Plaque de suscepteur revêtue de TaC CVD

Brève description :

Le suscepteur à plaque revêtu de TaC CVD de VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.


Détails du produit

Étiquettes de produit

LeRevêtement TaC CVDLe suscepteur à plaques de vet-china est conçu pour des performances élevées dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il est doté d'une structure robuste.Revêtement TaC (carbure de tantale), offrant une stabilité thermique, une résistance chimique et une durabilité exceptionnelles, ce qui en fait une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs et les applications à haute température.Revêtement CVD TaCassure une excellente résistance à l'oxydation et à l'usure, permettant au suscepteur de conserver son intégrité et sa fonction dans des environnements difficiles.

vétérinaire chinoisRevêtement TaC CVDLe suscepteur à plaque se distingue par sa capacité à répartir uniformément la chaleur lors des procédés CVD, garantissant un dépôt précis des couches et améliorant l'efficacité de la fabrication des semi-conducteurs. Le revêtement Ta-C offre une protection supplémentaire contre la corrosion chimique, prolongeant ainsi la durée de vie du suscepteur et améliorant ses performances globales. Associant une technologie CVD avancée et des revêtements chimiques Ta-C de haute qualité, ce suscepteur est un composant clé pour les industries exigeant précision et fiabilité dans des environnements à haute température.

Qu'il soit utilisé dans la production de semi-conducteurs ou d'autres applications de haute technologie, lePlaque de suscepteur revêtue de TaC CVDConçu pour répondre aux exigences de la fabrication moderne, ce produit, qui bénéficie de la réputation d'innovation et de qualité de Semicera, offre des performances supérieures et une durabilité à long terme, ce qui en fait un choix de confiance pour les procédés CVD.

Le revêtement TaC est un type de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur, il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également conserver ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

Revêtement TaC13
Revêtement TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propriétés physiques de TaC revêtement

密度/ Densité

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Émissivité spécifique

0,3

热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureté (HK)

2000 HK

电阻 / Résistance

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Stabilité thermique

<2500℃

石墨尺寸变化 / Changements de taille du graphite

-10~-20 um

涂层厚度 / Épaisseur du revêtement

Valeur typique ≥20 um (35 um ± 10 um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie spécialisée dans la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, notamment le graphite, le carbure de silicium, la céramique et le traitement de surface. Ses produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des nouvelles énergies, de la métallurgie, etc.

Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Précédent:
  • Suivant:

  • Chat en ligne WhatsApp !