ប្រភពបំពុល និងការបង្ការក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ

ការផលិតឧបករណ៍​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ​ភាគច្រើន​រួមបញ្ចូល​ឧបករណ៍​ដាច់ពីគ្នា សៀគ្វី​រួមបញ្ចូលគ្នា និងដំណើរការវេចខ្ចប់​របស់វា។
ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអាចបែងចែកជាបីដំណាក់កាល៖ ការផលិតសម្ភារៈតួផលិតផល និងការផលិតផលិតផលនំ​វ៉ាហ្វើរការផលិត និងការផ្គុំឧបករណ៍។ ក្នុងចំណោមនោះ ការបំពុលធ្ងន់ធ្ងរបំផុតគឺដំណាក់កាលផលិតបន្ទះសៀគ្វីផលិតផល។
សារធាតុ​បំពុល​ត្រូវ​បាន​បែងចែក​ជា​ចម្បង​ទៅ​ជា​ទឹក​សំណល់ ឧស្ម័ន​កាកសំណល់ និង​កាកសំណល់​រឹង។

ដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប៖

បន្ទះស៊ីលីកុនបន្ទាប់ពីការកិនខាងក្រៅ - ការសម្អាត - អុកស៊ីតកម្ម - ធន់ទ្រាំឯកសណ្ឋាន - ការថតចម្លងដោយពន្លឺ - ការអភិវឌ្ឍ - ការឆ្លាក់ - ការសាយភាយ ការបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង - ការដាក់ចំហាយគីមី - ការប៉ូលាមេកានិចគីមី - លោហធាតុ។ល។

 

ទឹកសំណល់

ទឹកសំណល់មួយចំនួនធំត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅក្នុងជំហានដំណើរការនីមួយៗនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងការធ្វើតេស្តវេចខ្ចប់ ដែលភាគច្រើនជាទឹកសំណល់អាស៊ីតបាស ទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកអាម៉ូញាក់ និងទឹកសំណល់សរីរាង្គ។

 

១. ទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន៖

អាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីកក្លាយជាសារធាតុរំលាយសំខាន់ដែលប្រើក្នុងដំណើរការអុកស៊ីតកម្ម និងឆ្លាក់ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិអុកស៊ីតកម្ម និងច្រេះរបស់វា។ ទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីននៅក្នុងដំណើរការនេះភាគច្រើនមកពីដំណើរការសាយភាយ និងដំណើរការប៉ូលាគីមីមេកានិចនៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប។ នៅក្នុងដំណើរការសម្អាតបន្ទះស៊ីលីកុន និងឧបករណ៍ពាក់ព័ន្ធ អាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីកក៏ត្រូវបានគេប្រើច្រើនដងផងដែរ។ ដំណើរការទាំងអស់នេះត្រូវបានបញ្ចប់នៅក្នុងធុងឆ្លាក់ ឬឧបករណ៍សម្អាតដែលឧទ្ទិសដល់ការឆ្លាក់ ដូច្នេះទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនអាចត្រូវបានបញ្ចេញដោយឯករាជ្យ។ យោងទៅតាមកំហាប់ វាអាចបែងចែកទៅជាទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីនកំហាប់ខ្ពស់ និងទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកអាម៉ូញាក់កំហាប់ទាប។ ជាទូទៅ កំហាប់នៃទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកអាម៉ូញាក់កំហាប់ខ្ពស់អាចឡើងដល់ 100-1200 មីលីក្រាម/លីត្រ។ ក្រុមហ៊ុនភាគច្រើនកែច្នៃផ្នែកនៃទឹកសំណល់នេះឡើងវិញសម្រាប់ដំណើរការដែលមិនត្រូវការគុណភាពទឹកខ្ពស់។

២. ទឹកសំណល់អាស៊ីត-បាស៖

ស្ទើរតែគ្រប់ដំណើរការទាំងអស់នៅក្នុងដំណើរការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាតម្រូវឱ្យសម្អាតបន្ទះឈីប។ បច្ចុប្បន្ននេះ អាស៊ីតស៊ុលហ្វួរិក និងអ៊ីដ្រូសែនប៉េរ៉ុកស៊ីត គឺជាសារធាតុរាវសម្អាតដែលប្រើជាទូទៅបំផុតនៅក្នុងដំណើរការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ សារធាតុប្រតិកម្មអាស៊ីត-បាសដូចជាអាស៊ីតនីទ្រីក អាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីក និងទឹកអាម៉ូញាក់ក៏ត្រូវបានប្រើប្រាស់ផងដែរ។
ទឹកសំណល់អាស៊ីត-បាសនៃដំណើរការផលិតភាគច្រើនមកពីដំណើរការសម្អាតនៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប។ នៅក្នុងដំណើរការវេចខ្ចប់ បន្ទះឈីបត្រូវបានព្យាបាលដោយដំណោះស្រាយអាស៊ីត-បាសក្នុងអំឡុងពេលអេឡិចត្រូផ្លាទីង និងការវិភាគគីមី។ បន្ទាប់ពីការព្យាបាល វាត្រូវលាងសម្អាតជាមួយទឹកសុទ្ធដើម្បីផលិតទឹកសំណល់លាងសម្អាតអាស៊ីត-បាស។ លើសពីនេះ សារធាតុប្រតិកម្មអាស៊ីត-បាសដូចជាសូដ្យូមអ៊ីដ្រូស៊ីត និងអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីកក៏ត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅក្នុងស្ថានីយ៍ទឹកសុទ្ធដើម្បីបង្កើតឡើងវិញនូវជ័រអានីយ៉ុង និងកាតូនដើម្បីបង្កើតទឹកសំណល់បង្កើតឡើងវិញនូវអាស៊ីត-បាស។ ទឹកលាងសម្អាតកន្ទុយក៏ត្រូវបានផលិតក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលាងសម្អាតឧស្ម័នកាកសំណល់អាស៊ីត-បាសផងដែរ។ នៅក្នុងក្រុមហ៊ុនផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា បរិមាណទឹកសំណល់អាស៊ីត-បាសមានច្រើនណាស់។

៣. ទឹកសំណល់សរីរាង្គ៖

ដោយសារតែដំណើរការផលិតផ្សេងៗគ្នា បរិមាណសារធាតុរំលាយសរីរាង្គដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រគឺខុសគ្នាខ្លាំងណាស់។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ក្នុងនាមជាសារធាតុសម្អាត សារធាតុរំលាយសរីរាង្គនៅតែត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងតំណភ្ជាប់ផ្សេងៗនៃការវេចខ្ចប់ផលិតកម្ម។ សារធាតុរំលាយមួយចំនួនក្លាយជាការបញ្ចេញទឹកសំណល់សរីរាង្គ។

៤. ទឹកសំណល់ផ្សេងទៀត៖

ដំណើរការឆ្លាក់នៃដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រនឹងប្រើប្រាស់អាម៉ូញាក់ ហ្វ្លុយអូរីន និងទឹកបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងបរិមាណច្រើនសម្រាប់ការបន្សាបជាតិពុល ដោយហេតុនេះបង្កើតឱ្យមានការបញ្ចេញទឹកសំណល់ដែលមានផ្ទុកអាម៉ូញាក់កំហាប់ខ្ពស់។
ដំណើរការ​ស្រោប​ដោយ​អគ្គិសនី​ត្រូវ​បាន​ទាមទារ​នៅ​ក្នុង​ដំណើរការ​វេច​ខ្ចប់​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ បន្ទះ​ឈីប​ត្រូវ​ការ​សម្អាត​បន្ទាប់​ពី​ស្រោប​ដោយ​អគ្គិសនី ហើយ​ទឹក​សំណល់​សម្អាត​ស្រោប​ដោយ​អគ្គិសនី​នឹង​ត្រូវ​បាន​បង្កើត​ឡើង​នៅ​ក្នុង​ដំណើរការ​នេះ។ ដោយសារ​លោហៈ​មួយ​ចំនួន​ត្រូវ​បាន​ប្រើ​ក្នុង​ការ​ស្រោប​ដោយ​អគ្គិសនី នឹង​មាន​ការ​បំភាយ​អ៊ីយ៉ុង​លោហៈ​នៅ​ក្នុង​ទឹក​សំណល់​សម្អាត​ស្រោប​ដោយ​អគ្គិសនី ដូចជា​សំណ សំណប៉ាហាំង ឌីស ស័ង្កសី អាលុយមីញ៉ូម។ល។

 

ឧស្ម័នកាកសំណល់

ដោយសារតែដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រមានតម្រូវការខ្ពស់ខ្លាំងសម្រាប់អនាម័យនៃបន្ទប់វះកាត់ ជាធម្មតាកង្ហារត្រូវបានប្រើដើម្បីទាញយកឧស្ម័នកាកសំណល់ជាច្រើនប្រភេទដែលហួតក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ។ ដូច្នេះ ការបំភាយឧស្ម័នកាកសំណល់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយបរិមាណផ្សែងច្រើន និងកំហាប់បំភាយទាប។ ការបំភាយឧស្ម័នកាកសំណល់ក៏ភាគច្រើនហួតផងដែរ។
ការបំភាយឧស្ម័នកាកសំណល់ទាំងនេះអាចបែងចែកជាបួនប្រភេទសំខាន់ៗ៖ ឧស្ម័នអាស៊ីត ឧស្ម័នអាល់កាឡាំង ឧស្ម័នកាកសំណល់សរីរាង្គ និងឧស្ម័នពុល។

១. ឧស្ម័នកាកសំណល់អាស៊ីត-បាស៖

ឧស្ម័នកាកសំណល់អាស៊ីត-បាសភាគច្រើនមកពីការសាយភាយជំងឺ CVD, CMP និងដំណើរការឆ្លាក់ ដែលប្រើដំណោះស្រាយសម្អាតអាស៊ីត-បាស ដើម្បីសម្អាតបន្ទះ wafer។
បច្ចុប្បន្ននេះ សារធាតុរំលាយសម្អាតដែលប្រើជាទូទៅបំផុតនៅក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រគឺជាល្បាយនៃអ៊ីដ្រូសែនប៉េរ៉ុកស៊ីត និងអាស៊ីតស៊ុលហ្វួរិក។
ឧស្ម័ន​កាកសំណល់​ដែល​បង្កើត​ឡើង​ក្នុង​ដំណើរការ​ទាំងនេះ​រួម​មាន​ឧស្ម័ន​អាស៊ីត​ដូចជា​អាស៊ីត​ស៊ុលហ្វួរិក អាស៊ីត​អ៊ីដ្រូ​ហ្វ្លុយអូរីក អាស៊ីត​អ៊ីដ្រូ​ក្លរីក អាស៊ីត​នីទ្រីក និង​អាស៊ីត​ផូស្វ័រ ហើយ​ឧស្ម័ន​អាល់កាឡាំង​ភាគច្រើន​គឺ​អាម៉ូញាក់។

២. ឧស្ម័នកាកសំណល់សរីរាង្គ៖

ឧស្ម័ន​កាកសំណល់​សរីរាង្គ​ភាគច្រើន​មកពី​ដំណើរការ​ដូចជា​ការ​ថត​ពន្លឺ​, ការ​អភិវឌ្ឍ​, ការ​ឆ្លាក់​និង​ការ​សាយភាយ​។ នៅក្នុង​ដំណើរការ​ទាំងនេះ​, ដំណោះស្រាយ​សរីរាង្គ (ដូចជា​អាល់កុល​អ៊ីសូប្រូពីល​) ត្រូវបាន​ប្រើ​ដើម្បី​សម្អាត​ផ្ទៃ​នៃ​បន្ទះ​ស្តើង​, ហើយ​ឧស្ម័ន​កាកសំណល់​ដែល​បង្កើត​ឡើង​ដោយ​ការ​ហួត​គឺជា​ប្រភព​មួយ​នៃ​ឧស្ម័ន​កាកសំណល់​សរីរាង្គ​;
ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ សារធាតុ photoresist (photoresist) ដែលប្រើក្នុងដំណើរការនៃការ photolithography និងការឆ្លាក់មានផ្ទុកសារធាតុរំលាយសរីរាង្គងាយនឹងបង្កជាហេតុ ដូចជា butyl acetate ដែលហួតចូលទៅក្នុងបរិយាកាសក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកែច្នៃ wafer ដែលជាប្រភពមួយទៀតនៃឧស្ម័នកាកសំណល់សរីរាង្គ។

៣. ឧស្ម័នកាកសំណល់ពុល៖

ឧស្ម័នកាកសំណល់ពុលភាគច្រើនមកពីដំណើរការដូចជាការឆ្លាក់គ្រីស្តាល់ ការឆ្លាក់ស្ងួត និង CVD។ នៅក្នុងដំណើរការទាំងនេះ ឧស្ម័នពិសេសជាច្រើនប្រភេទដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីដំណើរការបន្ទះសៀគ្វី ដូចជាស៊ីលីកុន (SiHj) ផូស្វ័រ (PH3) កាបូនតេត្រាក្លរីត (CFJ) បូរ៉ាន បូរ៉ុនទ្រីអុកស៊ីតជាដើម។ ឧស្ម័នពិសេសមួយចំនួនមានជាតិពុល ធ្វើឱ្យថប់ដង្ហើម និងច្រេះ។
ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ នៅក្នុងដំណើរការឆ្លាក់ស្ងួត និងសម្អាត បន្ទាប់ពីការទម្លាក់ចំហាយគីមីក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ត្រូវការឧស្ម័នអុកស៊ីដពេញលេញ (PFCS) មួយចំនួនធំ ដូចជា NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6 ជាដើម។ សមាសធាតុ perfluorinated ទាំងនេះមានការស្រូបយកខ្លាំងនៅក្នុងតំបន់ពន្លឺអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ ហើយស្ថិតនៅក្នុងបរិយាកាសក្នុងរយៈពេលយូរ។ ជាទូទៅ ពួកវាត្រូវបានចាត់ទុកថាជាប្រភពសំខាន់នៃឥទ្ធិពលផ្ទះកញ្ចក់សកល។

៤. ឧស្ម័នកាកសំណល់ដំណើរការវេចខ្ចប់៖

បើប្រៀបធៀបទៅនឹងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧស្ម័នកាកសំណល់ដែលបង្កើតឡើងដោយដំណើរការវេចខ្ចប់ស៊ីមីកុងដុកទ័រគឺសាមញ្ញណាស់ ភាគច្រើនជាឧស្ម័នអាស៊ីត ជ័រអេផូស៊ី និងធូលីដី។
ឧស្ម័នកាកសំណល់អាស៊ីតត្រូវបានបង្កើតឡើងជាចម្បងនៅក្នុងដំណើរការដូចជាការស្រោបដោយអគ្គិសនី។
ឧស្ម័នកាកសំណល់ដុតនំត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅក្នុងដំណើរការនៃការដុតនំបន្ទាប់ពីការបិទភ្ជាប់ផលិតផល និងការផ្សាភ្ជាប់។
ម៉ាស៊ីន​កាត់​បន្ទះ​ស្តើង​បង្កើត​ឧស្ម័ន​កាកសំណល់​ដែល​មាន​ធូលី​ស៊ីលីកុន​តិចតួច​អំឡុង​ពេល​ដំណើរការ​កាត់​បន្ទះ​ស្តើង។

 

បញ្ហា​បំពុល​បរិស្ថាន

ចំពោះបញ្ហាបំពុលបរិស្ថាននៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ បញ្ហាចម្បងដែលត្រូវដោះស្រាយគឺ៖
· ការបំភាយឧស្ម័នខ្យល់ និងសមាសធាតុសរីរាង្គងាយនឹងបង្កជាហេតុ (VOCs) ក្នុងទ្រង់ទ្រាយធំ នៅក្នុងដំណើរការថតចម្លងពន្លឺ;
· ការបញ្ចេញសមាសធាតុ perfluorinated (PFCS) នៅក្នុងដំណើរការ etching ប្លាស្មា និងដំណើរការដាក់ចំហាយគីមី;
· ការប្រើប្រាស់ថាមពល និងទឹកទ្រង់ទ្រាយធំក្នុងផលិតកម្ម និងការការពារសុវត្ថិភាពរបស់កម្មករ។
· ការកែច្នៃឡើងវិញ និងការតាមដានការបំពុលផលិតផលរង;
· បញ្ហានៃការប្រើប្រាស់សារធាតុគីមីគ្រោះថ្នាក់ក្នុងដំណើរការវេចខ្ចប់។

 

ផលិតកម្មស្អាត

បច្ចេកវិទ្យាផលិតកម្មស្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអាចត្រូវបានកែលម្អពីទិដ្ឋភាពនៃវត្ថុធាតុដើម ដំណើរការ និងការគ្រប់គ្រងដំណើរការ។

 

ការកែលម្អវត្ថុធាតុដើម និងថាមពល

ទីមួយ ភាពបរិសុទ្ធនៃវត្ថុធាតុដើមគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដើម្បីកាត់បន្ថយការបញ្ចូលភាពមិនបរិសុទ្ធ និងភាគល្អិត។
ទីពីរ ការធ្វើតេស្តសីតុណ្ហភាពផ្សេងៗ ការរកឃើញការលេចធ្លាយ រំញ័រ ការឆក់អគ្គិសនីវ៉ុលខ្ពស់ និងការធ្វើតេស្តផ្សេងៗទៀតគួរតែត្រូវបានអនុវត្តលើសមាសធាតុចូល ឬផលិតផលពាក់កណ្តាលសម្រេច មុនពេលពួកវាត្រូវបានដាក់ឱ្យដំណើរការផលិត។
លើសពីនេះ ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈជំនួយគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ មានបច្ចេកវិទ្យាជាច្រើនដែលអាចប្រើសម្រាប់ការផលិតថាមពលស្អាត។

 

បង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការផលិតកម្ម

ឧស្សាហកម្ម​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ​ខ្លួនឯង​ខិតខំ​កាត់បន្ថយ​ផលប៉ះពាល់​របស់ខ្លួន​ទៅលើ​បរិស្ថាន​តាមរយៈ​ការកែលម្អ​បច្ចេកវិទ្យា​ដំណើរការ។
ឧទាហរណ៍ នៅទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1970 សារធាតុរំលាយសរីរាង្គត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីសម្អាតបន្ទះសៀគ្វីនៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាសម្អាតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ នៅទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1980 ដំណោះស្រាយអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងដូចជាអាស៊ីតស៊ុលហ្វួរិកត្រូវបានប្រើដើម្បីសម្អាតបន្ទះសៀគ្វី។ រហូតដល់ទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1990 បច្ចេកវិទ្យាសម្អាតអុកស៊ីសែនប្លាស្មាត្រូវបានបង្កើតឡើង។
ទាក់ទងនឹងការវេចខ្ចប់ ក្រុមហ៊ុនភាគច្រើនបច្ចុប្បន្នប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា electroplating ដែលនឹងបង្កឱ្យមានការបំពុលលោហៈធ្ងន់ដល់បរិស្ថាន។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ រោងចក្រវេចខ្ចប់នៅទីក្រុងសៀងហៃលែងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូផ្លាទីងទៀតហើយ ដូច្នេះមិនមានផលប៉ះពាល់នៃលោហធាតុធ្ងន់ទៅលើបរិស្ថានទេ។ អាចរកឃើញថា ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រកំពុងកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់របស់វាទៅលើបរិស្ថានបន្តិចម្តងៗ តាមរយៈការកែលម្អដំណើរការ និងការជំនួសសារធាតុគីមីនៅក្នុងដំណើរការអភិវឌ្ឍន៍របស់ខ្លួន ដែលក៏ដើរតាមនិន្នាការអភិវឌ្ឍន៍សកលបច្ចុប្បន្ននៃការតស៊ូមតិឱ្យរចនាដំណើរការ និងផលិតផលដោយផ្អែកលើបរិស្ថាន។

 

បច្ចុប្បន្ននេះ ការកែលម្អដំណើរការក្នុងស្រុកជាច្រើនទៀតកំពុងត្រូវបានអនុវត្ត រួមមាន៖

· ការជំនួស និងការកាត់បន្ថយឧស្ម័ន PFCS អាម៉ូញ៉ូមទាំងអស់ ដូចជាការប្រើប្រាស់ឧស្ម័ន PFCs ដែលមានឥទ្ធិពលផ្ទះកញ្ចក់ទាប ដើម្បីជំនួសឧស្ម័នដែលមានឥទ្ធិពលផ្ទះកញ្ចក់ខ្ពស់ ដូចជាការកែលម្អលំហូរដំណើរការ និងការកាត់បន្ថយបរិមាណឧស្ម័ន PFCS ដែលប្រើប្រាស់ក្នុងដំណើរការ។
·ការកែលម្អការសម្អាតបន្ទះច្រើនស្រទាប់ទៅជាការសម្អាតបន្ទះតែមួយ ដើម្បីកាត់បន្ថយបរិមាណសារធាតុគីមីសម្អាតដែលប្រើក្នុងដំណើរការសម្អាត។
· ការគ្រប់គ្រងដំណើរការយ៉ាងតឹងរ៉ឹង៖
ក. សម្រេចបាននូវស្វ័យប្រវត្តិកម្មនៃដំណើរការផលិត ដែលអាចសម្រេចបាននូវដំណើរការផលិត និងការផលិតជាបាច់ដែលមានភាពជាក់លាក់ និងកាត់បន្ថយអត្រាកំហុសខ្ពស់នៃប្រតិបត្តិការដោយដៃ។
ខ. កត្តាបរិស្ថាននៃដំណើរការស្អាតខ្លាំង ប្រហែល 5% ឬតិចជាងនេះនៃការខាតបង់ទិន្នផលគឺបណ្តាលមកពីមនុស្ស និងបរិស្ថាន។ កត្តាបរិស្ថាននៃដំណើរការស្អាតខ្លាំងភាគច្រើនរួមមាន អនាម័យខ្យល់ ទឹកបរិសុទ្ធខ្ពស់ ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ CO2, N2 សីតុណ្ហភាព សំណើម។ល។ កម្រិតអនាម័យនៃសិក្ខាសាលាស្អាតត្រូវបានវាស់វែងជាញឹកញាប់ដោយចំនួនអតិបរមានៃភាគល្អិតដែលត្រូវបានអនុញ្ញាតក្នុងមួយឯកតាបរិមាណខ្យល់ ពោលគឺកំហាប់ចំនួនភាគល្អិត។
គ. ពង្រឹងការរកឃើញ និងជ្រើសរើសចំណុចសំខាន់ៗសមស្របសម្រាប់ការរកឃើញនៅកន្លែងធ្វើការដែលមានកាកសំណល់ច្រើនក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិត។

 

សូមស្វាគមន៍អតិថិជនទាំងអស់មកពីជុំវិញពិភពលោកមកទស្សនាយើងខ្ញុំសម្រាប់ការពិភាក្សាបន្ថែម!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j