CVD TaC coated plate susceptor

Gambar Unggulan Susceptor Pelat Berlapis CVD TaC

Deskripsi Singkat:

VET Energy CVD TaC coated plate susceptor adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, serta ketahanan terhadap erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

ItuCVD TaC DilapisiPlate Susceptor dari vet-china dirancang untuk kinerja tinggi dalam proses pengendapan uap kimia (CVD). Susceptor ini memiliki fitur yang kokoh.Lapisan TaC (Tantalum Karbida), menawarkan stabilitas termal, ketahanan kimia, dan daya tahan yang luar biasa, menjadikannya solusi ideal untuk manufaktur semikonduktor dan aplikasi suhu tinggi.Lapisan CVD TaCMemastikan ketahanan yang sangat baik terhadap oksidasi dan keausan, memungkinkan susceptor untuk mempertahankan integritas dan fungsinya di lingkungan yang keras.

dokter hewan-ChinaCVD TaC DilapisiPlate Susceptor menonjol karena kemampuannya mendistribusikan panas secara merata selama proses CVD, memastikan pengendapan lapisan yang presisi dan meningkatkan efisiensi fabrikasi semikonduktor. Lapisan Ta-C memberikan perlindungan tambahan terhadap korosi kimia, memperpanjang umur pakai susceptor dan meningkatkan kinerja secara keseluruhan. Dengan kombinasi teknologi susceptor CVD canggih dan lapisan kimia TaC berkualitas tinggi, susceptor ini merupakan komponen kunci bagi industri yang membutuhkan presisi dan keandalan di lingkungan suhu tinggi.

Baik digunakan dalam produksi semikonduktor atau aplikasi teknologi tinggi lainnya,Susceptor Pelat Berlapis CVD TaCDirancang untuk memenuhi tuntutan manufaktur modern. Didukung oleh reputasi Semicera untuk inovasi dan kualitas, produk ini menawarkan kinerja superior dan daya tahan jangka panjang, menjadikannya pilihan tepercaya untuk proses CVD.

Lapisan TaC adalah jenis lapisan tantalum karbida (TaC) yang dibuat dengan teknologi pengendapan uap fisik, dan memiliki karakteristik sebagai berikut:

1. Kekerasan tinggi: Lapisan TaC memiliki kekerasan tinggi, biasanya dapat mencapai 2500-3000 HV, merupakan lapisan keras yang sangat baik.

2. Ketahanan aus: Lapisan TaC sangat tahan aus, yang dapat secara efektif mengurangi keausan dan kerusakan komponen mekanis selama penggunaan.

3. Ketahanan suhu tinggi yang baik: Lapisan TaC juga dapat mempertahankan kinerja unggulnya di lingkungan suhu tinggi.

4. Stabilitas kimia yang baik: Lapisan TaC memiliki stabilitas kimia yang baik dan dapat menahan banyak reaksi kimia, seperti asam dan basa.

碳化层物理特性 foto Sifat fisik dari TaC lapisan
密度/ Kepadatan	14,3 (g/cm³)
比辐射 foto Emisivitas spesifik	0.3
热膨胀系数 Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kekerasan (HK)	2000 HK
电阻 / Perlawanan	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilitas termal	<2500℃
石墨尺寸变化 Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
涂层厚度 Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, yang mencakup material dan teknologi seperti grafit, silikon karbida, keramik, pengolahan permukaan, dan lain sebagainya. Produk-produknya banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dan lain-lain.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami dengan senang hati mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari kita berdiskusi lebih lanjut!