Tấm đỡ phủ CVD TaC

Hình ảnh nổi bật của tấm đỡ bằng nhựa phủ TaC CVD

Mô tả ngắn gọn:

Tấm đỡ phủ TaC CVD của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng nhất nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

CáiLớp phủ CVD TaCTấm đỡ mẫu từ vet-china được thiết kế để đạt hiệu suất cao trong các quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Tấm đỡ này có cấu tạo chắc chắn.Lớp phủ TaC (Tantalum Carbide)Với khả năng ổn định nhiệt, kháng hóa chất và độ bền vượt trội, vật liệu này là giải pháp lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng nhiệt độ cao.Lớp phủ CVD TaCĐảm bảo khả năng chống oxy hóa và mài mòn tuyệt vời, cho phép bộ phận cảm quang duy trì tính toàn vẹn và chức năng của nó trong môi trường khắc nghiệt.

thú y Trung QuốcLớp phủ CVD TaCTấm đỡ nhiệt nổi bật nhờ khả năng phân phối nhiệt đồng đều trong quá trình CVD, đảm bảo lắng đọng lớp chính xác và nâng cao hiệu quả sản xuất chất bán dẫn. Lớp phủ Ta-C cung cấp thêm khả năng bảo vệ chống ăn mòn hóa học, kéo dài tuổi thọ của tấm đỡ và cải thiện hiệu suất tổng thể. Với sự kết hợp giữa công nghệ tấm đỡ CVD tiên tiến và lớp phủ hóa học TaC chất lượng cao, tấm đỡ này là một thành phần quan trọng cho các ngành công nghiệp yêu cầu độ chính xác và độ tin cậy trong môi trường nhiệt độ cao.

Cho dù được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn hay các ứng dụng công nghệ cao khác,Giá đỡ tấm phủ CVD TaCSản phẩm này được thiết kế để đáp ứng nhu cầu của ngành sản xuất hiện đại. Được hỗ trợ bởi danh tiếng về sự đổi mới và chất lượng của Semicera, sản phẩm này mang lại hiệu suất vượt trội và độ bền lâu dài, trở thành lựa chọn đáng tin cậy cho các quy trình CVD.

Lớp phủ TaC là một loại lớp phủ cacbua tantan (TaC) được chế tạo bằng công nghệ lắng đọng hơi vật lý, nó có các đặc điểm sau:

1. Độ cứng cao: Lớp phủ TaC có độ cứng cao, thường đạt 2500-3000HV, là một lớp phủ cứng tuyệt vời.

2. Khả năng chống mài mòn: Lớp phủ TaC có khả năng chống mài mòn rất cao, giúp giảm thiểu hiệu quả sự mài mòn và hư hỏng của các bộ phận cơ khí trong quá trình sử dụng.

3. Khả năng chịu nhiệt cao: Lớp phủ TaC cũng có thể duy trì hiệu suất tuyệt vời của nó trong môi trường nhiệt độ cao.

4. Độ ổn định hóa học tốt: Lớp phủ TaC có độ ổn định hóa học tốt và có thể chống lại nhiều phản ứng hóa học, chẳng hạn như axit và bazơ.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Tính chất vật lý của TaC lớp phủ
密度/ Tỉ trọng	14,3 (g/cm³)
比辐射率 Độ phát xạ riêng	0,3
热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Độ cứng (HK)	2000 HK
电阻 / Sức chống cự	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Độ ổn định nhiệt	<2500℃
石墨尺寸变化 Thay đổi kích thước than chì	-10~-20um
涂层厚度 Độ dày lớp phủ	Giá trị điển hình ≥20µm (35±10µm)

Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng Ningbo VET là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào sản xuất và kinh doanh các vật liệu tiên tiến cao cấp, bao gồm vật liệu và công nghệ như than chì, cacbua silic, gốm sứ, xử lý bề mặt, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Rất hân hạnh được đón tiếp quý khách đến thăm nhà máy của chúng tôi, hãy cùng trao đổi thêm nhé!