Pelat penerima berlapis TaC CVD

Gambar Unggulan: Suseptor pelat berlapis TaC CVD

Deskripsi Singkat:

Pelat berlapis TaC CVD VET Energy merupakan produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, sehingga menjadikannya solusi yang sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

ItuCVD dilapisi TaCPlate Susceptor dari vet-china dirancang untuk kinerja tinggi dalam proses pengendapan uap kimia (CVD). Susceptor ini memiliki fitur yang kuatPelapisan TaC (Tantalum Karbida), menawarkan stabilitas termal, ketahanan kimia, dan daya tahan yang luar biasa, menjadikannya solusi ideal untuk manufaktur semikonduktor dan aplikasi suhu tinggi.Pelapisan CVD TaCmemastikan ketahanan yang sangat baik terhadap oksidasi dan keausan, yang memungkinkan penerima mempertahankan integritas dan fungsinya di lingkungan yang keras.

dokter hewan cinaCVD dilapisi TaCPlate Susceptor menonjol karena kemampuannya untuk mendistribusikan panas secara merata selama proses CVD, memastikan pengendapan lapisan yang tepat dan meningkatkan efisiensi fabrikasi semikonduktor. Lapisan Ta-C memberikan perlindungan tambahan terhadap korosi kimia, memperpanjang masa pakai susceptor dan meningkatkan kinerja secara keseluruhan. Dengan kombinasi teknologi susceptor CVD yang canggih dan lapisan kimia TaC berkualitas tinggi, susceptor ini merupakan komponen utama untuk industri yang membutuhkan presisi dan keandalan dalam lingkungan bersuhu tinggi.

Baik digunakan dalam produksi semikonduktor atau aplikasi teknologi tinggi lainnya,Pelat Pelindung Pelat Berlapis TaC CVDdirancang untuk memenuhi tuntutan manufaktur modern. Didukung oleh reputasi Semicera dalam hal inovasi dan kualitas, produk ini menawarkan kinerja yang unggul dan daya tahan yang lama, menjadikannya pilihan yang tepercaya untuk proses CVD.

Pelapisan TaC adalah jenis pelapisan tantalum karbida (TaC) yang disiapkan dengan teknologi deposisi uap fisik, memiliki karakteristik sebagai berikut:

1. Kekerasan tinggi: Kekerasan lapisan TaC tinggi, biasanya dapat mencapai 2500-3000HV, merupakan lapisan keras yang sangat baik.

2. Tahan aus: Lapisan TaC sangat tahan aus, yang secara efektif dapat mengurangi keausan dan kerusakan komponen mekanis selama penggunaan.

3. Tahan suhu tinggi yang baik: Lapisan TaC juga dapat mempertahankan kinerjanya yang sangat baik di lingkungan suhu tinggi.

4. Stabilitas kimia yang baik: Lapisan TaC memiliki stabilitas kimia yang baik dan dapat menahan banyak reaksi kimia, seperti asam dan basa.

碳化层物理特性 foto Sifat Fisika Bahasa Inggris lapisan
密度/ Kepadatan	14,3 gram/cm³
比辐射 foto / Emisivitas spesifik	0.3
热膨胀系数 / Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kekerasan (HK)	2000 HK
电阻 / Perlawanan	Ukuran 1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilitas termal	<2500℃
石墨尺寸变化 / Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
涂层厚度 / Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, material dan teknologi yang meliputi grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan, dan sebagainya. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!