Susceptor de placa recubierto de TaC CVD

Descripción breve:

El susceptor de placa recubierto de TaC CVD de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.


Detalle del producto

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ElRecubierto de TaC CVDEl susceptor de placa de vet-china está diseñado para un alto rendimiento en procesos de deposición química de vapor (CVD). Este susceptor cuenta con un robusto...Recubrimiento de TaC (carburo de tantalio), que ofrece una estabilidad térmica, resistencia química y durabilidad excepcionales, lo que lo convierte en una solución ideal para la fabricación de semiconductores y aplicaciones de alta temperatura.Recubrimiento de TaC por CVDgarantiza una excelente resistencia a la oxidación y al desgaste, permitiendo que el susceptor mantenga su integridad y función en entornos hostiles.

veterinario de ChinaRecubierto de TaC CVDEl susceptor de placa destaca por su capacidad para distribuir uniformemente el calor durante los procesos de CVD, lo que garantiza una deposición precisa de capas y mejora la eficiencia en la fabricación de semiconductores. El recubrimiento de Ta-C proporciona protección adicional contra la corrosión química, prolongando la vida útil del susceptor y mejorando su rendimiento general. Gracias a la combinación de tecnología avanzada de susceptores de CVD y recubrimientos químicos de Ta-C de alta calidad, este susceptor es un componente clave para industrias que requieren precisión y fiabilidad en entornos de alta temperatura.

Ya sea que se utilice en la producción de semiconductores u otras aplicaciones de alta tecnología, elSusceptor de placa recubierto de TaC CVDEstá diseñado para satisfacer las demandas de la fabricación moderna. Respaldado por la reputación de Semicera en innovación y calidad, este producto ofrece un rendimiento superior y una larga durabilidad, lo que lo convierte en una opción confiable para los procesos de CVD.

El recubrimiento de TaC es un tipo de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) preparado mediante tecnología de deposición física de vapor, tiene las siguientes características:

1. Alta dureza: la dureza del recubrimiento de TaC es alta, generalmente puede alcanzar 2500-3000HV, es un excelente recubrimiento duro.

2. Resistencia al desgaste: el revestimiento de TaC es muy resistente al desgaste, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y el daño de las piezas mecánicas durante el uso.

3. Buena resistencia a altas temperaturas: el recubrimiento de TaC también puede mantener su excelente rendimiento en entornos de alta temperatura.

4. Buena estabilidad química: el recubrimiento de TaC tiene buena estabilidad química y puede resistir muchas reacciones químicas, como ácidos y bases.

Recubrimiento de TaC13
Recubrimiento de TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propiedades físicas de TaC revestimiento

密度/ Densidad

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisividad específica

0.3

热膨胀系数 / Coeficiente de expansión térmica

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2000 HK

电阻 / Resistencia

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Estabilidad térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Cambios en el tamaño del grafito

-10~-20 um

涂层厚度 / Espesor del recubrimiento

Valor típico ≥20 um (35 um ± 10 um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. es una empresa de alta tecnología especializada en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama, incluyendo grafito, carburo de silicio, cerámica y tratamiento de superficies, entre otros. Sus productos se utilizan ampliamente en las industrias fotovoltaica, de semiconductores, de nuevas energías y metalurgia, entre otras.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Le damos una cálida bienvenida para visitar nuestra fábrica, ¡tengamos más discusión!

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