O/ARecuberto con CVD TaCO susceptor de placas de vet-china está deseñado para un alto rendemento en procesos de deposición química de vapor (CVD). Este susceptor presenta un robustoRevestimento de TaC (carburo de tántalo), ofrecendo unha estabilidade térmica, resistencia química e durabilidade excepcionais, o que o converte nunha solución ideal para a fabricación de semicondutores e aplicacións a alta temperatura. ORevestimento CVD TaCgarante unha excelente resistencia á oxidación e ao desgaste, o que permite que o susceptor manteña a súa integridade e función en ambientes agresivos.
veterinario-porcelanaRecuberto con CVD TaCO susceptor de placas destaca pola súa capacidade para distribuír uniformemente a calor durante os procesos de CVD, o que garante unha deposición precisa das capas e mellora a eficiencia da fabricación de semicondutores. O revestimento Ta-C proporciona protección adicional contra a corrosión química, prolongando a vida útil do susceptor e mellorando o rendemento xeral. Cunha combinación de tecnoloxía avanzada de susceptor CVD e revestimentos químicos TaC de alta calidade, este susceptor é un compoñente clave para as industrias que requiren precisión e fiabilidade en ambientes de alta temperatura.
Tanto se se emprega na produción de semicondutores como noutras aplicacións de alta tecnoloxía, oSusceptor de placa revestido de TaC CVDestá deseñado para satisfacer as esixencias da fabricación moderna. Respaldado pola reputación de innovación e calidade de Semicera, este produto ofrece un rendemento superior e unha durabilidade a longo prazo, o que o converte nunha opción de confianza para os procesos de CVD.
O revestimento TaC é un tipo de revestimento de carburo de tántalo (TaC) preparado mediante tecnoloxía de deposición física de vapor, que ten as seguintes características:
1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, normalmente pode alcanzar os 2500-3000HV, é un excelente revestimento duro.
2. Resistencia ao desgaste: o revestimento TaC é moi resistente ao desgaste, o que pode reducir eficazmente o desgaste e os danos das pezas mecánicas durante o uso.
3. Boa resistencia a altas temperaturas: o revestimento de TaC tamén pode manter o seu excelente rendemento en ambientes de altas temperaturas.
4. Boa estabilidade química: o revestimento de TaC ten unha boa estabilidade química e pode resistir moitas reaccións químicas, como ácidos e bases.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 propiedades físicas de TaC revestimento | |
| 密度/ Densidade | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisividade específica | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Coeficiente de expansión térmica | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Dureza (HK) | 2000 Hong Kong |
| 电阻 / Resistencia | 1×10-5 Ohmios*cm |
| 热稳定性 / Estabilidade térmica | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño do grafito | -10~-20 µm |
| 涂层厚度 / Espesor do revestimento | Valor típico de ≥20 µm (35 µm ± 10 µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é unha empresa de alta tecnoloxía centrada na produción e venda de materiais avanzados de alta gama, materiais e tecnoloxía que abarcan grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamento de superficies, etc. Os produtos úsanse amplamente en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.
O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.
Unha calorosa benvida para visitar a nosa fábrica, imos falar máis a fondo!
-
Barril poroso revestido de carburo de tántalo
-
Tubo de carburo de tántalo de alta calidade para cristal de SiC...
-
Anel guía de grafito revestido de TaC
-
Peza superior e inferior de media lúa de grafito para Si...
-
Oblea de carburo de silicio recristalizada de gran tamaño...
-
SiC sólido de alta pureza obtido por CVD a granel con base de grafito




