Płytka susceptorowa pokryta CVD TaC

Krótki opis:

VET Energy CVD TaC powłoka płytkowa susceptor to produkt o wysokiej wydajności zaprojektowany tak, aby zapewniać stałą i niezawodną wydajność przez dłuższy czas. Ma super dobrą odporność cieplną i jednorodność termiczną, wysoką czystość, odporność na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

TenPowlekane CVD TaCSusceptor płytkowy firmy vet-china został zaprojektowany do wysokiej wydajności w procesach osadzania chemicznego z fazy gazowej (CVD). Susceptor ten charakteryzuje się solidnąPowłoka TaC (węglik tantalu), oferując wyjątkową stabilność termiczną, odporność chemiczną i trwałość, co czyni go idealnym rozwiązaniem do produkcji półprzewodników i zastosowań w wysokich temperaturach.Powłoka CVD TaCzapewnia doskonałą odporność na utlenianie i zużycie, dzięki czemu susceptor zachowuje swoją integralność i funkcjonalność w trudnych warunkach.

weterynarz-chinyPowlekane CVD TaCPlate Susceptor wyróżnia się zdolnością do równomiernego rozprowadzania ciepła podczas procesów CVD, zapewniając precyzyjne osadzanie warstw i zwiększając wydajność produkcji półprzewodników. Powłoka Ta-C zapewnia dodatkową ochronę przed korozją chemiczną, wydłużając żywotność susceptora i poprawiając ogólną wydajność. Dzięki połączeniu zaawansowanej technologii susceptora CVD i wysokiej jakości powłok chemicznych TaC, ten susceptor jest kluczowym elementem dla branż wymagających precyzji i niezawodności w środowiskach o wysokiej temperaturze.

Niezależnie od tego, czy jest stosowany w produkcji półprzewodników, czy w innych zastosowaniach high-tech,Płyta susceptorowa powlekana CVD TaCjest zaprojektowany, aby sprostać wymaganiom nowoczesnej produkcji. Wspierany przez reputację Semicera w zakresie innowacji i jakości, ten produkt oferuje doskonałą wydajność i długotrwałą trwałość, co czyni go zaufanym wyborem dla procesów CVD.

Powłoka TaC jest rodzajem powłoki z węglika tantalu (TaC) przygotowanej metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej. Posiada ona następujące właściwości:

1. Wysoka twardość: Twardość powłoki TaC jest wysoka, zwykle może osiągnąć 2500-3000 HV, jest to doskonała twarda powłoka.

2. Odporność na zużycie: powłoka TaC jest bardzo odporna na zużycie, co skutecznie zmniejsza zużycie i uszkodzenia części mechanicznych podczas użytkowania.

3. Dobra odporność na wysokie temperatury: powłoka TaC zachowuje swoje doskonałe właściwości również w środowisku o wysokiej temperaturze.

4. Dobra stabilność chemiczna: powłoka TaC charakteryzuje się dobrą stabilnością chemiczną i może być odporna na wiele reakcji chemicznych, takich jak reakcje z kwasami i zasadami.

Powłoka TaC13
Powłoka TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Właściwości fizyczne TaC powłoka

密度/ Gęstość

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisyjność właściwa

0,3

热膨胀系数 / Współczynnik rozszerzalności cieplnej

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Twardość (HK)

2000 Hongkongu

电阻 / Opór

1×10-5 Om*cm

热稳定性 / Stabilność termiczna

<2500℃

石墨尺寸变化 / Zmiany wielkości grafitu

-10~-20um

涂层厚度 / Grubość powłoki

≥20um typowa wartość (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jest przedsiębiorstwem high-tech skupiającym się na produkcji i sprzedaży zaawansowanych materiałów high-end, materiałów i technologii obejmujących grafit, węglik krzemu, ceramikę, obróbkę powierzchni itd. Produkty są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energii, metalurgii itd.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Czat online na WhatsAppie!