Факусавальнае кольца CVD-пакрыцця для плазменнага травлення з'яўляецца важным расходным кампанентам, які выкарыстоўваецца ў перадавых сістэмах травлення паўправаднікоў. Распрацаваны з кампазітнай структурай падложкі + CVD-пакрыцця, гэты прадукт прызначаны для аптымізацыі размеркавання плазмы, паляпшэння аднастайнасці травлення і падаўжэння тэрміну службы кампанентаў камеры.
У Vet Energy мы выкарыстоўваем глыбокі вопыт у тэхналогіі хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD) і перадавых керамічных матэрыялах для стварэння факусавальных кольцаў, якія адпавядаюць строгім патрабаванням сучасных паўправадніковых вузлоў, у тым ліку працэсаў FinFET і 3D NAND.
Роля факусавальнага кольца ў плазменным травленні
У сістэмах плазменнага травлення (напрыклад, рэактары ICP і CCP) факусавальнае кольца размяшчаецца вакол краю пласціны і адыгрывае жыццёва важную ролю ў стабільнасці працэсу і павышэнні выхаду прадукцыі.
1. Кантроль аднастайнасці плазмы
Фокусавальнае кольца дзейнічае як электрычная і фізічная мяжа, якая дапамагае рэгуляваць размеркаванне шчыльнасці плазмы па паверхні пласціны.
Асноўныя перавагі:
● Палепшаная аднастайнасць хуткасці травлення
● Зніжэнне варыяцый ад цэнтра да краю
● Палепшаная паўтаральнасць працэсу
2. Кампенсацыя эфекту краю
Без факусавальнага кольца скажэнне плазменнай абалонкі на краі пласціны можа прывесці да нераўнамернага травлення.
Фокусавальнае кольца эфектыўна функцыянуе як «віртуальнае пашырэнне пласціны», мінімізуючы анамаліі, звязаныя з краямі, такія як:
● Ператраўленне на краях пласціны
● Адхіленне крытычнага памеру (CD)
● Скажэнне профілю
3. Траекторыя іёнаў і кіраванне энергіяй
Уздзейнічаючы на лакальнае электрычнае поле, факусавальнае кольца дапамагае стабілізаваць вуглы падзення іонаў і размеркаванне энергіі, што мае вырашальнае значэнне для:
● Траўленне з высокім суадносінамі бакоў (HAR)
● Анізатропны кантроль профілю
● Зніжэнне пашкоджанняў бакавых сценак
4. Абарона камеры і зніжэнне забруджвання
У якасці ахвярнага кампанента факусавальнае кольца паглынае прамое ўздзеянне плазмы і пабочныя прадукты адкладання.
Выніковыя перавагі:
● Зніжэнне эрозіі сценак камеры
● Меншае забруджванне часціцамі
● Пашыраныя цыклы тэхнічнага абслугоўвання (інтэрвалы тэхнічнага абслугоўвання)
