TheE koahetsoeng ka CVD TaCPlate Susceptor e tsoang ho vet-china e entsoe bakeng sa ts'ebetso e phahameng ea ts'ebetso ea ho boloka mouoane oa lik'hemik'hale (CVD). Susceptor ena e na le matla a maholoSekoahelo sa TaC (Tantalum Carbide), e fanang ka botsitso bo ikhethang ba mocheso, ho hanyetsa lik'hemik'hale le ho tšoarella, e leng se etsang hore e be tharollo e phethahetseng bakeng sa tlhahiso ea li-semiconductor le lits'ebetso tsa mocheso o phahameng.Seaparo sa CVD TaCe netefatsa ho hanyetsa ka mokhoa o babatsehang o feteletseng le ho tsofala, e leng se lumellang susceptor ho boloka botsitso ba eona le ts'ebetso ea eona libakeng tse thata.
ngaka ea liphoofolo ea ChinaE koahetsoeng ka CVD TaCPlate Susceptor e ikhetha ka bokhoni ba eona ba ho aba mocheso ka ho lekana nakong ea lits'ebetso tsa CVD, ho netefatsa ho beoa ha lera ka nepo le ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso ea semiconductor. Seaparo sa Ta-C se fana ka tšireletso e eketsehileng khahlanong le ho bola ha lik'hemik'hale, se eketsa nako ea bophelo ba susceptor le ho ntlafatsa ts'ebetso ka kakaretso. Ka motsoako oa theknoloji e tsoetseng pele ea CVD susceptor le liaparo tsa lik'hemik'hale tsa TaC tsa boleng bo holimo, susceptor ena ke karolo ea bohlokoa bakeng sa liindasteri tse hlokang ho nepahala le ho tšepahala libakeng tse nang le mocheso o phahameng.
Ebang e sebelisoa tlhahisong ea li-semiconductor kapa lits'ebetsong tse ling tsa theknoloji e phahameng,Sesupa-sekontiri sa Plate se koahetsoeng ka CVD TaCe etselitsoe ho fihlela litlhoko tsa tlhahiso ea sejoale-joale. Ka lebaka la botumo ba Semicera ba boqapi le boleng, sehlahisoa sena se fana ka ts'ebetso e phahameng le ho tšoarella nako e telele, e leng se etsang hore e be khetho e tšepahalang bakeng sa lits'ebetso tsa CVD.
Sekoahelo sa TaC ke mofuta oa sekoahelo sa tantalum carbide (TaC) se lokisitsoeng ke theknoloji ea ho boloka mouoane oa 'mele, se na le litšobotsi tse latelang:
1. Bothata bo phahameng: Bothata ba ho roala TaC bo phahame, hangata bo ka fihla ho 2500-3000HV, ke seaparo se thata se setle haholo.
2. Ho hanyetsa ho roala: Seaparo sa TaC se hanela ho roala haholo, e leng se ka fokotsang ho roala le ho senyeha ha likarolo tsa mechini nakong ea ts'ebeliso.
3. Khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng: Seaparo sa TaC se ka boela sa boloka ts'ebetso ea sona e ntle tlas'a tikoloho ea mocheso o phahameng.
4. Ho tsitsa ha lik'hemik'hale hantle: Ho koahela ka TaC ho na le botsitso bo botle ba lik'hemik'hale 'me ho ka hanela liketso tse ngata tsa lik'hemik'hale, tse kang li-acid le metheo.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Thepa ea 'mele ea TaC sekoahelo | |
| 密度/ Botenya | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Ho ntša metsi ka ho khetheha | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Koefficient ea katoloso ea mocheso | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Boima (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Khanyetso | 1 × 10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Botsitso ba mocheso | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Liphetoho tsa boholo ba graphite | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Botenya ba ho roala | ≥20um boleng bo tloaelehileng (35um ± 10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ke kgwebo ya theknoloji e phahameng e shebaneng le tlhahiso le thekiso ya thepa e tsoetseng pele ya maemo a hodimo, thepa le theknoloji e akaretsang graphite, silicon carbide, ceramics, kalafo ya bokahodimo le tse ding. Dihlahiswa tsena di sebediswa haholo ho photovoltaic, semiconductor, eneji e ntjha, metallurgy, jj.
Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, se ka u fa litharollo tse ling tsa lisebelisoa tsa profeshenale.
Re u amohela ka mofuthu ho etela fektheri ea rona, ha re buisaneng ka ho eketsehileng!
-
Liphaephe tsa Kholo ea Crystal ea SiC tse nang le Tantalum Carbide ...
-
Tantalum Carbide Tube ea Boleng bo Holimo bakeng sa SiC Crys ...
-
Botsitso ba Mocheso o Phahameng
-
Phaephe ea Tantalum carbide
-
Matla a Phahameng a Khalase ea Carbon e ka sebelisoang ka ho feletseng ...
-
SiC e koahetsoeng ka Graphite Halfmoon Karolo ea Silicon C ...