ACVD TaC bevonattalA Vet-China Plate Susceptor nagy teljesítményű kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárásokhoz készült. Ez a szuszceptor robusztus felépítésű.TaC (tantál-karbid) bevonat, kivételes hőstabilitást, vegyi ellenállást és tartósságot kínálva, így ideális megoldást kínál félvezetőgyártáshoz és magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz.CVD TaC bevonatkiváló oxidációs és kopásállóságot biztosít, lehetővé téve a szuszceptor integritásának és működésének megőrzését zord környezetben.
állatorvosi kínaiCVD TaC bevonattalA Plate Susceptor kiemelkedik azzal a képességével, hogy egyenletesen osztja el a hőt a CVD-folyamatok során, biztosítva a precíz réteglerakódást és növelve a félvezetőgyártás hatékonyságát. A Ta-C bevonat további védelmet nyújt a kémiai korrózió ellen, meghosszabbítva a szuszceptor élettartamát és javítva az általános teljesítményt. A fejlett CVD szuszceptor technológia és a kiváló minőségű TaC kémiai bevonatok kombinációjával ez a szuszceptor kulcsfontosságú alkatrész a magas hőmérsékletű környezetben precíziót és megbízhatóságot igénylő iparágak számára.
Akár félvezetők gyártásában, akár más high-tech alkalmazásokban használják, aCVD TaC bevonatú lemezes szuszceptorúgy tervezték, hogy megfeleljen a modern gyártási igényeknek. A Semicera innováció és minőség terén szerzett hírnevére támaszkodva ez a termék kiváló teljesítményt és tartósságot kínál, így megbízható választás a CVD-eljárásokhoz.
A TaC bevonat egyfajta tantál-karbid (TaC) bevonat, amelyet fizikai gőzfázisú leválasztási technológiával állítanak elő, és a következő tulajdonságokkal rendelkezik:
1. Nagy keménység: A TaC bevonat keménysége magas, általában elérheti a 2500-3000 HV-t, ami kiváló kemény bevonat.
2. Kopásállóság: A TaC bevonat nagyon kopásálló, ami hatékonyan csökkentheti a mechanikus alkatrészek kopását és károsodását használat közben.
3. Jó hőállóság: A TaC bevonat magas hőmérsékleten is kiváló teljesítményt nyújt.
4. Jó kémiai stabilitás: A TaC bevonat jó kémiai stabilitással rendelkezik, és számos kémiai reakciónak, például savaknak és bázisoknak ellenáll.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fizikai tulajdonságai ÁFA bevonat | |
| 密度/ Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Fajlagos emisszióképesség | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Hőtágulási együttható | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Keménység (HK) | 2000 hongkongi koronát |
| 电阻 / Ellenállás | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termikus stabilitás | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Grafitméret-változások | -10~-20 µm |
| 涂层厚度 / Bevonat vastagsága | ≥20µm tipikus érték (35µm±10µm) |
A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. egy high-tech vállalat, amely a csúcskategóriás, fejlett anyagok gyártására és értékesítésére összpontosít, beleértve a grafitot, szilícium-karbidot, kerámiát, felületkezelést stb. A termékeket széles körben használják fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb. területeken.
Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Szeretettel várjuk gyárunkban, hogy megbeszélhessük a részleteket!
