Suscettore a piastra rivestito con CVD TaC

Immagine in evidenza del suscettore della piastra rivestita con CVD TaC

Breve descrizione:

Il suscettore a piastra con rivestimento CVD TaC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

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ILRivestimento CVD TaCIl suscettore a piastre di vet-china è progettato per alte prestazioni nei processi di deposizione chimica da vapore (CVD). Questo suscettore è dotato di un robustoRivestimento TaC (carburo di tantalio), offrendo eccezionale stabilità termica, resistenza chimica e durata, rendendolo una soluzione ideale per la produzione di semiconduttori e applicazioni ad alta temperatura.Rivestimento CVD TaCgarantisce un'eccellente resistenza all'ossidazione e all'usura, consentendo al suscettore di mantenere la sua integrità e funzionalità in ambienti difficili.

veterinario-cinaRivestimento CVD TaCIl suscettore a piastra si distingue per la sua capacità di distribuire uniformemente il calore durante i processi CVD, garantendo una deposizione precisa degli strati e migliorando l'efficienza della fabbricazione dei semiconduttori. Il rivestimento in Ta-C offre un'ulteriore protezione contro la corrosione chimica, prolungando la durata del suscettore e migliorandone le prestazioni complessive. Grazie alla combinazione di tecnologia avanzata per suscettori CVD e rivestimenti chimici in Ta-C di alta qualità, questo suscettore è un componente chiave per i settori che richiedono precisione e affidabilità in ambienti ad alta temperatura.

Sia che venga utilizzato nella produzione di semiconduttori o in altre applicazioni ad alta tecnologia,Suscettore a piastra rivestito in CVD TaCÈ progettato per soddisfare le esigenze della produzione moderna. Forte della reputazione di Semicera per innovazione e qualità, questo prodotto offre prestazioni superiori e lunga durata, rendendolo una scelta affidabile per i processi CVD.

Il rivestimento TaC è un tipo di rivestimento in carburo di tantalio (TaC) preparato mediante tecnologia di deposizione fisica da vapore e presenta le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza: la durezza del rivestimento TaC è elevata, solitamente può raggiungere 2500-3000 HV, ed è un rivestimento duro eccellente.

2. Resistenza all'usura: il rivestimento TaC è molto resistente all'usura, il che può ridurre efficacemente l'usura e i danni alle parti meccaniche durante l'uso.

3. Buona resistenza alle alte temperature: il rivestimento TaC può mantenere le sue eccellenti prestazioni anche in ambienti ad alte temperature.

4. Buona stabilità chimica: il rivestimento TaC ha una buona stabilità chimica e può resistere a molte reazioni chimiche, come acidi e basi.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietà fisiche di TaC rivestimento
密度/ Densità	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissività specifica	0,3
热膨胀系数 / Coefficiente di dilatazione termica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Durezza (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Resistenza	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilità termica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Variazioni delle dimensioni della grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'impresa high-tech specializzata nella produzione e vendita di materiali avanzati di alta gamma, tra cui grafite, carburo di silicio, ceramica, trattamenti superficiali e così via. I prodotti sono ampiamente utilizzati nei settori fotovoltaico, semiconduttori, nuove energie, metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

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