그만큼CVD TaC 코팅vet-china의 플레이트 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 공정에서 고성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 이 서셉터는 견고한TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅탁월한 열 안정성, 내화학성 및 내구성을 제공하여 반도체 제조 및 고온 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.CVD TaC 코팅뛰어난 산화 및 마모 저항성을 보장하여 수용기가 혹독한 환경에서도 그 무결성과 기능을 유지할 수 있도록 합니다.
수의사-중국CVD TaC 코팅플레이트 서셉터는 CVD 공정 중 열을 고르게 분산시켜 정밀한 층 증착을 보장하고 반도체 제조 효율을 향상시키는 뛰어난 성능을 자랑합니다. Ta-C 코팅은 화학적 부식으로부터 서셉터의 수명을 연장하고 전반적인 성능을 향상시킵니다. 첨단 CVD 서셉터 기술과 고품질 TaC 화학 코팅이 결합된 이 서셉터는 고온 환경에서 정밀성과 신뢰성을 요구하는 산업에 필수적인 부품입니다.
반도체 생산이나 기타 첨단 응용 분야에 사용되든CVD TaC 코팅 플레이트 서셉터현대 제조 분야의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. Semicera의 혁신과 품질에 대한 명성을 바탕으로, 이 제품은 탁월한 성능과 오래 지속되는 내구성을 제공하여 CVD 공정에서 신뢰할 수 있는 선택입니다.
TaC 코팅은 물리 기상 증착 기술을 사용하여 제조된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅의 일종으로 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다.
1. 높은 경도: TaC 코팅 경도는 높고, 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며, 우수한 경질 코팅입니다.
2. 내마모성: TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모와 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
3. 우수한 고온 내구성: TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.
4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지고 있어 산, 염기 등 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.
| 碳化钽涂层물리特性식물리특성 물리적 특성 타크 코팅 | |
| 크기/ 밀도 | 14.3(g/cm³) |
| 比辐射率 / 비방사율 | 0.3 |
| 热膨胀系数 / 열팽창계수 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬도/ 경도(HK) | 2000 홍콩달러 |
| 电阻 / 저항 | 1×10-5 옴*cm |
| 발열결정성 / 열 안정성 | <2500℃ |
| 석재尺寸变化 / 흑연 크기 변화 | -10~-20um |
| 涂层厚도 / 코팅 두께 | ≥20um 일반적인 값(35um±10um) |
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