Cel/Cea/Cei/CeleAcoperit cu CVD TaCSusceptorul cu plăci de la vet-china este proiectat pentru performanțe ridicate în procesele de depunere chimică din vapori (CVD). Acest susceptor dispune de un sistem robustAcoperire cu TaC (carbură de tantal), oferind stabilitate termică excepțională, rezistență chimică și durabilitate, ceea ce îl face o soluție ideală pentru fabricarea semiconductorilor și aplicații la temperaturi înalte.Acoperire CVD TaCasigură o rezistență excelentă la oxidare și uzură, permițând susceptorului să își mențină integritatea și funcționarea în medii dure.
porțelanuri veterinareAcoperit cu CVD TaCSusceptorul cu plăci se remarcă prin capacitatea sa de a distribui uniform căldura în timpul proceselor CVD, asigurând depunerea precisă a straturilor și sporind eficiența fabricării semiconductorilor. Acoperirea Ta-C oferă protecție suplimentară împotriva coroziunii chimice, prelungind durata de viață a susceptorului și îmbunătățind performanța generală. Cu o combinație de tehnologie CVD avansată a susceptorului și acoperiri chimice TaC de înaltă calitate, acest susceptor este o componentă cheie pentru industriile care necesită precizie și fiabilitate în medii cu temperaturi ridicate.
Indiferent dacă este utilizat în producția de semiconductori sau în alte aplicații de înaltă tehnologie,Suceptorul plăcii acoperite cu TaC CVDeste conceput pentru a satisface cerințele producției moderne. Susținut de reputația Semicera pentru inovație și calitate, acest produs oferă performanțe superioare și durabilitate de lungă durată, ceea ce îl face o alegere de încredere pentru procesele CVD.
Acoperirea TaC este un tip de acoperire din carbură de tantal (TaC) preparată prin tehnologia depunerii fizice în fază de vapori, având următoarele caracteristici:
1. Duritate ridicată: Duritatea stratului de acoperire TaC este mare, de obicei poate ajunge la 2500-3000HV, fiind un strat de acoperire dur excelent.
2. Rezistență la uzură: Acoperirea TaC este foarte rezistentă la uzură, ceea ce poate reduce eficient uzura și deteriorarea pieselor mecanice în timpul utilizării.
3. Rezistență bună la temperaturi ridicate: Acoperirea TaC își poate menține performanța excelentă și în medii cu temperaturi ridicate.
4. Stabilitate chimică bună: Acoperirea cu TaC are o stabilitate chimică bună și poate rezista la multe reacții chimice, cum ar fi acizi și baze.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietățile fizice ale TaC acoperire | |
| 密度Densitate | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Emisivitate specifică | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Coeficient de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Duritate (HK) | 2000 Hong Kong |
| 电阻 / Rezistență | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 Stabilitate termică | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Modificări ale dimensiunii grafitului | -10~-20um |
| 涂层厚度 Grosimea stratului de acoperire | Valoare tipică ≥20um (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd este o întreprindere de înaltă tehnologie axată pe producția și vânzarea de materiale avansate de înaltă calitate, materiale și tehnologii care acoperă grafit, carbură de siliciu, ceramică, tratament de suprafețe și așa mai departe. Produsele sunt utilizate pe scară largă în fotovoltaică, semiconductori, energie nouă, metalurgie etc.
Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare autohtone de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.
Vă invităm călduros să vizitați fabrica noastră, haideți să discutăm mai departe!
-
Butoi poros acoperit cu carbură de tantal
-
Tub de carbură de tantal de înaltă calitate pentru cristale SiC...
-
Inel de ghidare din grafit acoperit cu TaC
-
Semilună superioară și inferioară din grafit pentru Si...
-
Plachetă de carbură de siliciu recristalizată de dimensiuni mari...
-
SiC solid de înaltă puritate, obținut prin CVD, în vrac, cu bază de grafit




