Pwodiksyon aparèy semi-kondiktè gen ladan sitou aparèy diskrè, sikwi entegre ak pwosesis anbalaj yo.
Pwodiksyon semi-kondiktè ka divize an twa etap: pwodiksyon materyèl kò pwodwi, pwodiksyon pwodwiwaflètfabrikasyon ak asanblaj aparèy. Pami yo, polisyon ki pi grav la se etap fabrikasyon waf pwodwi a.
Polisyon yo divize sitou an dlo ize, gaz dechè ak dechè solid.
Pwosesis fabrikasyon chip:
Silisyòm waferapre fanm k'ap pile ekstèn - netwayaj - oksidasyon - rezistans inifòm - fotolitografi - devlopman - grave - difizyon, enplantasyon iyon - depo chimik vapè - polisaj chimik mekanik - metalizasyon, elatriye.
Dlo ize
Yon gwo kantite dlo ize pwodui nan chak etap pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè ak tès anbalaj, sitou dlo ize ki gen asid-baz, dlo ize ki gen amonyak ak dlo ize òganik.
1. Dlo ize ki gen fliyò:
Asid idroflorik vin prensipal solvan ki itilize nan pwosesis oksidasyon ak grave akòz pwopriyete oksidan ak koroziv li yo. Dlo ize ki gen fliyò nan pwosesis la soti sitou nan pwosesis difizyon ak pwosesis polisaj chimik mekanik nan pwosesis fabrikasyon chip la. Nan pwosesis netwayaj wafer silikon ak istansil ki gen rapò, yo itilize asid idroklorik tou anpil fwa. Tout pwosesis sa yo fini nan tank grave espesyal oswa ekipman netwayaj, kidonk dlo ize ki gen fliyò ka dechaje poukont li. Selon konsantrasyon an, li ka divize an dlo ize ki gen fliyò ki gen gwo konsantrasyon ak dlo ize ki gen amonyak ki gen ti konsantrasyon. Anjeneral, konsantrasyon dlo ize ki gen gwo konsantrasyon amonyak ka rive nan 100-1200 mg/L. Pifò konpayi resikle pati dlo ize sa a pou pwosesis ki pa mande pou bon jan kalite dlo.
2. Dlo ize asid-baz:
Prèske tout pwosesis nan pwosesis fabrikasyon sikwi entegre a mande pou netwaye chip la. Kounye a, asid silfirik ak oksijene idwojèn se likid netwayaj ki pi souvan itilize nan pwosesis fabrikasyon sikwi entegre a. An menm tan, yo itilize tou reyaktif asid-baz tankou asid nitrique, asid idrokloridrik ak dlo amonyak.
Dlo ize asid-baz ki soti nan pwosesis fabrikasyon an soti sitou nan pwosesis netwayaj nan pwosesis fabrikasyon chip la. Nan pwosesis anbalaj la, yo trete chip la ak yon solisyon asid-baz pandan galvanizasyon ak analiz chimik. Apre tretman an, yo bezwen lave l ak dlo pi pou pwodui dlo ize lave asid-baz. Anplis de sa, yo itilize reyaktif asid-baz tankou idwoksid sodyòm ak asid idroklorik nan estasyon dlo pi a pou rejenerasyon anyon ak rezin kasyon pou pwodui dlo ize rejenerasyon asid-baz. Dlo lave ki soti nan dèyè pwodui tou pandan pwosesis lave gaz dechè asid-baz la. Nan konpayi fabrikasyon sikwi entegre yo, kantite dlo ize asid-baz la patikilyèman gwo.
3. Dlo ize òganik:
Akòz diferan pwosesis pwodiksyon yo, kantite solvang òganik yo itilize nan endistri semi-kondiktè a trè diferan. Sepandan, kòm ajan netwayaj, solvang òganik yo toujou lajman itilize nan divès aspè fabrikasyon anbalaj. Gen kèk solvang ki vin tounen dechaj dlo ize òganik.
4. Lòt dlo ize:
Pwosesis grave nan pwosesis pwodiksyon semi-kondiktè a pral itilize yon gwo kantite amonyak, fliyò ak dlo ki gen anpil pite pou dekontaminasyon, kidonk jenere yon egzeyat dlo ize ki gen anpil konsantrasyon amonyak.
Pwosesis galvanoplasti a nesesè nan pwosesis anbalaj semi-kondiktè a. Chip la bezwen netwaye apre galvanoplasti a, epi pwosesis sa a pral pwodui dlo ize netwayaj galvanoplasti a. Piske gen kèk metal ki itilize nan galvanoplasti, pral gen emisyon iyon metal nan dlo ize netwayaj galvanoplasti a, tankou plon, fèblan, disk, zenk, aliminyòm, elatriye.
Gaz dechè
Piske pwosesis semi-kondiktè a gen egzijans trè wo pou pwòpte sal operasyon an, yo anjeneral itilize vantilatè pou ekstrè divès kalite gaz dechè ki evapore pandan pwosesis la. Se poutèt sa, emisyon gaz dechè nan endistri semi-kondiktè a karakterize pa yon gwo volim echapman ak yon konsantrasyon emisyon ki ba. Emisyon gaz dechè yo tou sitou evapore.
Emisyon gaz dechè sa yo ka divize an kat kategori prensipal: gaz asid, gaz alkalin, gaz dechè òganik ak gaz toksik.
1. Gaz asid-baz dechè:
Gaz asid-baz dechè soti sitou nan difizyon,Maladi Kadyovaskilè (MKV), CMP ak pwosesis grave, ki itilize solisyon netwayaj asid-baz pou netwaye wafer la.
Kounye a, sòlvan netwayaj ki pi souvan itilize nan pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè se yon melanj de oksijene idwojèn ak asid silfirik.
Gaz dechè ki pwodui nan pwosesis sa yo gen ladan gaz asid tankou asid silfirik, asid fluoridrik, asid idrokloridrik, asid nitrik ak asid fosfòrik, epi gaz alkalin lan se sitou amonyak.
2. Gaz dechè òganik:
Gaz dechè òganik yo soti sitou nan pwosesis tankou fotolitografi, devlopman, grave ak difizyon. Nan pwosesis sa yo, yo itilize solisyon òganik (tankou alkòl izopropilik) pou netwaye sifas waf la, epi gaz dechè ki pwodui pa volatilizasyon an se youn nan sous gaz dechè òganik yo;
An menm tan, fotorezist (photoresist) ki itilize nan pwosesis fotolitografi ak grave a gen ladan l solvang òganik temèt, tankou asetat butil, ki evapore nan atmosfè a pandan pwosesis tretman wafer la, ki se yon lòt sous gaz dechè òganik.
3. Gaz dechè toksik:
Gaz dechè toksik yo soti sitou nan pwosesis tankou epitaksi kristal, grave sèk ak CVD. Nan pwosesis sa yo, yo itilize yon varyete gaz espesyal ki gen gwo pite pou trete waf la, tankou silikon (SiHj), fosfò (PH3), tetraklori kabòn (CFJ), boran, trioksid bor, elatriye. Gen kèk gaz espesyal ki toksik, asfiksyan e koroziv.
An menm tan, nan pwosesis grave sèk ak netwayaj apre depo vapè chimik nan fabrikasyon semi-kondiktè, yo bezwen yon gwo kantite gaz oksid konplè (PFCS), tankou NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, elatriye. Konpoze pèrfluorine sa yo gen yon gwo absòpsyon nan rejyon limyè enfrawouj la epi yo rete nan atmosfè a pou yon bon bout tan. Anjeneral, yo konsidere yo kòm sous prensipal efè sèr mondyal la.
4. Gaz dechè pwosesis anbalaj:
Konpare ak pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè a, gaz dechè ki pwodui pa pwosesis anbalaj semi-kondiktè a relativman senp, sitou gaz asid, résine epoksidik ak pousyè.
Gaz asid dechè yo pwodui sitou nan pwosesis tankou galvanoplasti;
Gaz dechè boulanjri pwodui nan pwosesis boulanjri a apre yo fin kole ak sele pwodwi a;
Machin koupe an ti moso a pwodui gaz dechè ki gen tras pousyè Silisyòm pandan pwosesis koupe waf la.
Pwoblèm polisyon anviwònman an
Pou pwoblèm polisyon anviwònman an nan endistri semi-kondiktè yo, prensipal pwoblèm ki bezwen rezoud yo se:
· Emisyon gwo echèl polyan lè ak konpoze òganik temèt (KOV) nan pwosesis fotolitografi a;
· Emisyon konpoze pèrfluorine (PFCS) nan pwosesis grave plasma ak depo vapè chimik;
· Konsomasyon enèji ak dlo sou gwo echèl nan pwodiksyon ak pwoteksyon sekirite travayè yo;
· Resiklaj ak siveyans polisyon nan sou-pwodwi yo;
· Pwoblèm ki genyen nan itilizasyon pwodui chimik danjere nan pwosesis anbalaj.
Pwodiksyon pwòp
Teknoloji pwodiksyon pwòp pou aparèy semi-kondiktè yo ka amelyore nan aspè matyè premyè, pwosesis ak kontwòl pwosesis.
Amelyore matyè premyè ak enèji
Premyèman, yo ta dwe kontwole pite materyèl yo estrikteman pou diminye entwodiksyon enpurte ak patikil.
Dezyèmman, yo ta dwe fè divès tès tanperati, deteksyon flit, Vibration, chòk elektrik wo vòltaj ak lòt tès sou konpozan k ap rantre yo oswa pwodwi semi-fini yo anvan yo mete yo an pwodiksyon.
Anplis de sa, pite materyèl oksilyè yo ta dwe kontwole ak anpil atansyon. Gen relativman anpil teknoloji ki ka itilize pou pwodiksyon enèji pwòp.
Optimize pwosesis pwodiksyon an
Endistri semi-kondiktè a li menm ap fè efò pou diminye enpak li sou anviwònman an atravè amelyorasyon teknoloji pwosesis yo.
Pa egzanp, nan ane 1970 yo, yo te sitou itilize solvan òganik pou netwaye wafer yo nan teknoloji netwayaj sikwi entegre yo. Nan ane 1980 yo, yo te itilize solisyon asid ak alkali tankou asid silfirik pou netwaye wafer yo. Jiska ane 1990 yo, yo te devlope teknoloji netwayaj plasma oksijèn.
An tèm de anbalaj, pifò konpayi yo kounye a itilize teknoloji galvanoplasti, ki pral lakòz polisyon metal lou nan anviwònman an.
Sepandan, izin anbalaj nan Shanghai pa itilize teknoloji galvanoplasti ankò, kidonk pa gen okenn enpak metal lou sou anviwònman an. Nou ka konstate ke endistri semi-kondiktè a ap piti piti diminye enpak li sou anviwònman an atravè amelyorasyon pwosesis ak sibstitisyon pwodui chimik nan pwòp pwosesis devlopman li, ki swiv tou tandans devlopman mondyal aktyèl la ki defann konsepsyon pwosesis ak pwodwi ki baze sou anviwònman an.
Kounye a, gen plis amelyorasyon nan pwosesis lokal yo k ap fèt, tankou:
·Ranplasman ak rediksyon gaz PFCS ki gen tout amonyòm, tankou itilizasyon gaz PFC ki gen ti efè sèr pou ranplase gaz ki gen gwo efè sèr, tankou amelyore koule pwosesis la epi rediksyon kantite gaz PFCS ki itilize nan pwosesis la;
· Amelyore netwayaj plizyè wafer pou fè netwayaj yon sèl wafer pou diminye kantite pwodui chimik yo itilize nan pwosesis netwayaj la.
· Kontwòl pwosesis strik:
a. Reyalize automatisation pwosesis fabrikasyon an, ki ka reyalize pwosesis presi ak pwodiksyon an pakèt, epi redwi gwo pousantaj erè operasyon manyèl la;
b. Faktè anviwònman pwosesis ultra-pwòp, anviwon 5% oswa mwens nan pèt sede a koze pa moun ak anviwònman an. Faktè anviwònman pwosesis ultra-pwòp yo sitou gen ladan yo pwòpte lè a, dlo ki gen anpil pite, lè konprese, CO2, N2, tanperati, imidite, elatriye. Nivo pwòpte yon atelye pwòp souvan mezire pa kantite maksimòm patikil ki otorize pou chak inite volim lè, sa vle di, konsantrasyon kantite patikil;
c. Ranfòse deteksyon an, epi chwazi pwen kle ki apwopriye pou deteksyon nan estasyon travay ki gen gwo kantite fatra pandan pwosesis pwodiksyon an.
Byenveni nenpòt kliyan ki soti toupatou nan mond lan pou vizite nou pou yon diskisyon pi lwen!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Dat piblikasyon: 13 Out 2024