DeCVD TaC-belagdPlate Susceptor från Vet-China är konstruerad för hög prestanda i kemisk ångavsättning (CVD) processer. Denna susceptor har en robustTaC (tantalkarbid) beläggning, vilket erbjuder exceptionell termisk stabilitet, kemisk resistens och hållbarhet, vilket gör den till en idealisk lösning för halvledartillverkning och högtemperaturapplikationer.CVD TaC-beläggningsäkerställer utmärkt motståndskraft mot oxidation och slitage, vilket gör att susceptorn bibehåller sin integritet och funktion i tuffa miljöer.
vet-ChinasCVD TaC-belagdPlate Susceptor utmärker sig för sin förmåga att jämnt fördela värme under CVD-processer, vilket säkerställer exakt lageravsättning och förbättrar effektiviteten vid halvledartillverkning. Ta-C-beläggningen ger ytterligare skydd mot kemisk korrosion, förlänger susceptorns livslängd och förbättrar den totala prestandan. Med en kombination av avancerad CVD-susceptorteknik och högkvalitativa kemiska TaC-beläggningar är denna susceptor en nyckelkomponent för industrier som kräver precision och tillförlitlighet i högtemperaturmiljöer.
Oavsett om den används i produktionen av halvledare eller andra högteknologiska tillämpningar,CVD TaC-belagd plattmottagareär utformad för att möta kraven från modern tillverkning. Med stöd av Semiceras rykte för innovation och kvalitet erbjuder denna produkt överlägsen prestanda och långvarig hållbarhet, vilket gör den till ett pålitligt val för CVD-processer.
TaC-beläggning är en typ av tantalkarbid (TaC) beläggning framställd genom fysisk ångavsättningsteknik, den har följande egenskaper:
1. Hög hårdhet: TaC-beläggningens hårdhet är hög, kan vanligtvis nå 2500-3000HV, vilket är en utmärkt hård beläggning.
2. Slitstyrka: TaC-beläggningen är mycket slitstark, vilket effektivt kan minska slitage och skador på mekaniska delar under användning.
3. God högtemperaturbeständighet: TaC-beläggningen kan också bibehålla sin utmärkta prestanda i högtemperaturmiljöer.
4. God kemisk stabilitet: TaC-beläggning har god kemisk stabilitet och kan motstå många kemiska reaktioner, såsom syror och baser.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiska egenskaper hos TaC beläggning | |
| 密度/ Densitet | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Specifik emissivitet | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansionskoefficient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hårdhet (HK) | 2000 Hongkong |
| 电阻 / Motstånd | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termisk stabilitet | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Förändringar i grafitstorlek | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Beläggningstjocklek | ≥20µm typiskt värde (35µm±10µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag som fokuserar på produktion och försäljning av avancerade material av högsta kvalitet, material och teknologi som omfattar grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling och så vidare. Produkterna används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.
Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!
