DeCVD TaC-belagtPlate Susceptor fra Vet-China er konstrueret til høj ydeevne i kemisk dampaflejringsprocesser (CVD). Denne susceptor har en robustTaC (tantalkarbid) belægning, der tilbyder enestående termisk stabilitet, kemisk resistens og holdbarhed, hvilket gør den til en ideel løsning til halvlederproduktion og højtemperaturapplikationer.CVD TaC-belægningsikrer fremragende modstandsdygtighed over for oxidation og slid, hvilket gør det muligt for susceptoren at bevare sin integritet og funktion i barske miljøer.
dyrlæge-kinesiskCVD TaC-belagtPlate Susceptor skiller sig ud ved sin evne til at fordele varmen jævnt under CVD-processer, hvilket sikrer præcis lagaflejring og forbedrer effektiviteten af halvlederfremstilling. Ta-C-belægningen giver yderligere beskyttelse mod kemisk korrosion, forlænger susceptorens levetid og forbedrer den samlede ydeevne. Med en kombination af avanceret CVD-susceptorteknologi og kemiske TaC-belægninger af høj kvalitet er denne susceptor en nøglekomponent for industrier, der kræver præcision og pålidelighed i miljøer med høj temperatur.
Uanset om det bruges i produktionen af halvledere eller andre højteknologiske applikationer,CVD TaC-belagt pladesusceptorer designet til at opfylde kravene fra moderne produktion. Bakket op af Semiceras ry for innovation og kvalitet, tilbyder dette produkt overlegen ydeevne og langvarig holdbarhed, hvilket gør det til et pålideligt valg til CVD-processer.
TaC-belægning er en slags tantalcarbid (TaC) belægning fremstillet ved fysisk dampaflejringsteknologi, den har følgende egenskaber:
1. Høj hårdhed: TaC-belægningens hårdhed er høj, kan normalt nå 2500-3000HV, hvilket er en fremragende hård belægning.
2. Slidstyrke: TaC-belægning er meget slidstærk, hvilket effektivt kan reducere slid og skader på mekaniske dele under brug.
3. God modstandsdygtighed over for høje temperaturer: TaC-belægningen kan også opretholde sin fremragende ydeevne under høje temperaturer.
4. God kemisk stabilitet: TaC-belægning har god kemisk stabilitet og kan modstå mange kemiske reaktioner, såsom syrer og baser.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiske egenskaber ved TaC belægning | |
| 密度/ Tæthed | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Specifik emissivitet | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Termisk udvidelseskoefficient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hårdhed (HK) | 2000 Hongkong |
| 电阻 / Modstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termisk stabilitet | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Ændringer i grafitstørrelse | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Belægningstykkelse | Typisk værdi ≥20µm (35µm±10µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på produktion og salg af avancerede materialer i høj kvalitet, og som omfatter materialer og teknologi inden for grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling og så videre. Produkterne anvendes i vid udstrækning inden for solceller, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.
Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!
