Silikon Karbid SiC Diffuziya Prosesi Borusu
Silikon Karbid Diffuziya Sobası Borularıyarımkeçiricilərdə, yüksək temperaturlu istilik emalı və material hazırlama proseslərində istifadə olunan əsas komponentlərdir. Onlar əsasən diffuziya sobaları və ya oksidləşmə sobaları üçün dayaq və reaksiya kamerası kimi istifadə olunur və yüksək temperaturlu, yüksək korroziyaya uğrayan mühitlərdə atmosfer reaksiyası, oksidləşmə, diffuziya və tavlama kimi prosesləri həyata keçirir.
VET Energy, yüksək temperaturlu və korroziyalı yarımkeçirici tətbiqlər üçün silikon karbid (SiC) borularının dizaynı və istehsalında ixtisaslaşmışdır. Qabaqcıl istehsal müəssisələri və xüsusi CVD və sinterləmə texnologiyaları ilə əla istilik stabilliyi, oksidləşmə müqaviməti və uzun xidmət müddəti ilə xarakterizə olunan borular təqdim edirik.
VET Energy şirkətinin SiC borularının üstünlükləri:
Ultra Yüksək Saflıq:Xüsusi sinterləmə prosesi ilə istehsal olunan zərərli metal çirkləri (məsələn, Na, K, Fe və Al) ppb səviyyəsinə qədər azaldılır.
Son dərəcə aşağı qaz çıxışı:Yüksək temperaturlu, yüksək vakuumlu mühitlərdə qazın xaric edilməsi kvarsla müqayisədə daha aşağıdır, bu da proses kamerasının çirklənməsinin qarşısını effektiv şəkildə alır, çökmüş nazik təbəqələrin və ya kristal böyüməsinin daxili keyfiyyətini təmin edir və məhsulun məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə artırır (xüsusilə SiC epitaksisi, GaN böyüməsi və yüksək səviyyəli tək kristal silikon istehsalı üçün vacibdir).
Yüksək Temperatur Sabitliyi:1600°C-dən (kvarsın yumşalma nöqtəsindən xeyli yuxarı, təxminən 1200°C) yuxarı uzunmüddətli işləmə temperaturu mümkündür və qısamüddətli temperaturlar daha yüksək temperaturlara (məsələn, 1800°C) davam gətirə bilər və üçüncü nəsil yarımkeçiricilərin və kristal böyümə proseslərinin ultra yüksək temperatur tələblərini ödəyir.
Kimyəvi Korroziyaya Qarşı Müqavimət:HCl, Cl₂ və HF kimi yüksək korroziyaya uğrayan qazlara, eləcə də əridilmiş silikon və metal buxarına qarşı yüksək dərəcədə davamlıdır, CVD, diffuziya, oksidləşmə və aşındırma kimi mürəkkəb atmosferlərdə struktur bütövlüyünü və səth örtüyünü qoruyur və kvars soba borularının ömrünü xeyli üstələyir.
Əla İstilik Keçiriciliyi:Onun istilik keçiriciliyi kvarsdan onlarla dəfə çoxdur, bu da soba temperaturunun daha sürətli və daha vahid paylanmasına imkan verir və prosesin vahidliyini və təkrarlanmasını yaxşılaşdırır. Bu, xüsusilə geniş sahəli, çoxvaflı emal üçün vacibdir (məsələn, fotovoltaik diffuziya sobaları və MOCVD reaktorları).
Ölçü Sabitliyi:İstilik genişlənməsinin son dərəcə aşağı əmsalı, təkrarlanan və kəskin temperatur dalğalanmalarına məruz qaldıqda belə, soba borusunun yüksək sabit həndəsəsini qorumasını təmin edir və istilik genişlənməsi və büzülməsi nəticəsində yaranan möhürün sıradan çıxmasının və ya stress konsentrasiyasının qarşısını alır.
Davamlılıq:Yüksək sərtliyi və möhkəmliyi soba borusuna əla mexaniki xüsusiyyətlər verir və onu deformasiyaya və zədələnməyə davamlı edir.
Tipik Tətbiq:
Yarımkeçirici İstehsalı:SiC/GaN epitaksial böyüməsi (MOCVD, HTCVD), silisium əsaslı epitaksiya, yüksək temperaturlu diffuziya/oksidləşmə/tavlama (RTP) və LPCVD.
Fotovoltaik Sənaye:Kristal silikon günəş elementlərinin yüksək temperaturda diffuziyası (fosfor/bor diffuziyası) və tavlanması.
| 重结晶碳化硅物理特性 Yenidən kristallaşdırılmış silikon karbidin fiziki xüsusiyyətləri | |
| 性质 / Əmlak | 典型数值 / Tipik Dəyər |
| 使用温度/ İş temperaturu (°C) | 1600°C (oksigenlə), 1700°C (reduksiya mühiti) |
| SiC含量/ SiC tərkibi | > 99.96% |
| 自由Si含量/ Pulsuz Si məzmunu | <0.1% |
| 体积密度/Toplu sıxlıq | 2.60-2.70 q/sm33 |
| 气孔率/ Görünən məsaməlilik | < 16% |
| 抗压强度/ Sıxılma gücü | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Soyuq əyilmə gücü | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度İsti əyilmə gücü | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Termal genişlənmə @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/İstilik keçiriciliyi @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastik modul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termal şoka davamlılıq | Son dərəcə yaxşı |
VET Energy, qrafit, silikon karbid, kvars kimi yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların tədqiqat və inkişaf etdirilməsi, eləcə də SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi material emalı sahələrinə diqqət yetirən peşəkar bir istehsalçıdır. Məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
VET Enerjisinin üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
• Öz fabriki və peşəkar laboratoriyası;
• Sənayedə lider olan təmizlik səviyyələri və keyfiyyəti;
• Rəqabətli qiymət və sürətli çatdırılma müddəti;
• Dünya üzrə çoxsaylı sənaye tərəfdaşlıqları;
İstənilən vaxt fabrikimizi və laboratoriyamızı ziyarət etməyə xoş gəlmisiniz!
