Fa'asusu ipu ua ufiufiina CVD TaC

Fa'amatalaga Pupuu:

O le VET Energy CVD TaC coated plate susceptor o se oloa maualuga le fa'atinoga ua mamanuina e tu'uina atu ai le fa'atinoga tutusa ma le fa'atuatuaina i se vaitaimi umi. E matua'i lelei lona tete'e atu i le vevela ma le tutusa o le vevela, maualuga le mama, tete'e atu i le ele, ma avea ai ma fofo atoatoa mo fa'aoga fa'agasologa o le wafer.


Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

O leUfiufi CVD TaCO le Plate Susceptor mai le vet-china ua mamanuina mo le fa'atinoga maualuga i faiga fa'aputuga o le chemical vapor deposition (CVD). O lenei susceptor e iai se malosiUfiufi TaC (Tantalum Carbide), e ofoina atu le tulaga ese o le mautu i le vevela, tete'e atu i vaila'au, ma le tumau, ma avea ai ma fofo lelei mo le gaosiga o semiconductor ma fa'aoga i le vevela maualuga.Ufiufi CVD TaCE mautinoa ai le tete'e lelei i le fa'aleagaina ma le ofuina, ma mafai ai e le susceptor ona faatumauina lona tulaga lelei ma le aoga i siosiomaga faigata.

foma'i manu SainaUfiufi CVD TaCE tulaga ese le Plate Susceptor i lona gafatia e tufatufa tutusa ai le vevela i le taimi o faiga CVD, ma faʻamautinoa ai le saʻo o le faʻapipiʻiina o vaega ma faʻaleleia atili ai le lelei o le gaosiga o semiconductor. O le ufiufi Ta-C e maua ai le puipuiga faaopoopo mai le ele o vailaʻau, faʻalauteleina ai le umi o le ola o le susceptor ma faʻaleleia atili ai le faʻatinoga atoa. Faatasi ai ma le tuufaatasiga o tekinolosi CVD susceptor faʻapitoa ma ufiufi vailaʻau TaC maualuga, o lenei susceptor o se vaega autu mo alamanuia e manaʻomia le saʻo ma le faʻatuatuaina i siosiomaga vevela maualuga.

Pe faʻaaogaina i le gaosiga o semiconductors poʻo isi faʻaoga faʻatekonolosi maualuga, o leFa'amama Ipu Ufiufi CVD TaCua mamanuina e fa'afetaui ai mana'oga o gaosiga fa'aonaponei. O lenei oloa, e lagolagoina e le talaaga o Semicera mo le fa'afouga ma le lelei, e ofoina atu ai le fa'atinoga sili ona lelei ma le tumau umi, ma avea ai ma filifiliga fa'atuatuaina mo faiga CVD.

O le ufiufi TaC o se ituaiga ufiufi tantalum carbide (TaC) ua saunia e ala i le tekinolosi fa'aputuga ausa faaletino, e iai ona uiga nei:

1. Ma'a'a maualuga: E maualuga le ma'a'a o le ufiufi TaC, e masani lava ona o'o atu i le 2500-3000HV, o se ufiufi ma'a'a sili ona lelei.

2. Tete'e i le ofuina: O le ufiufi TaC e matua tete'e lava i le ofuina, lea e mafai ona fa'aitiitia lelei ai le ofuina ma le fa'aleagaina o vaega fa'amekanika i le taimi e fa'aaogaina ai.

3. Tete'e lelei i le vevela maualuga: E mafai fo'i e le ufiufi TaC ona fa'atumauina lana fa'atinoga sili ona lelei i lalo o le siosiomaga vevela maualuga.

4. Mautu lelei i vailaʻau: O le ufiufi o le TaC e mautu lelei i vailaʻau ma e mafai ona teteʻe atu i le tele o tali faʻakemikolo, e pei o acids ma bases.

Ufiufi TaC13
Ufiufi TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Uiga faaletino o TaC ufiufi

密度/ Mafiafia

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / Fa'asalalauga fa'apitoa

0.3

热膨胀系数 / Fa'aopoopoga o le vevela

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Ma'a'a (HK)

2000 HK

电阻 / Tete'e

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Mausali o le vevela

<2500℃

石墨尺寸变化 / Suiga o le tele o le kalafite

-10~-20um

涂层厚度 / Mafiafia o le ufiufi

≥20um tau masani (35um±10um)

O le Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd o se kamupani fa'atekonolosi maualuga e taula'i i le gaosiga ma le fa'atauina atu o mea fa'atekonolosi maualuluga, e aofia ai le graphite, silicon carbide, seramika, togafitiga o luga ma isi mea fa'apena. O nei oloa e fa'aaogaina lautele i le photovoltaic, semiconductor, malosiaga fou, metallurgy, ma isi mea fa'apena.

O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apitoa mo oe.

Faafeiloa'i atu ma le agalelei oe e asiasi mai i la matou fale gaosimea, se'i o tatou faia nisi talanoaga!

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