TenPowlekane CVD TaCSusceptor płytkowy firmy vet-china został zaprojektowany do wysokiej wydajności w procesach osadzania chemicznego z fazy gazowej (CVD). Susceptor ten charakteryzuje się solidnąPowłoka TaC (węglik tantalu), oferując wyjątkową stabilność termiczną, odporność chemiczną i trwałość, co czyni go idealnym rozwiązaniem do produkcji półprzewodników i zastosowań w wysokich temperaturach.Powłoka CVD TaCzapewnia doskonałą odporność na utlenianie i zużycie, dzięki czemu susceptor zachowuje swoją integralność i funkcjonalność w trudnych warunkach.
weterynarz-chinyPowlekane CVD TaCPlate Susceptor wyróżnia się zdolnością do równomiernego rozprowadzania ciepła podczas procesów CVD, zapewniając precyzyjne osadzanie warstw i zwiększając wydajność produkcji półprzewodników. Powłoka Ta-C zapewnia dodatkową ochronę przed korozją chemiczną, wydłużając żywotność susceptora i poprawiając ogólną wydajność. Dzięki połączeniu zaawansowanej technologii susceptora CVD i wysokiej jakości powłok chemicznych TaC, ten susceptor jest kluczowym elementem dla branż wymagających precyzji i niezawodności w środowiskach o wysokiej temperaturze.
Niezależnie od tego, czy jest stosowany w produkcji półprzewodników, czy w innych zastosowaniach high-tech,Płyta susceptorowa powlekana CVD TaCjest zaprojektowany, aby sprostać wymaganiom nowoczesnej produkcji. Wspierany przez reputację Semicera w zakresie innowacji i jakości, ten produkt oferuje doskonałą wydajność i długotrwałą trwałość, co czyni go zaufanym wyborem dla procesów CVD.
Powłoka TaC jest rodzajem powłoki z węglika tantalu (TaC) przygotowanej metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej. Posiada ona następujące właściwości:
1. Wysoka twardość: Twardość powłoki TaC jest wysoka, zwykle może osiągnąć 2500-3000 HV, jest to doskonała twarda powłoka.
2. Odporność na zużycie: powłoka TaC jest bardzo odporna na zużycie, co skutecznie zmniejsza zużycie i uszkodzenia części mechanicznych podczas użytkowania.
3. Dobra odporność na wysokie temperatury: powłoka TaC zachowuje swoje doskonałe właściwości również w środowisku o wysokiej temperaturze.
4. Dobra stabilność chemiczna: powłoka TaC charakteryzuje się dobrą stabilnością chemiczną i może być odporna na wiele reakcji chemicznych, takich jak reakcje z kwasami i zasadami.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Właściwości fizyczne TaC powłoka | |
| 密度/ Gęstość | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisyjność właściwa | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Twardość (HK) | 2000 Hongkongu |
| 电阻 / Opór | 1×10-5 Om*cm |
| 热稳定性 / Stabilność termiczna | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Zmiany wielkości grafitu | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Grubość powłoki | ≥20um typowa wartość (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jest przedsiębiorstwem high-tech skupiającym się na produkcji i sprzedaży zaawansowanych materiałów high-end, materiałów i technologii obejmujących grafit, węglik krzemu, ceramikę, obróbkę powierzchni itd. Produkty są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energii, metalurgii itd.
Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.
Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!
-
Porowata lufa pokryta węglikiem tantalu
-
Wysokiej jakości rura z węglika tantalu do kryształów SiC...
-
Pierścień prowadzący z grafitu powlekanego TaC
-
Górna i dolna część półksiężyca z grafitu do Si...
-
Duży, rekrystalizowany wafel z węglika krzemu...
-
Wysokiej czystości stały CVD SiC luzem z bazą grafitową




