ್ಸೈಡ್ (PFCS) ಅನಿಲದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಈ ಪರ್ಫ್ಲೋರಿನೇಟೆಡ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳು ಅತಿಗೆಂಪು ಬೆಳಕಿನ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಬಲವಾದ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಉಳಿಯುತ್ತವೆ. ಅವುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಜಾಗತಿಕ ಹಸಿರುಮನೆ ಪರಿಣಾಮದ ಮುಖ್ಯ ಮೂಲವೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

4. ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸರಳವಾಗಿದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲ, ಎಪಾಕ್ಸಿ ರಾಳ ಮತ್ತು ಧೂಳು.
ಆಮ್ಲೀಯ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್‌ನಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ;
ಉತ್ಪನ್ನ ಅಂಟಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ನಂತರ ಬೇಯಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬೇಕಿಂಗ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ;
ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಡೈಸಿಂಗ್ ಯಂತ್ರವು ಟ್ರೇಸ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಧೂಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

 

ಪರಿಸರ ಮಾಲಿನ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಪರಿಸರ ಮಾಲಿನ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ, ಪರಿಹರಿಸಬೇಕಾದ ಮುಖ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು:
· ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವಾಯು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಮತ್ತು ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಸಾವಯವ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ (VOCs) ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ;
· ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪರ್ಫ್ಲೋರಿನೇಟೆಡ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ (PFCS) ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ;
· ಕಾರ್ಮಿಕರ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತೆಯ ರಕ್ಷಣೆಯಲ್ಲಿ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ನೀರಿನ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಬಳಕೆ;
· ಉಪ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಮರುಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ;
· ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಪಾಯಕಾರಿ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು.

 

ಶುದ್ಧ ಉತ್ಪಾದನೆ

ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಂಶಗಳಿಂದ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನ ಶುದ್ಧ ಉತ್ಪಾದನಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.

 

ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು

ಮೊದಲನೆಯದಾಗಿ, ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಪರಿಚಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ವಸ್ತುಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು.
ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಒಳಬರುವ ಘಟಕಗಳು ಅಥವಾ ಅರೆ-ಸಿದ್ಧ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಮೊದಲು ವಿವಿಧ ತಾಪಮಾನ, ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ, ಕಂಪನ, ಅಧಿಕ-ವೋಲ್ಟೇಜ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಆಘಾತ ಮತ್ತು ಇತರ ಪರೀಕ್ಷೆಗಳನ್ನು ನಡೆಸಬೇಕು.
ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಸಹಾಯಕ ವಸ್ತುಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು. ಶುದ್ಧ ಇಂಧನ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಬಳಸಬಹುದಾದ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಹಲವು ಇವೆ.

 

ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮಗೊಳಿಸಿ

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಸುಧಾರಣೆಗಳ ಮೂಲಕ ಪರಿಸರದ ಮೇಲಿನ ತನ್ನ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಶ್ರಮಿಸುತ್ತದೆ.
ಉದಾಹರಣೆಗೆ, 1970 ರ ದಶಕದಲ್ಲಿ, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತಿತ್ತು. 1980 ರ ದಶಕದಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲದಂತಹ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ದ್ರಾವಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತಿತ್ತು. 1990 ರ ದಶಕದವರೆಗೆ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಆಮ್ಲಜನಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಯಿತು.
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಂಪನಿಗಳು ಪ್ರಸ್ತುತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಭಾರ ಲೋಹ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಆದಾಗ್ಯೂ, ಶಾಂಘೈನಲ್ಲಿರುವ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಸ್ಥಾವರಗಳು ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಪರಿಸರದ ಮೇಲೆ ಭಾರ ಲೋಹಗಳ ಯಾವುದೇ ಪರಿಣಾಮವಿಲ್ಲ. ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ತನ್ನದೇ ಆದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸುಧಾರಣೆಗಳು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರ್ಯಾಯದ ಮೂಲಕ ಪರಿಸರದ ಮೇಲಿನ ತನ್ನ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತಿದೆ ಎಂದು ಕಾಣಬಹುದು, ಇದು ಪರಿಸರ ಆಧಾರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಪ್ರತಿಪಾದಿಸುವ ಪ್ರಸ್ತುತ ಜಾಗತಿಕ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರವೃತ್ತಿಯನ್ನು ಸಹ ಅನುಸರಿಸುತ್ತದೆ.

 

ಪ್ರಸ್ತುತ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಳೀಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸುಧಾರಣೆಗಳನ್ನು ಕೈಗೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತಿದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:

· ಕಡಿಮೆ ಹಸಿರುಮನೆ ಪರಿಣಾಮದೊಂದಿಗೆ PFCs ಅನಿಲವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ಹಸಿರುಮನೆ ಪರಿಣಾಮದೊಂದಿಗೆ ಅನಿಲವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವಂತಹ ಸಂಪೂರ್ಣ ಅಮೋನಿಯಂ PFCS ಅನಿಲದ ಬದಲಿ ಮತ್ತು ಕಡಿತ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹರಿವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ PFCS ಅನಿಲದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು;
· ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮಲ್ಟಿ-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಸುಧಾರಿಸುವುದು.
·ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ:
ಎ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಯಾಂತ್ರೀಕರಣವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಿ, ಇದು ನಿಖರವಾದ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಚ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ದೋಷ ದರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು;
ಬಿ. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳು, ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟದ ಸುಮಾರು 5% ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಜನರು ಮತ್ತು ಪರಿಸರದಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಗಾಳಿಯ ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ನೀರು, ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ, CO2, N2, ತಾಪಮಾನ, ಆರ್ದ್ರತೆ ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ಕ್ಲೀನ್ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದ ಶುಚಿತ್ವ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರತಿ ಯೂನಿಟ್ ಪರಿಮಾಣಕ್ಕೆ ಅನುಮತಿಸಲಾದ ಗರಿಷ್ಠ ಸಂಖ್ಯೆಯ ಕಣಗಳಿಂದ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಂದರೆ, ಕಣ ಎಣಿಕೆ ಸಾಂದ್ರತೆ;
ಸಿ. ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಲಪಡಿಸಿ, ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ತ್ಯಾಜ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕಾರ್ಯಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಗಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾದ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿ.

 

ಹೆಚ್ಚಿನ ಚರ್ಚೆಗಾಗಿ ನಮ್ಮನ್ನು ಭೇಟಿ ಮಾಡಲು ಪ್ರಪಂಚದಾದ್ಯಂತದ ಯಾವುದೇ ಗ್ರಾಹಕರನ್ನು ಸ್ವಾಗತಿಸಿ!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j