سوسپکتور صفحه‌ای پوشش داده شده با TaC به روش CVD

شرح مختصر:

سوسپتور صفحه‌ای روکش‌شده با TaC شرکت VET Energy CVD محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد پایدار و قابل اعتماد در یک دوره طولانی طراحی شده است. این محصول دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق‌العاده خوب، خلوص بالا و مقاومت در برابر فرسایش است و آن را به راه‌حلی ایده‌آل برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می‌کند.


جزئیات محصول

برچسب‌های محصول

پوشش داده شده با CVD TaCسوسپتور صفحه‌ای از شرکت vet-china برای عملکرد بالا در فرآیندهای رسوب‌گذاری بخار شیمیایی (CVD) مهندسی شده است. این سوسپتور دارای یک ... قوی است.پوشش TaC (کاربید تانتالوم)، پایداری حرارتی، مقاومت شیمیایی و دوام فوق‌العاده‌ای را ارائه می‌دهد و آن را به یک راه حل ایده‌آل برای تولید نیمه‌هادی‌ها و کاربردهای دمای بالا تبدیل می‌کند.پوشش CVD TaCمقاومت عالی در برابر اکسیداسیون و سایش را تضمین می‌کند و به سوسپتور اجازه می‌دهد تا یکپارچگی و عملکرد خود را در محیط‌های سخت حفظ کند.

دامپزشک چینیپوشش داده شده با CVD TaCپلیت ساسپتور به دلیل توانایی‌اش در توزیع یکنواخت گرما در طول فرآیندهای CVD، تضمین رسوب دقیق لایه و افزایش راندمان ساخت نیمه‌هادی، برجسته است. پوشش Ta-C محافظت بیشتری در برابر خوردگی شیمیایی ایجاد می‌کند، طول عمر ساسپتور را افزایش می‌دهد و عملکرد کلی را بهبود می‌بخشد. با ترکیبی از فناوری پیشرفته ساسپتور CVD و پوشش‌های شیمیایی TaC با کیفیت بالا، این ساسپتور یک جزء کلیدی برای صنایعی است که نیاز به دقت و قابلیت اطمینان در محیط‌های با دمای بالا دارند.

چه در تولید نیمه‌هادی‌ها و چه در سایر کاربردهای فناوری پیشرفته مورد استفاده قرار گیرد،سوسپتور صفحه روکش شده با TaC به روش CVDاین محصول که با پشتوانه‌ی نوآوری و کیفیت شرکت سمیسرا تولید می‌شود، برای برآورده کردن نیازهای تولید مدرن طراحی شده است. این محصول با عملکرد برتر و دوام طولانی مدت، انتخابی مطمئن برای فرآیندهای CVD است.

پوشش TaC نوعی پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) است که با استفاده از فناوری رسوب بخار فیزیکی تهیه می‌شود و دارای ویژگی‌های زیر است:

1. سختی بالا: سختی پوشش TaC بالا است، معمولاً می‌تواند به 2500-3000HV برسد، یک پوشش سخت عالی است.

2. مقاومت در برابر سایش: پوشش TaC بسیار مقاوم در برابر سایش است که می‌تواند به طور موثر سایش و آسیب قطعات مکانیکی را در حین استفاده کاهش دهد.

۳. مقاومت خوب در برابر دمای بالا: پوشش TaC همچنین می‌تواند عملکرد عالی خود را در محیط با دمای بالا حفظ کند.

۴. پایداری شیمیایی خوب: پوشش TaC پایداری شیمیایی خوبی دارد و می‌تواند در برابر بسیاری از واکنش‌های شیمیایی مانند اسیدها و بازها مقاومت کند.

پوشش TaC13
پوشش TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

خواص فیزیکی تا سی پوشش

密度/ تراکم

۱۴.۳ (گرم بر سانتی‌متر مکعب)

比辐射率 / ضریب گسیلندگی ویژه

۰.۳

热膨胀系数 / ضریب انبساط حرارتی

۶.۳ ۱۰-6/K

努氏硬度/ سختی (هنگ کنگ)

۲۰۰۰ هنگ کنگ

电阻 / مقاومت

۱×۱۰-5 اهم*سانتی متر

热稳定性 / پایداری حرارتی

<2500℃

石墨尺寸变化 / تغییرات اندازه گرافیت

-10 ~ -20um

涂层厚度 / ضخامت پوشش

مقدار معمول ≥20um (35um±10um)

شرکت فناوری انرژی Ningbo VET، یک شرکت فناوری پیشرفته است که بر تولید و فروش مواد پیشرفته سطح بالا، مواد و فناوری‌هایی شامل گرافیت، کاربید سیلیکون، سرامیک، عملیات سطحی و غیره تمرکز دارد. محصولات این شرکت به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمه‌هادی‌ها، انرژی‌های نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار می‌گیرند.

تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و می‌تواند راه‌حل‌های حرفه‌ای‌تری برای شما ارائه دهد.

با گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می‌کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس‌اپ!