આCVD TaC કોટેડવેટ-ચાઇનાનું પ્લેટ સસેપ્ટર રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપણ (CVD) પ્રક્રિયાઓમાં ઉચ્ચ-પ્રદર્શન માટે રચાયેલ છે. આ સસેપ્ટરમાં મજબૂતTaC (ટેન્ટલમ કાર્બાઇડ) કોટિંગ, અસાધારણ થર્મલ સ્થિરતા, રાસાયણિક પ્રતિકાર અને ટકાઉપણું પ્રદાન કરે છે, જે તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન અને ઉચ્ચ-તાપમાન એપ્લિકેશનો માટે એક આદર્શ ઉકેલ બનાવે છે.CVD TaC કોટિંગઓક્સિડેશન અને ઘસારો સામે ઉત્તમ પ્રતિકાર સુનિશ્ચિત કરે છે, જેનાથી સસેપ્ટર કઠોર વાતાવરણમાં તેની અખંડિતતા અને કાર્ય જાળવી શકે છે.
વેટ-ચાઇનાCVD TaC કોટેડપ્લેટ સસેપ્ટર CVD પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન ગરમીનું સમાન રીતે વિતરણ કરવાની ક્ષમતા માટે અલગ પડે છે, જે ચોક્કસ સ્તર જમાવટ સુનિશ્ચિત કરે છે અને સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશનની કાર્યક્ષમતામાં વધારો કરે છે. Ta-C કોટિંગ રાસાયણિક કાટ સામે વધારાનું રક્ષણ પૂરું પાડે છે, સસેપ્ટરના જીવનકાળને લંબાવે છે અને એકંદર કામગીરીમાં સુધારો કરે છે. અદ્યતન CVD સસેપ્ટર ટેકનોલોજી અને ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા TaC રાસાયણિક કોટિંગ્સના સંયોજન સાથે, આ સસેપ્ટર ઉચ્ચ-તાપમાન વાતાવરણમાં ચોકસાઇ અને વિશ્વસનીયતાની જરૂર હોય તેવા ઉદ્યોગો માટે એક મુખ્ય ઘટક છે.
સેમિકન્ડક્ટરના ઉત્પાદનમાં અથવા અન્ય હાઇ-ટેક એપ્લિકેશન્સમાં ઉપયોગમાં લેવાય છે,CVD TaC કોટેડ પ્લેટ સસેપ્ટરઆધુનિક ઉત્પાદનની માંગને પૂર્ણ કરવા માટે રચાયેલ છે. નવીનતા અને ગુણવત્તા માટે સેમિસેરાની પ્રતિષ્ઠાને કારણે, આ ઉત્પાદન શ્રેષ્ઠ પ્રદર્શન અને લાંબા સમય સુધી ટકી રહે તેવું ટકાઉપણું પ્રદાન કરે છે, જે તેને CVD પ્રક્રિયાઓ માટે વિશ્વસનીય પસંદગી બનાવે છે.
TaC કોટિંગ એ એક પ્રકારનું ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ (TaC) કોટિંગ છે જે ભૌતિક વરાળ નિક્ષેપણ ટેકનોલોજી દ્વારા તૈયાર કરવામાં આવે છે, તેમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ છે:
1. ઉચ્ચ કઠિનતા: TaC કોટિંગની કઠિનતા ઊંચી હોય છે, સામાન્ય રીતે 2500-3000HV સુધી પહોંચી શકે છે, તે એક ઉત્તમ કઠિન કોટિંગ છે.
2. ઘસારો પ્રતિકાર: TaC કોટિંગ ખૂબ જ ઘસારો-પ્રતિરોધક છે, જે ઉપયોગ દરમિયાન યાંત્રિક ભાગોના ઘસારો અને નુકસાનને અસરકારક રીતે ઘટાડી શકે છે.
3. ઉચ્ચ તાપમાનનો સારો પ્રતિકાર: TaC કોટિંગ ઉચ્ચ તાપમાન વાતાવરણમાં પણ તેનું ઉત્તમ પ્રદર્શન જાળવી શકે છે.
4. સારી રાસાયણિક સ્થિરતા: TaC કોટિંગમાં સારી રાસાયણિક સ્થિરતા હોય છે અને તે એસિડ અને બેઝ જેવી ઘણી રાસાયણિક પ્રતિક્રિયાઓનો પ્રતિકાર કરી શકે છે.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 ના ભૌતિક ગુણધર્મો ટીએસી આવરણ | |
| 密度/ ઘનતા | ૧૪.૩ (ગ્રામ/સેમી³) |
| 比辐射率 / ચોક્કસ ઉત્સર્જન | ૦.૩ |
| 热膨胀系数 / થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક | ૬.૩ ૧૦-6/K |
| 努氏硬度/ કઠિનતા (HK) | ૨૦૦૦ હોંગકોંગ |
| 电阻 / પ્રતિકાર | ૧×૧૦-5 ઓહ્મ*સેમી |
| 热稳定性 / થર્મલ સ્થિરતા | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / ગ્રેફાઇટના કદમાં ફેરફાર | -૧૦~-૨૦અમ |
| 涂层厚度 / કોટિંગ જાડાઈ | ≥20um લાક્ષણિક મૂલ્ય (35um±10um) |
નિંગબો વીઈટી એનર્જી ટેકનોલોજી કંપની લિમિટેડ એક ઉચ્ચ-તકનીકી સાહસ છે જે ઉચ્ચ-સ્તરીય અદ્યતન સામગ્રીના ઉત્પાદન અને વેચાણ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, જેમાં ગ્રેફાઇટ, સિલિકોન કાર્બાઇડ, સિરામિક્સ, સપાટીની સારવાર વગેરેનો સમાવેશ થાય છે. આ ઉત્પાદનોનો ફોટોવોલ્ટેઇક, સેમિકન્ડક્ટર, નવી ઊર્જા, ધાતુશાસ્ત્ર વગેરેમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.
અમારી ટેકનિકલ ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, જે તમારા માટે વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છે.
અમારા ફેક્ટરીની મુલાકાત લેવા માટે આપનું હાર્દિક સ્વાગત છે, ચાલો વધુ ચર્ચા કરીએ!










