그만큼CVD TaC 코팅vet-china의 플레이트 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 공정에서 고성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 이 서셉터는 견고한 구조를 특징으로 합니다.TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅탁월한 열 안정성, 내화학성 및 내구성을 제공하여 반도체 제조 및 고온 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.CVD TaC 코팅산화 및 마모에 대한 탁월한 저항성을 보장하여 서셉터가 가혹한 환경에서도 무결성과 기능을 유지할 수 있도록 합니다.
벳차이나의CVD TaC 코팅플레이트 서셉터는 CVD 공정 중 열을 고르게 분산시키는 뛰어난 능력으로 정밀한 박막 증착을 보장하고 반도체 제조 효율을 향상시킵니다. Ta-C 코팅은 화학적 부식에 대한 추가적인 보호 기능을 제공하여 서셉터의 수명을 연장하고 전반적인 성능을 개선합니다. 첨단 CVD 서셉터 기술과 고품질 TaC 화학 코팅의 결합으로 탄생한 이 서셉터는 고온 환경에서 정밀도와 신뢰성이 요구되는 산업 분야의 핵심 부품입니다.
반도체 생산이나 기타 첨단 기술 응용 분야에 사용되든,CVD TaC 코팅 플레이트 서셉터이 제품은 현대 제조 공정의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 혁신과 품질에 대한 세미세라의 명성을 바탕으로 탁월한 성능과 뛰어난 내구성을 제공하여 CVD 공정에 신뢰할 수 있는 선택이 되었습니다.
TaC 코팅은 물리적 증착 기술로 제조된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅의 일종으로, 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.
1. 높은 경도: TaC 코팅은 경도가 높아 일반적으로 2500~3000HV에 달하며, 우수한 경질 코팅입니다.
2. 내마모성: TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
3. 우수한 고온 저항성: TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.
4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 화학적 안정성이 뛰어나 산 및 염기와 같은 다양한 화학 반응에 대한 저항성을 갖습니다.
| 碳化钽涂层물리特性식물리특성 물리적 특성 타씨 코팅 | |
| 크기/ 밀도 | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 특정 방사율 | 0.3 |
| 热膨胀系数 열팽창 계수 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬도/ 경도(HK) | 2000 홍콩 |
| 电阻 / 저항 | 1×10-5 옴*cm |
| 발열결정성 열 안정성 | <2500℃ |
| 석재尺寸变化 / 흑연 크기 변화 | -10~-20μm |
| 涂层厚도 코팅 두께 | ≥20μm (일반적인 값: 35μm±10μm) |
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