piastra suscettrice rivestita con TaC CVD

Breve descrizione:

Il suscettore a piastra rivestito in TaC CVD di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Possiede un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, caratteristiche che lo rendono la soluzione ideale per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

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ILRivestimento CVD TaCIl supporto a piastra di vet-china è progettato per prestazioni elevate nei processi di deposizione chimica da fase vapore (CVD). Questo supporto presenta una struttura robusta.Rivestimento in TaC (carburo di tantalio), offrendo un'eccezionale stabilità termica, resistenza chimica e durata, rendendolo una soluzione ideale per la produzione di semiconduttori e applicazioni ad alta temperatura.Rivestimento CVD TaCGarantisce un'eccellente resistenza all'ossidazione e all'usura, consentendo al suscettore di mantenere la sua integrità e funzionalità anche in ambienti difficili.

vet-china'sRivestimento CVD TaCIl supporto a piastra si distingue per la sua capacità di distribuire uniformemente il calore durante i processi CVD, garantendo una deposizione precisa degli strati e migliorando l'efficienza della fabbricazione di semiconduttori. Il rivestimento in Ta-C offre un'ulteriore protezione contro la corrosione chimica, prolungando la durata del supporto e migliorandone le prestazioni complessive. Grazie alla combinazione di una tecnologia avanzata per supporti CVD e rivestimenti chimici in Ta-C di alta qualità, questo supporto rappresenta un componente chiave per le industrie che richiedono precisione e affidabilità in ambienti ad alta temperatura.

Sia che venga utilizzato nella produzione di semiconduttori o in altre applicazioni ad alta tecnologia, ilPiastra di supporto rivestita con TaC CVDÈ progettato per soddisfare le esigenze della produzione moderna. Forte della reputazione di Semicera in termini di innovazione e qualità, questo prodotto offre prestazioni superiori e una lunga durata, rappresentando una scelta affidabile per i processi CVD.

Il rivestimento TaC è un tipo di rivestimento in carburo di tantalio (TaC) preparato mediante tecnologia di deposizione fisica da fase vapore e presenta le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza: il rivestimento TaC ha un'elevata durezza, che in genere può raggiungere i 2500-3000 HV, ed è un eccellente rivestimento duro.

2. Resistenza all'usura: il rivestimento TaC è altamente resistente all'usura, il che può ridurre efficacemente l'usura e i danni alle parti meccaniche durante l'uso.

3. Buona resistenza alle alte temperature: il rivestimento TaC mantiene le sue eccellenti prestazioni anche in ambienti ad alta temperatura.

4. Buona stabilità chimica: il rivestimento TaC ha una buona stabilità chimica e può resistere a molte reazioni chimiche, come acidi e basi.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietà fisiche di TaC rivestimento
密度/ Densità	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissività specifica	0,3
热膨胀系数 / Coefficiente di dilatazione termica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Durezza (HK)	2000 HK
电阻 / resistenze	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilità termica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Variazioni di dimensione della grafite	-10~-20um
涂层厚度 Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20 µm (35 µm ± 10 µm)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'azienda high-tech specializzata nella produzione e vendita di materiali avanzati di alta gamma, tra cui grafite, carburo di silicio, ceramica, trattamenti superficiali e altro ancora. I prodotti trovano ampio impiego nei settori del fotovoltaico, dei semiconduttori, delle energie rinnovabili, della metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrirvi soluzioni più professionali in termini di materiali.

Vi diamo un caloroso benvenuto a visitare il nostro stabilimento, saremo lieti di discuterne ulteriormente!