DerCVD TaC-beschichtetDer Plattensuszeptor von vet-china ist für hohe Leistung in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen (CVD) ausgelegt. Dieser Suszeptor verfügt über eine robusteTaC (Tantalcarbid)-Beschichtung, bietet außergewöhnliche thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und Haltbarkeit und ist damit eine ideale Lösung für die Halbleiterherstellung und Hochtemperaturanwendungen. DieCVD-TaC-Beschichtungsorgt für eine hervorragende Oxidations- und Verschleißbeständigkeit, sodass der Suszeptor auch in rauen Umgebungen seine Integrität und Funktion behält.
Vet-ChinasCVD TaC-beschichtetDer Plattensuszeptor zeichnet sich durch seine Fähigkeit zur gleichmäßigen Wärmeverteilung während CVD-Prozessen aus. Dies gewährleistet eine präzise Schichtabscheidung und steigert die Effizienz der Halbleiterfertigung. Die Ta-C-Beschichtung bietet zusätzlichen Schutz vor chemischer Korrosion, verlängert die Lebensdauer des Suszeptors und verbessert die Gesamtleistung. Mit der Kombination aus fortschrittlicher CVD-Suszeptortechnologie und hochwertigen TaC-Beschichtungen ist dieser Suszeptor eine Schlüsselkomponente für Branchen, die Präzision und Zuverlässigkeit in Hochtemperaturumgebungen benötigen.
Ob in der Halbleiterproduktion oder anderen High-Tech-Anwendungen, dieCVD TaC-beschichteter Plattensuszeptorist auf die Anforderungen der modernen Fertigung zugeschnitten. Dank Semiceras Ruf für Innovation und Qualität bietet dieses Produkt überlegene Leistung und lange Haltbarkeit und ist somit eine bewährte Wahl für CVD-Prozesse.
Bei der TaC-Beschichtung handelt es sich um eine Art Tantalkarbid-Beschichtung (TaC), die durch physikalische Gasphasenabscheidung hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:
1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch und kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen. Es handelt sich um eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.
2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.
3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung behält auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen ihre hervorragende Leistung.
4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung | |
| 密度/ Dichte | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Härte (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Widerstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Thermische Stabilität | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Schichtdicke | ≥20 µm typischer Wert (35 µm±10 µm) |
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