De produksje fan healgelieders omfettet benammen diskrete apparaten, yntegreare circuits en har ferpakkingsprosessen.
De produksje fan healgeleiders kin wurde ferdield yn trije stadia: produksje fan produktlichemmateriaal, produktwafelproduksje en apparaatassemblage. Under harren is de meast serieuze fersmoarging de produksjefaze fan produktwafers.
Fersmoargjende stoffen wurde benammen ferdield yn ôffalwetter, ôffalgas en fêst ôffal.
Chipproduksjeproses:
Silisiumwafernei ekstern slypjen - skjinmeitsjen - oksidaasje - unifoarme resist - fotolitografy - ûntwikkeling - etsen - diffúzje, ionymplantaasje - gemyske dampôfsetting - gemysk-meganysk polijsten - metallisaasje, ensfh.
Ofwetter
In elke prosesstap fan healgeleiderproduksje en ferpakkingstesten wurdt in grutte hoemannichte ôffalwetter generearre, benammen soer-base ôffalwetter, ammoniakhâldend ôffalwetter en organysk ôffalwetter.
1. Fluorhâldend ôffalwetter:
Fluorwetterstofsoer wurdt it wichtichste oplosmiddel dat brûkt wurdt yn oksidaasje- en etsprosessen fanwegen syn oksidearjende en korrosive eigenskippen. Fluorhâldend ôffalwetter yn it proses komt benammen fan it diffúzjeproses en it gemysk-meganyske polijstproses yn it chipproduksjeproses. Yn it skjinmeitsjen fan silisiumwafers en relatearre gebrûksfoarwerpen wurdt sâltsoer ek in protte kearen brûkt. Al dizze prosessen wurde foltôge yn spesjale etstanks of skjinmeitsjensapparatuer, sadat fluorhâldend ôffalwetter ûnôfhinklik ôffierd wurde kin. Neffens de konsintraasje kin it wurde ferdield yn fluorhâldend ôffalwetter mei hege konsintraasje en ammoniakhâldend ôffalwetter mei lege konsintraasje. Yn 't algemien kin de konsintraasje fan ammoniakhâldend ôffalwetter mei hege konsintraasje 100-1200 mg/L berikke. De measte bedriuwen recycle dit diel fan it ôffalwetter foar prosessen dy't gjin hege wetterkwaliteit fereaskje.
2. Soer-base ôffalwetter:
Hast elk proses yn it produksjeproses fan yntegreare sirkwy's fereasket dat de chip skjinmakke wurdt. Op it stuit binne swevelsoer en wetterstofperokside de meast brûkte reinigingsfloeistoffen yn it produksjeproses fan yntegreare sirkwy's. Tagelyk wurde ek soer-base-reagentia lykas salpetersoer, sâltsoer en ammoniakwetter brûkt.
It soer-base ôffalwetter fan it produksjeproses komt benammen fan it skjinmeitsjen yn it chipproduksjeproses. Yn it ferpakkingsproses wurdt de chip behannele mei in soer-base-oplossing tidens it galvanisearjen en gemyske analyze. Nei de behanneling moat it wosken wurde mei suver wetter om soer-base waskôffalwetter te produsearjen. Derneist wurde soer-base-reagentia lykas natriumhydrokside en sâltsoer ek brûkt yn it suvere wetterstasjon om anion- en kationharsen te regenerearjen om soer-base-regeneraasjeôffalwetter te produsearjen. Waskrestwetter wurdt ek produsearre tidens it soer-base-ôffalgaswasproses. Yn yntegreare circuitproduksjebedriuwen is de hoemannichte soer-base ôffalwetter benammen grut.
3. Organysk ôffalwetter:
Fanwegen ferskillende produksjeprosessen is de hoemannichte organyske oplosmiddels dy't brûkt wurde yn 'e healgeleideryndustry tige ferskillend. As reinigingsmiddels wurde organyske oplosmiddels lykwols noch altyd in soad brûkt yn ferskate ferbiningen fan produksjeferpakking. Guon oplosmiddels wurde ûntslein yn organysk ôffalwetter.
4. Oar ôffalwetter:
It etsproses fan it produksjeproses fan healgeleiders sil in grutte hoemannichte ammoniak, fluor en wetter mei hege suverens brûke foar dekontaminaasje, wêrtroch't ôffalwetter mei hege konsintraasje ammoniak ûntstiet.
It elektroplatearjende proses is fereaske yn it proses fan healgeleiderferpakking. De chip moat nei it elektroplatearjen skjinmakke wurde, en yn dit proses sil ôffalwetter fan it elektroplatearjen ûntstean. Omdat guon metalen brûkt wurde by it elektroplatearjen, sille der metaalioanenútstjit wêze yn it ôffalwetter fan it elektroplatearjen, lykas lead, tin, skiif, sink, aluminium, ensfh.
Ofgas
Omdat it healgeleiderproses ekstreem hege easken stelt oan de skjinens fan 'e operaasjekeamer, wurde fans meastentiids brûkt om ferskate soarten ôffalgassen te ferwiderjen dy't tidens it proses ferdampe. Dêrom wurde de ôffalgasútstjit yn 'e healgeleideryndustry karakterisearre troch in grut útlaatvolume en in lege emisjekonsintraasje. Ôffalgasútstjit wurdt ek benammen ferdampe.
Dizze ôffalgasútstjit kin benammen wurde ferdield yn fjouwer kategoryen: soer gas, alkalysk gas, organysk ôffalgas en giftich gas.
1. Soer-base ôffalgas:
Soer-base ôffalgas komt benammen út diffúzje,CVD, CMP en etsprosessen, dy't in soere-base-reinigingsoplossing brûke om de wafer skjin te meitsjen.
Op it stuit is it meast brûkte reinigingsoplosmiddel yn it produksjeproses fan healgeleiders in mingsel fan wetterstofperokside en swevelsoer.
It ôffalgas dat yn dizze prosessen ûntstiet omfettet soere gassen lykas swevelsoer, wetterstoffluorsoer, sâltsoer, salpetersoer en fosforsoer, en it alkaline gas is benammen ammoniak.
2. Organysk ôffalgas:
Organysk ôffalgas komt benammen fan prosessen lykas fotolitografy, ûntwikkeling, etsen en diffúzje. Yn dizze prosessen wurdt organyske oplossing (lykas isopropylalkohol) brûkt om it oerflak fan 'e wafer skjin te meitsjen, en it ôffalgas dat ûntstiet troch ferdamping is ien fan 'e boarnen fan organysk ôffalgas;
Tagelyk befettet de fotoresist (fotoresist) dy't brûkt wurdt yn it proses fan fotolitografy en etsen flechtige organyske oplosmiddels, lykas butylacetaat, dat yn 'e sfear ferdampt tidens it waferferwurkingsproses, wat in oare boarne fan organysk ôffalgas is.
3. Giftich ôffalgas:
Giftich ôffalgas komt benammen fan prosessen lykas kristalepitaksy, droech etsen en CVD. Yn dizze prosessen wurdt in ferskaat oan spesjale gassen mei hege suverens brûkt om de wafer te ferwurkjen, lykas silisium (SiHj), fosfor (PH3), koalstoftetrachloride (CFJ), boraan, boortriokside, ensfh. Guon spesjale gassen binne giftich, ferstikkend en korrosyf.
Tagelyk is yn it droege ets- en skjinmeitsproses nei gemyske dampôfsetting yn 'e produksje fan healgeleiders in grutte hoemannichte folslein okside (PFCS) gas nedich, lykas NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, ensfh. Dizze perfluorearre ferbiningen hawwe in sterke absorpsje yn it ynfraread ljochtgebiet en bliuwe lange tiid yn 'e atmosfear. Se wurde oer it algemien beskôge as de wichtichste boarne fan it wrâldwide broeikaseffekt.
4. Ferpakkingsproses ôffalgas:
Yn ferliking mei it produksjeproses fan healgeleiders is it ôffalgas dat ûntstiet troch it ferpakkingsproses fan healgeleiders relatyf ienfâldich, benammen soer gas, epoxyhars en stof.
Soer ôffalgas wurdt benammen generearre yn prosessen lykas elektroplating;
Bakôffalgas wurdt generearre yn it proses fan bakken nei it plakken en fersegeljen fan it produkt;
De snijmasine genereart ôffalgas mei spoaren fan silisiumstof tidens it snijproses fan wafers.
Problemen mei miljeufersmoarging
Foar de problemen mei miljeufersmoarging yn 'e healgeleideryndustry binne de wichtichste problemen dy't oplost wurde moatte:
· Grutskalige útstjit fan loftfersmoargjende stoffen en flechtige organyske ferbiningen (VOC's) yn it fotolitografyproses;
· Útstjit fan perfluorearre ferbiningen (PFCS) yn plasma-ets- en gemyske dampôfsettingsprosessen;
· Grutskalige ferbrûk fan enerzjy en wetter yn produksje en feiligensbeskerming fan arbeiders;
· Recycling en fersmoargingsmonitoring fan byprodukten;
· Problemen mei it brûken fan gefaarlike gemikaliën yn ferpakkingsprosessen.
Skjinne produksje
De skjinne produksjetechnology foar healgeliederapparaten kin ferbettere wurde fanút de aspekten fan grûnstoffen, prosessen en proseskontrôle.
Ferbetterjen fan grûnstoffen en enerzjy
Earst moat de suverens fan materialen strang kontroleare wurde om de ynfiering fan ûnreinheden en dieltsjes te ferminderjen.
Twadder moatte ferskate temperatuer-, lekdeteksje-, trillings-, heechspannings-elektryske skok- en oare testen wurde útfierd op 'e ynkommende komponinten of healfabrikaten foardat se yn produksje wurde brocht.
Derneist moat de suverens fan helpmaterialen strang kontrolearre wurde. Der binne relatyf in soad technologyen dy't brûkt wurde kinne foar skjinne produksje fan enerzjy.
Optimalisearje it produksjeproses
De healgeleideryndustry sels stribbet dernei om syn ynfloed op it miljeu te ferminderjen troch ferbetteringen fan prosestechnology.
Bygelyks, yn 'e jierren '70 waarden organyske oplosmiddels benammen brûkt om wafers skjin te meitsjen yn 'e technology foar yntegreare circuits. Yn 'e jierren '80 waarden soere en alkaline oplossingen lykas swevelsoer brûkt om wafers skjin te meitsjen. Oant de jierren '90 waard de technology foar plasma-soerstofreiniging ûntwikkele.
Wat ferpakking oanbelanget, brûke de measte bedriuwen op it stuit elektroplatingtechnology, wat swiere metalenfersmoarging yn it miljeu feroarsaket.
Ferpakkingsfabriken yn Shanghai brûke lykwols gjin elektroplatingtechnology mear, sadat der gjin ynfloed is fan swiere metalen op it miljeu. It kin fûn wurde dat de healgeleideryndustry stadichoan syn ynfloed op it miljeu ferminderet troch prosesferbetteringen en gemyske ferfanging yn har eigen ûntwikkelingsproses, wat ek de hjoeddeistige wrâldwide ûntwikkelingstrend folget fan it befoarderjen fan proses- en produktûntwerp basearre op it miljeu.
Op it stuit wurde mear lokale prosesferbetterings útfierd, ynklusyf:
·Ferfanging en reduksje fan folslein ammonium PFCS-gas, lykas it brûken fan PFC-gas mei in leech broeikaseffekt om gas mei in heech broeikaseffekt te ferfangen, lykas it ferbetterjen fan de prosesstream en it ferminderjen fan de hoemannichte PFCS-gas dy't yn it proses brûkt wurdt;
· Ferbetterjen fan it skjinmeitsjen fan meardere wafers nei it skjinmeitsjen fan ien wafer om de hoemannichte gemyske skjinmaakmiddels dy't brûkt wurde yn it skjinmaakproses te ferminderjen.
· Strikte proseskontrôle:
a. Realisearje automatisearring fan it produksjeproses, wat krekte ferwurking en batchproduksje kin realisearje, en it hege flaterpersintaazje fan hânmjittige operaasje ferminderje kin;
b. Ultra-skjinne prosesomjouwingsfaktoaren, sawat 5% of minder fan it opbringstferlies wurdt feroarsake troch minsken en omjouwing. Ultra-skjinne prosesomjouwingsfaktoaren omfetsje benammen loftreinheid, wetter mei hege suverens, perslucht, CO2, N2, temperatuer, fochtigens, ensfh. It skjinensnivo fan in skjinne wurkpleats wurdt faak metten troch it maksimale oantal dieltsjes dat per ienheid folume fan loft tastien is, dat is, de konsintraasje fan dieltsjestelling;
c. Fersterkje de deteksje, en selektearje passende kaaipunten foar deteksje op wurkstasjons mei grutte hoemannichten ôffal tidens it produksjeproses.
Wolkom alle klanten fan oer de hiele wrâld om ús te besykjen foar in fierdere diskusje!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@brûker-oo9nl2qp6j
Pleatsingstiid: 13 augustus 2024