Susceptor ng plato na pinahiran ng CVD TaC

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy CVD TaC coated plate susceptor ay isang produktong may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa mahabang panahon. Mayroon itong napakagandang resistensya sa init at thermal uniformity, mataas na kadalisayan, at resistensya sa erosyon, kaya ito ang perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagproseso ng wafer.


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

AngPinahiran ng CVD TaCAng Plate Susceptor mula sa vet-china ay ginawa para sa mataas na pagganap sa mga proseso ng chemical vapor deposition (CVD). Ang susceptor na ito ay may matibay naPatong na TaC (Tantalum Carbide), na nag-aalok ng pambihirang thermal stability, chemical resistance, at tibay, kaya isa itong mainam na solusyon para sa paggawa ng semiconductor at mga aplikasyon sa mataas na temperatura.Patong na CVD TaCtinitiyak ang mahusay na resistensya sa oksihenasyon at pagkasira, na nagpapahintulot sa susceptor na mapanatili ang integridad at paggana nito sa malupit na mga kapaligiran.

beterinaryo-TsinaPinahiran ng CVD TaCNamumukod-tangi ang Plate Susceptor dahil sa kakayahang pantay na ipamahagi ang init sa panahon ng mga proseso ng CVD, na tinitiyak ang tumpak na pagdedeposito ng layer at pinahuhusay ang kahusayan ng paggawa ng semiconductor. Ang Ta-C coating ay nagbibigay ng karagdagang proteksyon laban sa kemikal na kalawang, na nagpapahaba sa habang-buhay ng susceptor at nagpapabuti sa pangkalahatang pagganap. Gamit ang kombinasyon ng advanced na teknolohiya ng CVD susceptor at mataas na kalidad na TaC chemical coatings, ang susceptor na ito ay isang mahalagang bahagi para sa mga industriyang nangangailangan ng katumpakan at pagiging maaasahan sa mga kapaligirang may mataas na temperatura.

Ginagamit man sa produksyon ng mga semiconductor o iba pang mga high-tech na aplikasyon, angCVD TaC Coated Plate Susceptoray dinisenyo upang matugunan ang mga pangangailangan ng modernong pagmamanupaktura. Sinusuportahan ng reputasyon ng Semicera para sa inobasyon at kalidad, ang produktong ito ay nag-aalok ng higit na mahusay na pagganap at pangmatagalang tibay, na ginagawa itong isang mapagkakatiwalaang pagpipilian para sa mga proseso ng CVD.

Ang TaC coating ay isang uri ng tantalum carbide (TaC) coating na inihanda gamit ang teknolohiyang physical vapor deposition, at mayroon itong mga sumusunod na katangian:

1. Mataas na katigasan: Mataas ang katigasan ng TaC coating, kadalasan ay maaaring umabot sa 2500-3000HV, ay isang mahusay na matigas na patong.

2. Lumalaban sa pagkasira: Ang TaC coating ay lubos na lumalaban sa pagkasira, na maaaring epektibong mabawasan ang pagkasira at pinsala ng mga mekanikal na bahagi habang ginagamit.

3. Mahusay na resistensya sa mataas na temperatura: Maaari ring mapanatili ng TaC coating ang mahusay nitong pagganap sa ilalim ng kapaligirang may mataas na temperatura.

4. Magandang kemikal na katatagan: Ang patong na TaC ay may mahusay na kemikal na katatagan at kayang labanan ang maraming kemikal na reaksyon, tulad ng mga asido at base.

TaC Coating13
TaC Coating10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Mga katangiang pisikal ng TaC patong

密度/ Densidad

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / Tiyak na emissivity

0.3

热膨胀系数 / Koepisyent ng pagpapalawak ng init

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Katigasan (HK)

2000 HK

电阻 / Paglaban

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Katatagan ng init

<2500℃

石墨尺寸变化 / Mga pagbabago sa laki ng grapayt

-10~-20um

涂层厚度 / Kapal ng patong

≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

Ang Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ay isang high-tech na negosyo na nakatuon sa produksyon at pagbebenta ng mga high-end na advanced na materyales, ang mga materyales at teknolohiyang sumasaklaw sa graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment at iba pa. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metalurhiya, atbp.

Ang aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Malugod naming tinatanggap ang pagbisita sa aming pabrika, magkaroon tayo ng karagdagang talakayan!

生产设备

公司客户

 

 


  • Nakaraan:
  • Susunod:

  • Online na Pakikipag-chat sa WhatsApp!