CácCVD TaC phủPlate Susceptor từ vet-china được thiết kế để có hiệu suất cao trong các quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Susceptor này có tính năng mạnh mẽLớp phủ TaC (Tantalum Carbide), cung cấp độ ổn định nhiệt, khả năng chống hóa chất và độ bền vượt trội, khiến nó trở thành giải pháp lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng nhiệt độ cao.Lớp phủ CVD TaCđảm bảo khả năng chống oxy hóa và mài mòn tuyệt vời, cho phép bộ phận cảm ứng duy trì tính toàn vẹn và chức năng của nó trong môi trường khắc nghiệt.
của thú y-chinaCVD TaC phủPlate Susceptor nổi bật với khả năng phân phối nhiệt đều trong quá trình CVD, đảm bảo lắng đọng lớp chính xác và tăng cường hiệu quả chế tạo chất bán dẫn. Lớp phủ Ta-C cung cấp khả năng bảo vệ bổ sung chống lại sự ăn mòn hóa học, kéo dài tuổi thọ của susceptor và cải thiện hiệu suất tổng thể. Với sự kết hợp giữa công nghệ susceptor CVD tiên tiến và lớp phủ hóa học TaC chất lượng cao, susceptor này là một thành phần quan trọng cho các ngành công nghiệp đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy trong môi trường nhiệt độ cao.
Cho dù được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn hay các ứng dụng công nghệ cao khác,Tấm phủ CVD TaC Susceptorđược thiết kế để đáp ứng nhu cầu sản xuất hiện đại. Được hỗ trợ bởi danh tiếng về sự đổi mới và chất lượng của Semicera, sản phẩm này mang lại hiệu suất vượt trội và độ bền lâu dài, khiến nó trở thành sự lựa chọn đáng tin cậy cho các quy trình CVD.
Lớp phủ TaC là một loại lớp phủ tantalum carbide (TaC) được chế tạo bằng công nghệ lắng đọng hơi vật lý, có các đặc điểm sau:
1. Độ cứng cao: Độ cứng của lớp phủ TaC cao, thường có thể đạt tới 2500-3000HV, là lớp phủ cứng tuyệt vời.
2. Khả năng chống mài mòn: Lớp phủ TaC có khả năng chống mài mòn rất cao, có thể làm giảm hiệu quả sự mài mòn và hư hỏng của các bộ phận cơ khí trong quá trình sử dụng.
3. Khả năng chịu nhiệt độ cao tốt: Lớp phủ TaC cũng có thể duy trì hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao.
4. Độ ổn định hóa học tốt: Lớp phủ TaC có độ ổn định hóa học tốt và có thể chống lại nhiều phản ứng hóa học, chẳng hạn như axit và bazơ.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Tính chất vật lý của TaC lớp phủ | |
| 密度/ Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Độ phát xạ riêng | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Hệ số giãn nở nhiệt | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Độ cứng (HK) | 2000 Hồng Kông |
| 电阻 / Sức chống cự | 1×10-5 Ôm*cm |
| 热稳定性 / Độ ổn định nhiệt | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Độ dày lớp phủ | Giá trị điển hình ≥20um (35um±10um) |
Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng VET Ninh Ba là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào sản xuất và bán các vật liệu tiên tiến cao cấp, vật liệu và công nghệ bao gồm than chì, silicon carbide, gốm sứ, xử lý bề mặt, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
