Deskový susceptor s CVD TaC povlakem

Stručný popis:

Deskový susceptor VET Energy s CVD TaC povlakem je vysoce výkonný produkt navržený pro zajištění konzistentního a spolehlivého výkonu po delší dobu. Má vynikající tepelnou odolnost a tepelnou rovnoměrnost, vysokou čistotu a odolnost proti erozi, což z něj činí perfektní řešení pro aplikace zpracování destiček.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

Ten/Ta/ToCVD TaC povlakDeskový susceptor od společnosti vet-china je navržen pro vysoký výkon v procesech chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Tento susceptor se vyznačuje robustním provedením.Povlak TaC (karbid tantalu), který nabízí výjimečnou tepelnou stabilitu, chemickou odolnost a trvanlivost, což z něj činí ideální řešení pro výrobu polovodičů a vysokoteplotní aplikace.CVD TaC povlakzajišťuje vynikající odolnost proti oxidaci a opotřebení, což umožňuje susceptoru zachovat si svou integritu a funkci v náročných podmínkách.

veterinární ČínaCVD TaC povlakDeskový susceptor vyniká svou schopností rovnoměrně rozvádět teplo během CVD procesů, což zajišťuje přesné nanášení vrstev a zvyšuje efektivitu výroby polovodičů. Povlak Ta-C poskytuje dodatečnou ochranu proti chemické korozi, prodlužuje životnost susceptoru a zlepšuje celkový výkon. Díky kombinaci pokročilé technologie CVD susceptoru a vysoce kvalitních chemických povlaků TaC je tento susceptor klíčovou součástí pro průmyslová odvětví vyžadující přesnost a spolehlivost ve vysokoteplotních prostředích.

Ať už se používá při výrobě polovodičů nebo v jiných high-tech aplikacích,CVD TaC potažený deskový susceptorje navržen tak, aby splňoval požadavky moderní výroby. Díky reputaci společnosti Semicera v oblasti inovací a kvality nabízí tento produkt vynikající výkon a dlouhou životnost, což z něj činí důvěryhodnou volbu pro procesy CVD.

Povlak TaC je druh povlaku z karbidu tantalu (TaC) připraveného technologií fyzikálního nanášení z plynné fáze a má následující vlastnosti:

1. Vysoká tvrdost: Tvrdost povlaku TaC je vysoká, obvykle může dosáhnout 2500-3000 HV, což je vynikající tvrdý povlak.

2. Odolnost proti opotřebení: Povlak TaC je velmi odolný proti opotřebení, což může účinně snížit opotřebení a poškození mechanických součástí během používání.

3. Dobrá odolnost vůči vysokým teplotám: Povlak TaC si udrží svůj vynikající výkon i za vysokých teplot.

4. Dobrá chemická stabilita: Povlak TaC má dobrou chemickou stabilitu a odolává mnoha chemickým reakcím, jako jsou kyseliny a zásady.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fyzikální vlastnosti TaC povlak
密度/ Hustota	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Měrná emisivita	0,3
热膨胀系数 / Součinitel tepelné roztažnosti	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Tvrdost (HK)	2000 HK
电阻 / Odpor	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Tepelná stabilita	<2500℃
石墨尺寸变化 / Změny velikosti grafitu	-10~-20um
涂层厚度 / Tloušťka povlaku	Typická hodnota ≥20 μm (35 μm ± 10 μm)

Společnost Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. je high-tech podnik zaměřující se na výrobu a prodej pokročilých materiálů nejvyšší kvality. Materiály a technologie zahrnují grafit, karbid křemíku, keramiku, povrchové úpravy atd. Produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nových energetikách, metalurgii atd.

Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme si dále promluvit!