Áirítear leis an gcuid is mó de tháirgeadh gléasanna leathsheoltóra gléasanna scoite, ciorcaid chomhtháite agus a bpróisis phacáistithe.
Is féidir táirgeadh leathsheoltóra a roinnt ina thrí chéim: táirgeadh ábhar choirp táirge, táirgeadhvaiféaldéantúsaíocht agus tionól gléasanna. Ina measc, is í céim déantúsaíochta na vaiféar táirge an truailliú is tromchúisí.
Roinntear truailleáin den chuid is mó ina bhfuíolluisce, gás dramhaíola agus dramhaíl sholadach.
Próiseas monaraíochta sliseanna:
Sciathán sileacaintar éis meilt sheachtrach - glanadh - ocsaídiú - friotaíocht aonfhoirmeach - fótailitagrafaíocht - forbairt - greanadh - idirleathadh, ionchlannú ian - taisceadh gaile ceimiceach - snasú meicniúil ceimiceach - miotalú, etc.
Fuíolluisce
Gintear méid mór fuíolluisce i ngach céim den phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra agus tástála pacáistíochta, go príomha fuíolluisce aigéad-bhunaithe, fuíolluisce ina bhfuil amóinia agus fuíolluisce orgánach.
1. Fuíolluisce ina bhfuil fluairín:
Is é aigéad hidreafluarach an príomhthuaslagóir a úsáidtear i bpróisis ocsaídiúcháin agus greanta mar gheall ar a airíonna ocsaídiúcháin agus creimneacha. Tagann fuíolluisce ina bhfuil fluairín sa phróiseas den chuid is mó ón bpróiseas scaipthe agus ón bpróiseas snasta ceimiceach meicniúil sa phróiseas monaraíochta sceallóga. I bpróiseas glantacháin na sceallóga sileacain agus uirlisí gaolmhara, úsáidtear aigéad hidreaclórach go minic freisin. Críochnaítear na próisis seo go léir in umair ghreantála nó i dtrealamh glantacháin tiomnaithe, ionas gur féidir fuíolluisce ina bhfuil fluairín a urscaoileadh go neamhspleách. De réir an tiúchain, is féidir é a roinnt ina fhuíolluisce ina bhfuil fluairín ard-tiúchan agus ina fhuíolluisce ina bhfuil amóinia íseal-tiúchan. Go ginearálta, is féidir le tiúchan an fhuíolluisce ina bhfuil amóinia ard-tiúchana 100-1200 mg/L a bhaint amach. Athchúrsálann formhór na gcuideachtaí an chuid seo den fhuíolluisce le haghaidh próisis nach dteastaíonn ardcháilíocht uisce uathu.
2. Fuíolluisce aigéad-bhunaithe:
Éilíonn beagnach gach próiseas sa phróiseas monaraíochta ciorcad comhtháite go ndéantar an sliseanna a ghlanadh. Faoi láthair, is iad aigéad sulfarach agus sárocsaíd hidrigine na sreabháin ghlantacháin is coitianta a úsáidtear sa phróiseas monaraíochta ciorcad comhtháite. Ag an am céanna, úsáidtear imoibrithe aigéad-bonn amhail aigéad nítreach, aigéad hidreaclórach agus uisce amóinia freisin.
Tagann an fuíolluisce aigéad-bonn den phróiseas monaraíochta den chuid is mó ón bpróiseas glantacháin sa phróiseas monaraíochta sceallóga. Sa phróiseas pacáistithe, déantar an sceallóg a chóireáil le tuaslagán aigéad-bonn le linn leictreaphlátála agus anailíse ceimiceach. Tar éis na cóireála, ní mór í a ní le huisce íon chun fuíolluisce níocháin aigéad-bonn a tháirgeadh. Ina theannta sin, úsáidtear imoibrithe aigéad-bonn amhail hiodrocsaíd sóidiam agus aigéad hidreaclórach sa stáisiún uisce íon chun roisíní anion agus catóin a athghiniúint chun fuíolluisce athghiniúna aigéad-bonn a tháirgeadh. Déantar uisce níocháin eireabaill a tháirgeadh freisin le linn an phróisis níocháin gáis dramhaíola aigéad-bonn. I gcuideachtaí déantúsaíochta ciorcad comhtháite, tá an méid fuíolluisce aigéad-bonn an-mhór.
3. Fuíolluisce orgánach:
Mar gheall ar phróisis táirgthe éagsúla, tá an méid tuaslagóirí orgánacha a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra an-difriúil. Mar sin féin, mar ghníomhairí glantacháin, úsáidtear tuaslagóirí orgánacha go forleathan fós i gcatagóirí éagsúla den phacáistiú déantúsaíochta. Scaoiltear cuid de na tuaslagóirí trí fhuíolluisce orgánach a scaoileadh.
4. Fuíolluisce eile:
Úsáidfidh próiseas greanta an phróisis táirgthe leathsheoltóra méid mór amóinia, fluairín agus uisce ard-íonachta le haghaidh dí-éillithe, rud a ghinfidh urscaoileadh fuíolluisce ina bhfuil amóinia ard-tiúchana.
Tá an próiseas leictreaphlátála riachtanach sa phróiseas pacáistithe leathsheoltóra. Ní mór an sliseanna a ghlanadh tar éis leictreaphlátála, agus ginfear fuíolluisce glantacháin leictreaphlátála sa phróiseas seo. Ós rud é go n-úsáidtear roinnt miotail san leictreaphlátáil, beidh astaíochtaí ian miotail san fhuíolluisce glantacháin leictreaphlátála, amhail luaidhe, stáin, diosca, since, alúmanam, srl.
Gás dramhaíola
Ós rud é go bhfuil ceanglais thar a bheith ard ag baint leis an bpróiseas leathsheoltóra maidir le glanadh an tseomra oibriúcháin, is gnách go n-úsáidtear lucht leanúna chun cineálacha éagsúla gás dramhaíola a ghaolú le linn an phróisis a bhaint amach. Dá bhrí sin, is sainairíonna d'astaíochtaí gás dramhaíola sa tionscal leathsheoltóra toirt mhór sceite agus tiúchan íseal astaíochtaí. Is iad na hastaíochtaí gás dramhaíola a ghaolú den chuid is mó freisin.
Is féidir na hastaíochtaí gás dramhaíola seo a roinnt ina cheithre chatagóir den chuid is mó: gás aigéadach, gás alcaileach, gás dramhaíola orgánach agus gás tocsaineach.
1. Gás dramhaíola aigéad-bonn:
Tagann gás dramhaíola aigéad-bonn den chuid is mó ó idirleathadh,CVD, CMP agus próisis eitseála, a úsáideann tuaslagán glantacháin aigéad-bonn chun an vaiféar a ghlanadh.
Faoi láthair, is meascán de shárocsaíd hidrigine agus aigéad sulfarach an tuaslagóir glantacháin is coitianta a úsáidtear i bpróiseas monaraíochta leathsheoltóirí.
Áirítear leis an ngás dramhaíola a ghintear sna próisis seo gáis aigéadacha amhail aigéad sulfarach, aigéad hidreafluarach, aigéad hidreaclórach, aigéad nítreach agus aigéad fosfarach, agus is amóinia an gás alcaileach den chuid is mó.
2. Gás dramhaíola orgánach:
Tagann gás dramhaíola orgánach den chuid is mó ó phróisis ar nós fótailithagrafaíocht, forbairt, greanadh agus idirleathadh. Sna próisis seo, úsáidtear tuaslagán orgánach (amhail alcól isopropil) chun dromchla an tsliabháin a ghlanadh, agus is foinse gáis dramhaíola orgánaigh an gás dramhaíola a ghintear trí ghalú;
Ag an am céanna, tá tuaslagóirí orgánacha so-ghalaithe, amhail aicéatáit búitile, sa fhótafhriotaíocht (fótfhriotaíocht) a úsáidtear sa phróiseas fótailigrafaíochta agus greanadh, a scaoileann isteach san atmaisféar le linn an phróisis próiseála vaiféil, ar foinse eile gáis dramhaíola orgánaigh í.
3. Gás dramhaíola tocsaineach:
Tagann gás dramhaíola tocsaineach den chuid is mó ó phróisis ar nós eipitacsú criostail, greanadh tirim agus CVD. Sna próisis seo, úsáidtear réimse gás speisialta ard-íonachta chun an vaiféar a phróiseáil, amhail sileacan (SiHj), fosfar (PH3), teitreaclóiríd charbóin (CFJ), bórán, trí-ocsaíd bóróin, etc. Bíonn roinnt gás speisialta tocsaineach, tachtach agus creimneach.
Ag an am céanna, sa phróiseas greanta tirim agus glantacháin tar éis taiscthe gaile ceimicigh i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí, tá gá le méid mór gáis ocsaíd iomlán (PFCS), amhail NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, etc. Tá ionsú láidir ag na comhdhúile perfluaraithe seo i réigiún an tsolais infridhearg agus fanann siad san atmaisféar ar feadh i bhfad. Meastar go ginearálta gurb iad príomhfhoinse na héifeachta cheaptha teasa domhanda.
4. Gás dramhaíola an phróisis phacáistithe:
I gcomparáid leis an bpróiseas monaraíochta leathsheoltóra, is réasúnta simplí an gás dramhaíola a ghintear leis an bpróiseas pacáistithe leathsheoltóra, den chuid is mó gás aigéadach, roisín eapocsa agus deannach.
Gintear gás dramhaíola aigéadach den chuid is mó i bpróisis amhail leictreaphlátáil;
Gintear gás dramhaíola bácála le linn an phróisis bácála tar éis greamaigh agus séalaithe an táirge;
Gineann an meaisín dísle gás dramhaíola ina bhfuil rian deannaigh sileacain le linn an phróisis gearrtha vaiféir.
Fadhbanna truaillithe comhshaoil
Maidir leis na fadhbanna truaillithe comhshaoil sa tionscal leathsheoltóra, is iad seo a leanas na príomhfhadhbanna a chaithfear a réiteach:
· Astaíocht mhórscála truailleán aeir agus comhdhúile orgánacha so-ghalaithe (VOCanna) sa phróiseas fótailithografaíochta;
· Astaíocht comhdhúile perfluaraithe (PFCS) i bpróisis greanta plasma agus taiscthe gaile ceimicigh;
· Tomhaltas mór fuinnimh agus uisce i dtáirgeadh agus cosaint sábháilteachta oibrithe;
· Monatóireacht ar athchúrsáil agus ar thruailliú fotháirgí;
· Fadhbanna a bhaineann le ceimiceáin ghuaiseacha a úsáid i bpróisis phacáistithe.
Táirgeadh glan
Is féidir feabhas a chur ar theicneolaíocht táirgthe glan gléasanna leathsheoltóra ó thaobh na n-amhábhar, na bpróiseas agus an rialaithe próisis de.
Feabhsú amhábhar agus fuinnimh
Ar dtús, ba cheart íonacht na n-ábhar a rialú go docht chun líon na n-eisíontais agus na gcáithníní a thagann isteach a laghdú.
Ar an dara dul síos, ba cheart tástálacha éagsúla teochta, braite sceite, creathadh, turraing leictreach ardvoltais agus tástálacha eile a dhéanamh ar na comhpháirteanna atá ag teacht isteach nó ar na táirgí leathchríochnaithe sula gcuirtear i dtáirgeadh iad.
Ina theannta sin, ba cheart íonacht na n-ábhar cúnta a rialú go docht. Tá go leor teicneolaíochtaí ann ar féidir iad a úsáid chun fuinneamh a tháirgeadh go glan.
Uasmhéadaigh an próiseas táirgthe
Déanann an tionscal leathsheoltóra féin iarracht a thionchar ar an gcomhshaol a laghdú trí fheabhsuithe ar theicneolaíocht phróisis.
Mar shampla, sna 1970idí, úsáideadh tuaslagóirí orgánacha den chuid is mó chun vaiféir a ghlanadh sa teicneolaíocht glantacháin chiorcad comhtháite. Sna 1980idí, úsáideadh tuaslagáin aigéadacha agus alcaileacha amhail aigéad sulfarach chun vaiféir a ghlanadh. Go dtí na 1990idí, forbraíodh teicneolaíocht glantacháin ocsaigine plasma.
Maidir le pacáistiú, úsáideann formhór na gcuideachtaí teicneolaíocht leictreaphlátála faoi láthair, rud a fhágfaidh truailliú miotail throma ar an gcomhshaol.
Mar sin féin, ní úsáideann monarchana pacáistithe i Shanghai teicneolaíocht leictreaphlátála a thuilleadh, mar sin níl aon tionchar ag miotail throma ar an gcomhshaol. Is féidir a fháil amach go bhfuil an tionscal leathsheoltóra ag laghdú a thionchair ar an gcomhshaol de réir a chéile trí fheabhsuithe próisis agus ionadú ceimiceach ina phróiseas forbartha féin, rud a leanann an treocht forbartha domhanda reatha maidir le dearadh próisis agus táirgí bunaithe ar an gcomhshaol a mholadh.
Faoi láthair, tá feabhsuithe breise ar phróisis áitiúla á ndéanamh, lena n-áirítear:
·Athsholáthar agus laghdú gáis PFCS uile-amóiniam, amhail gás PFCanna a bhfuil éifeacht cheaptha teasa íseal aige a úsáid in ionad gáis a bhfuil éifeacht cheaptha teasa ard aige, amhail sreabhadh an phróisis a fheabhsú agus méid an gháis PFCS a úsáidtear sa phróiseas a laghdú;
·Feabhsú glanadh il-shlaiféir go glanadh aon-shlaiféir chun méid na ngníomhairí glantacháin cheimiceacha a úsáidtear sa phróiseas glantacháin a laghdú.
· Rialú dian próisis:
a. Uathoibriú an phróisis déantúsaíochta a bhaint amach, rud a fhéadann próiseáil bheacht agus táirgeadh baisce a bhaint amach, agus an ráta ard earráide a bhaineann le hoibriú láimhe a laghdú;
b. Fachtóirí comhshaoil próisis thar a bheith glan, is iad daoine agus an comhshaol is cúis le thart ar 5% nó níos lú den chaillteanas táirgeachta. Áirítear go príomha le fachtóirí comhshaoil próisis thar a bheith glanadh aeir, uisce ard-íonachta, aer comhbhrúite, CO2, N2, teocht, taise, etc. Is minic a thomhaistear leibhéal glantachta ceardlainne glan de réir an líon uasta cáithníní a cheadaítear in aghaidh an aonaid toirte aeir, is é sin, tiúchan líon na gcáithníní;
c. Brathadóireacht a neartú, agus pointí tábhachtacha iomchuí a roghnú le haghaidh braite ag stáisiúin oibre a bhfuil méideanna móra dramhaíola iontu le linn an phróisis táirgthe.
Fáilte roimh aon chustaiméirí ó gach cearn den domhan cuairt a thabhairt orainn le haghaidh tuilleadh plé!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Am an phoist: 13 Lúnasa 2024