يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش سانائىتىدىكى بۇلغىنىش مەنبەلىرى ۋە ئالدىنى ئېلىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلەپچىقىرىش ئاساسلىقى ئايرىم ئۈسكۈنىلەر، بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ۋە ئۇلارنىڭ ئورالما جەريانلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنى ئۈچ باسقۇچقا بۆلۈشكە بولىدۇ: مەھسۇلات گەۋدىسى ماتېرىيالى ئىشلەپچىقىرىش، مەھسۇلاتварельئىشلەپچىقىرىش ۋە ئۈسكۈنە يىغىش. بۇلارنىڭ ئىچىدە، ئەڭ ئېغىر بۇلغىنىش مەھسۇلات ۋاپلېرى ئىشلەپچىقىرىش باسقۇچىدۇر.
بۇلغىغۇچىلار ئاساسلىقى چىقىندى سۇ، قالدۇق گاز ۋە قاتتىق قالدۇقلارغا بۆلىنىدۇ.

چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى:

كرېمنىيلىق ۋاپپېرسىرتقى سىلىقلاشتىن كېيىن - تازىلاش - ئوكسىدلىنىش - بىردەك قارشىلىق كۆرسىتىش - فوتولىتوگرافىيە - تەرەققىيات - ئويۇش - دىففۇزىيە، ئىئون ئىمپلانتاتسىيەسى - خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش - خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش - مېتاللاشتۇرۇش قاتارلىقلار.

 

چىقىندى سۇ

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئورالما سىنىقىنىڭ ھەر بىر باسقۇچلۇق باسقۇچىدا كۆپ مىقداردا چىقىندى سۇ ھاسىل بولىدۇ، ئاساسلىقى كىسلاتالىق ئاساس چىقىندى سۇ، ئاممىياك تەركىبلىك چىقىندى سۇ ۋە ئورگانىك چىقىندى سۇ.

 

1. فتور تەركىبلىك چىقىندى سۇ:

ھىدروفتور كىسلاتاسى ئوكسىدلىنىش ۋە چىرىش خۇسۇسىيىتى سەۋەبىدىن ئوكسىدلىنىش ۋە ئويۇش جەريانلىرىدا ئىشلىتىلىدىغان ئاساسلىق ئېرىتكۈچىگە ئايلىنىدۇ. بۇ جەرياندا فتور تەركىبلىك سۇ ئاساسلىقى دىففۇزىيە جەريانى ۋە چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش جەريانىدىن كېلىدۇ. كرېمنىي ۋافلى ۋە شۇنىڭغا ئوخشاش ئەسۋابلارنى تازىلاش جەريانىدا، خىلورىد كىسلاتاسىمۇ كۆپ قېتىم ئىشلىتىلىدۇ. بۇ جەريانلارنىڭ ھەممىسى مەخسۇس ئويۇش باكى ياكى تازىلاش ئۈسكۈنىلىرىدە تاماملىنىدۇ، شۇڭا فتور تەركىبلىك سۇنى مۇستەقىل قويۇپ بېرىشكە بولىدۇ. قويۇقلۇقىغا ئاساسەن، ئۇنى يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى فتور تەركىبلىك سۇ ۋە تۆۋەن قويۇقلۇقتىكى ئاممىياك تەركىبلىك سۇ دەپ ئايرىشقا بولىدۇ. ئادەتتە، يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى ئاممىياك تەركىبلىك سۇنىڭ قويۇقلۇقى 100-1200 مىللىگرام/لېتىرغا يېتىدۇ. كۆپىنچە شىركەتلەر سۇنىڭ بۇ قىسمىنى يۇقىرى سۈپەتلىك سۇ تەلەپ قىلمايدىغان جەريانلار ئۈچۈن قايتا ئىشلىتىدۇ.

2. كىسلاتالىق ئاساسلىق چىقىندى سۇ:

بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى دېگۈدەك ھەر بىر جەرياندا چىپنى تازىلاش تەلەپ قىلىنىدۇ. ھازىر، بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا سۇلفات كىسلاتاسى ۋە ۋودورود پېروكسىد ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان تازىلاش سۇيۇقلۇقى. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، ئازوت كىسلاتاسى، تۇز كىسلاتاسى ۋە ئاممىياك سۈيى قاتارلىق كىسلاتالىق رېئاگېنتلارمۇ ئىشلىتىلىدۇ.
ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى كىسلاتالىق ئاساس سۇ ئاساسلىقى چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى تازىلاش جەريانىدىن كېلىدۇ. ئوراپ قاچىلاش جەريانىدا، چىپ ئېلېكترو قاپلاش ۋە خىمىيىلىك ئانالىز جەريانىدا كىسلاتالىق ئاساس ئېرىتمىسى بىلەن بىر تەرەپ قىلىنىدۇ. بىر تەرەپ قىلىنغاندىن كېيىن، كىسلاتالىق ئاساس يۇيۇش سۇيۇقلۇقىنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن ئۇنى ساپ سۇ بىلەن يۇيۇش كېرەك. بۇنىڭدىن باشقا، ساپ سۇ پونكىتىدا ناترىي گىدروكسىد ۋە تۇز كىسلاتالىق ئاساس رېئاگېنتلىرىمۇ ئانيون ۋە كاتيون قېتىشمىلىرىنى قايتا ھاسىل قىلىش ئۈچۈن كىسلاتالىق ئاساس قايتا ھاسىل قىلىش سۇيۇقلۇقىنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. يۇيۇش سۇيۇقلۇقىمۇ كىسلاتالىق ئاساس قالدۇق گاز يۇيۇش جەريانىدا ھاسىل بولىدۇ. بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئىشلەپچىقىرىش شىركەتلىرىدە، كىسلاتالىق ئاساس قالدۇق سۈيىنىڭ مىقدارى ئالاھىدە كۆپ.

3. ئورگانىك چىقىندى سۇ:

ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىنىڭ ئوخشىماسلىقى سەۋەبىدىن، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە ئىشلىتىلىدىغان ئورگانىك ئېرىتكۈچىلەرنىڭ مىقدارى ئىنتايىن پەرقلىنىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، تازىلاش دورىسى سۈپىتىدە، ئورگانىك ئېرىتكۈچىلەر ئىشلەپچىقىرىش ئورالمىسىنىڭ ھەر خىل ھالقىلىرىدا كەڭ قوللىنىلىۋاتىدۇ. بەزى ئېرىتكۈچىلەر ئورگانىك چىقىندى سۇغا ئايلىنىدۇ.

4. باشقا چىقىندى سۇلار:

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ ئويۇش جەريانى كۆپ مىقداردا ئاممىياك، فتور ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى سۇنى ئىشلىتىپ، يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى ئاممىياك تەركىبلىك چىقىندى سۇنى ھاسىل قىلىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالما جەريانىدا ئېلېكترو قاپلاش جەريانى تەلەپ قىلىنىدۇ. ئېلېكترو قاپلاش جەريانىدىن كېيىن چىپنى تازىلاش كېرەك، ئېلېكترو قاپلاش ئارقىلىق تازىلاش جەريانىدا چىقىندى سۇ ھاسىل بولىدۇ. ئېلېكترو قاپلاش جەريانىدا بەزى مېتاللار ئىشلىتىلگەچكە، ئېلېكترو قاپلاش ئارقىلىق تازىلاش جەريانىدا قوغۇشۇن، قەلەي، دىسكا، سىنىك، ئاليۇمىن قاتارلىق مېتال ئىئونلىرى چىقىرىلىدۇ.

 

قالدۇق گاز

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى ئوپېراتسىيە ئۆيىنىڭ پاكىزلىقىغا ئىنتايىن يۇقىرى تەلەپ قويغاچقا، ئادەتتە شامالدۇرغۇچلار جەرياندا پارغا ئايلىنىپ قالغان ھەر خىل قالدۇق گازلارنى چىقىرىۋېتىشكە ئىشلىتىلىدۇ. شۇڭا، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى قالدۇق گاز قويۇپ بېرىش مىقدارى چوڭ ۋە قويۇپ بېرىش قويۇقلۇقى تۆۋەن بولۇش بىلەن خاراكتېرلىنىدۇ. قالدۇق گاز قويۇپ بېرىش مىقدارىمۇ ئاساسلىقى پارغا ئايلىنىپ قالىدۇ.
بۇ قالدۇق گاز قويۇپ بېرىشلىرىنى ئاساسلىقى تۆت تۈرگە بۆلۈشكە بولىدۇ: كىسلاتالىق گاز، ئىشقارلىق گاز، ئورگانىك قالدۇق گاز ۋە زەھەرلىك گاز.

1. كىسلاتا-ئاساسلىق قالدۇق گاز:

كىسلاتالىق ئاساسلىق قالدۇق گاز ئاساسلىقى دىففۇزىيەدىن كېلىدۇ،يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرى، CMP ۋە ئويۇش جەريانلىرى، بۇ جەريانلاردا ۋافېرنى تازىلاش ئۈچۈن كىسلاتا-ئاساسلىق تازىلاش ئېرىتمىسى ئىشلىتىلىدۇ.
ھازىر، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان تازىلاش ئېرىتكۈچى ۋودورود پېروكسىد ۋە سۇلفات كىسلاتاسىنىڭ ئارىلاشمىسى.
بۇ جەريانلاردا ھاسىل بولغان قالدۇق گازلار ئىچىدە سۇلفات كىسلاتاسى، گىدروفتور كىسلاتاسى، تۇز كىسلاتاسى، ئازوت كىسلاتاسى ۋە فوسفور كىسلاتاسى قاتارلىق كىسلاتالىق گازلار بار، ئىشقارلىق گاز بولسا ئاساسلىقى ئاممىياكتىن ئىبارەت.

2. ئورگانىك قالدۇق گاز:

ئورگانىك قالدۇق گاز ئاساسلىقى فوتولىتوگرافىيە، ئېچىش، ئويۇش ۋە تارقىلىش قاتارلىق جەريانلاردىن كېلىدۇ. بۇ جەريانلاردا، ئورگانىك ئېرىتمە (مەسىلەن، ئىزوپروپىل ئىسپىرتى) ۋافېرنىڭ يۈزىنى تازىلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ، ھەمدە ئۇچۇش ئارقىلىق ھاسىل بولغان قالدۇق گاز ئورگانىك قالدۇق گازنىڭ مەنبەلىرىنىڭ بىرى.
شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، فوتولىتوگرافىيە ۋە ئويۇش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان فوتورېزىست (فوتورېزىست) تەركىبىدە بۇتىل ئاتسېتات قاتارلىق ئۇچۇچان ئورگانىك ئېرىتكۈچىلەر بار بولۇپ، بۇلار ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا ئاتموسفېراغا ئۇچۇپ كىرىدۇ، بۇ ئورگانىك قالدۇق گازنىڭ يەنە بىر مەنبەسى.

3. زەھەرلىك قالدۇق گاز:

زەھەرلىك قالدۇق گاز ئاساسلىقى كىرىستال ئېپىتاكسىيە، قۇرۇق ئويۇش ۋە CVD قاتارلىق جەريانلاردىن كېلىپ چىقىدۇ. بۇ جەريانلاردا، ۋافېرنى پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈچۈن كرېمنىي (SiHj)، فوسفور (PH3)، كاربون تېتراخلورىد (CFJ)، بوران، بور ئۈچ ئوكسىد قاتارلىق ھەر خىل يۇقىرى ساپلىقتىكى ئالاھىدە گازلار ئىشلىتىلىدۇ. بەزى ئالاھىدە گازلار زەھەرلىك، بوغۇپ قويىدىغان ۋە چىرىتىدىغان بولىدۇ.
شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا خىمىيىلىك پارغا چۆكتۈرۈلگەندىن كېيىنكى قۇرۇق ئويۇش ۋە تازىلاش جەريانىدا، NFS، C2F&CR، C3FS، CHF3، SF6 قاتارلىق كۆپ مىقداردىكى تولۇق ئوكسىد (PFCS) گازى تەلەپ قىلىنىدۇ. بۇ پېرفتورلۇق بىرىكمىلەر ئىنفىرا قىزىل نۇر رايونىدا كۈچلۈك سۈمۈرۈلۈپ، ئاتموسفېرادا ئۇزۇن ۋاقىت تۇرىدۇ. ئۇلار ئادەتتە يەر شارى پارنىك ئېففېكتىنىڭ ئاساسلىق مەنبەسى دەپ قارىلىدۇ.

4. ئوراپ قاچىلاش جەريانىدىكى گاز قالدۇقلىرى:

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى بىلەن سېلىشتۇرغاندا، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالما جەريانىدىن ھاسىل بولغان قالدۇق گاز نىسبەتەن ئاددىي بولۇپ، ئاساسلىقى كىسلاتالىق گاز، ئېپوكسى قېتىشمىسى ۋە چاڭ-توزاندىن تەركىب تاپقان.
كىسلاتالىق قالدۇق گاز ئاساسلىقى ئېلېكترو قاپلاش قاتارلىق جەريانلاردا ھاسىل بولىدۇ؛
پىشۇرۇش جەريانىدا، مەھسۇلات چاپلىنىپ پېچەتلەنگەندىن كېيىن، پىشۇرۇش جەريانىدا پۇشۇرۇش قالدۇق گازى ھاسىل بولىدۇ؛
توغراش ماشىنىسى ۋافلى كېسىش جەريانىدا تەركىبىدە ئاز مىقداردىكى كرېمنىي چاڭ-توزانلىرى بار قالدۇق گاز ھاسىل قىلىدۇ.

 

مۇھىت بۇلغىنىش مەسىلىلىرى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى مۇھىت بۇلغىنىش مەسىلىلىرىگە نىسبەتەن، ھەل قىلىشقا تېگىشلىك ئاساسلىق مەسىلىلەر تۆۋەندىكىچە:
· فوتولىتوگرافىيە جەريانىدا ھاۋا بۇلغىمىلىرى ۋە ئۇچۇچان ئورگانىك بىرىكمىلەر (VOCs) نىڭ كەڭ كۆلەمدە قويۇپ بېرىلىشى؛
· پلازما ئويۇتۇش ۋە خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش جەريانلىرىدا پېرفتورلۇق بىرىكمىلەرنىڭ (PFCS) قويۇپ بېرىلىشى؛
· ئىشلەپچىقىرىشتا ئېنېرگىيە ۋە سۇنىڭ كۆپ مىقداردا ئىشلىتىلىشى ۋە ئىشچىلارنىڭ بىخەتەرلىكىنى قوغداش؛
· قوشۇمچە مەھسۇلاتلارنى قايتا ئىشلەش ۋە بۇلغىنىشنى نازارەت قىلىش؛
· ئوراپ قاچىلاش جەريانلىرىدا خەتەرلىك خىمىيىلىك ماددىلارنى ئىشلىتىش مەسىلىلىرى.

 

پاكىز ئىشلەپچىقىرىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ پاكىز ئىشلەپچىقىرىش تېخنىكىسىنى خام ئەشيا، جەريان ۋە جەرياننى كونترول قىلىش قاتارلىق جەھەتلەردىن ياخشىلىغىلى بولىدۇ.

 

خام ئەشيا ۋە ئېنېرگىيەنى ياخشىلاش

بىرىنچىدىن، ماتېرىياللارنىڭ ساپلىقىنى قاتتىق كونترول قىلىپ، ئارىلاشما ماددىلار ۋە زەررىچىلەرنىڭ كىرىشىنى ئازايتىش كېرەك.
ئىككىنچىدىن، ئىشلەپچىقىرىشقا كىرىشتىن بۇرۇن، كىرىۋاتقان زاپچاسلار ياكى يېرىم پىششىقلاپ ئىشلەنگەن مەھسۇلاتلارغا ھەر خىل تېمپېراتۇرا، ئېقىش، تىترەش، يۇقىرى ۋولتلۇق توك سوقۇش قاتارلىق سىناقلارنى ئېلىپ بېرىش كېرەك.
بۇنىڭدىن باشقا، ياردەمچى ماتېرىياللارنىڭ ساپلىقىنى قاتتىق كونترول قىلىش كېرەك. ئېنېرگىيەنى پاكىز ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ئىشلىتىشكە بولىدىغان تېخنىكىلار نىسبەتەن كۆپ.

 

ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئۆزىمۇ تېخنىكا تېخنىكىسىنى ياخشىلاش ئارقىلىق مۇھىتقا بولغان تەسىرىنى ئازايتىشقا تىرىشىدۇ.
مەسىلەن، 1970-يىللاردا، ئورگانىك ئېرىتكۈچىلەر ئاساسلىقى بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى تازىلاش تېخنىكىسىدا ۋافلىلارنى تازىلاشقا ئىشلىتىلگەن. 1980-يىللاردا، ۋافلىلارنى تازىلاش ئۈچۈن سۇلفات كىسلاتاسى قاتارلىق كىسلاتا ۋە ئىشقار ئېرىتمىلىرى ئىشلىتىلگەن. 1990-يىللارغىچە، پلازما ئوكسىگېن تازىلاش تېخنىكىسى تەرەققىي قىلدۇرۇلغان.
ئورالما جەھەتتە، ھازىر كۆپىنچە شىركەتلەر ئېلېكترو قاپلاش تېخنىكىسىنى ئىشلىتىۋاتىدۇ، بۇ مۇھىتنىڭ ئېغىر مېتال بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
قانداقلا بولمىسۇن، شاڭخەيدىكى ئورالما زاۋۇتلىرى ئەمدى ئېلېكترو قاپلاش تېخنىكىسىنى ئىشلەتمەيدۇ، شۇڭا ئېغىر مېتاللارنىڭ مۇھىتقا تەسىرى يوق. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئۆزىنىڭ تەرەققىيات جەريانىدا جەرياننى ياخشىلاش ۋە خىمىيىلىك ئالماشتۇرۇش ئارقىلىق مۇھىتقا بولغان تەسىرىنى تەدرىجىي ئازايتىۋاتقانلىقىنى بايقىغىلى بولىدۇ، بۇمۇ مۇھىتقا ئاساسەن جەريان ۋە مەھسۇلات لايىھىلەشنى تەشەببۇس قىلىشنىڭ ھازىرقى دۇنياۋى تەرەققىيات يۈزلىنىشىگە ئەگىشىدۇ.

 

ھازىر، يەرلىك جەريانلارنى ياخشىلاش ئۈچۈن تېخىمۇ كۆپ ئىشلار ئېلىپ بېرىلىۋاتىدۇ، بۇنىڭ ئىچىدە:

· پۈتۈنلەي ئاممونىيلىق PFC گازىنى ئالماشتۇرۇش ۋە ئازايتىش، مەسىلەن، يۇقىرى پارنىك ئېففېكتىغا ئىگە گازنىڭ ئورنىغا تۆۋەن پارنىك ئېففېكتىغا ئىگە PFC گازىنى ئىشلىتىش، مەسىلەن، جەريان ئېقىمىنى ياخشىلاش ۋە جەرياندا ئىشلىتىلىدىغان PFC گازىنىڭ مىقدارىنى ئازايتىش؛
· كۆپ ۋاپېللىق تازىلاشنى يەككە ۋاپېللىق تازىلاشقا ئۆزگەرتىش ئارقىلىق تازىلاش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان خىمىيىلىك تازىلاش دورىلىرىنىڭ مىقدارىنى ئازايتىش.
·قاتتىق جەريان كونترولى:
a. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى ئاپتوماتلاشتۇرۇشنى ئىشقا ئاشۇرۇش، بۇ ئارقىلىق ئېنىق پىششىقلاش ۋە تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش، قولدا ئىشلەشتىكى يۇقىرى خاتالىق نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىش؛
b. ئىنتايىن پاكىز ئىشلەپچىقىرىش مۇھىت ئامىللىرى، مەھسۇلات زىيىنىنىڭ تەخمىنەن %5 ياكى ئۇنىڭدىنمۇ ئاز قىسمى كىشىلەر ۋە مۇھىت سەۋەبىدىن كېلىپ چىقىدۇ. ئىنتايىن پاكىز ئىشلەپچىقىرىش مۇھىت ئامىللىرى ئاساسلىقى ھاۋانىڭ پاكىزلىقى، يۇقىرى ساپلىقتىكى سۇ، سىقىلغان ھاۋا، CO2، N2، تېمپېراتۇرا، نەملىك قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. پاكىز سېخنىڭ پاكىزلىق دەرىجىسى كۆپىنچە ھاۋانىڭ بىرلىك ھەجىمىدىكى ئەڭ چوڭ زەررىچە سانى، يەنى زەررىچە سانىنىڭ قويۇقلۇقى بىلەن ئۆلچىنىدۇ.
c. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا كۆپ مىقداردا قالدۇق چىقىرىلىدىغان خىزمەت ئورۇنلىرىدا بايقاشنى كۈچەيتىش ۋە بايقاش ئۈچۈن مۇۋاپىق ئاچقۇچلۇق نۇقتىلارنى تاللاش.

 

دۇنيانىڭ ھەرقايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ تېخىمۇ كۆپ مۇزاكىرە قىلىش ئۈچۈن بىزگە كېلىشىنى قارشى ئالىمىز!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j