のCVD TaCコーティングvet-chinaのプレートサセプターは、化学気相成長（CVD）プロセスで高性能を発揮するように設計されています。このサセプターは堅牢なTaC（炭化タンタル）コーティング優れた熱安定性、耐薬品性、耐久性を備えているため、半導体製造や高温用途に最適なソリューションです。CVD TaCコーティング酸化や摩耗に対する優れた耐性を確保し、過酷な環境下でもサセプターがその完全性と機能を維持することを可能にする。
vet-chinaのCVD TaCコーティングプレートサセプターは、CVDプロセス中に熱を均一に分散させる能力に優れており、精密な層堆積を可能にし、半導体製造の効率を高めます。Ta-Cコーティングは化学腐食に対する保護を強化し、サセプターの寿命を延ばし、全体的な性能を向上させます。高度なCVDサセプター技術と高品質のTaC化学コーティングを組み合わせたこのサセプターは、高温環境下での精度と信頼性が求められる産業にとって重要なコンポーネントです。
半導体製造やその他のハイテク用途で使用されるかに関わらず、CVD TaCコーティングプレートサセプター現代の製造業のニーズを満たすように設計されています。セミセラ社の革新性と品質に対する高い評価に裏打ちされたこの製品は、優れた性能と長期にわたる耐久性を備えており、CVDプロセスにおいて信頼できる選択肢となっています。
TaCコーティングは、物理蒸着技術によって作製される炭化タンタル（TaC）コーティングの一種であり、以下の特徴を有しています。
1. 高硬度: TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500～3000HV に達し、優れた硬質コーティングです。
2. 耐摩耗性：TaCコーティングは非常に耐摩耗性に優れており、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。
3. 優れた耐高温性：TaCコーティングは高温環境下でも優れた性能を維持できます。
4. 優れた化学的安定性：TaCコーティングは優れた化学的安定性を持ち、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。
| 炭化钽涂層の物理特性 物理特性 物理的性質 TaC コーティング | |
| 密度/ 密度 | 14.3 (g/cm³) |
| 比放射率 比放射率 | 0.3 |
| 熱膨張胀系数 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
| 努氏の硬さ/ 硬度（HK） | 2000香港 |
| 電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5 オーム・センチメートル |
| 熱稳安定性 熱安定性 | 2500℃未満 |
| 石墨尺寸变化 グラファイトのサイズ変化 | -10～-20μm |
| 層の厚さ コーティングの厚さ | 20μm以上（標準値：35μm±10μm） |
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