そのCVD TaCコーティングvet-chinaのプレートサセプターは、化学蒸着（CVD）プロセスにおける高性能を実現するために設計されています。このサセプターは、堅牢なTaC（タンタルカーバイド）コーティング優れた熱安定性、耐薬品性、耐久性を備えており、半導体製造や高温用途に最適なソリューションです。CVD TaCコーティング優れた酸化および摩耗耐性を保証し、サセプターが過酷な環境でもその完全性と機能を維持できるようにします。
獣医-中国CVD TaCコーティングプレートサセプターは、CVDプロセス中の熱を均一に分散させる能力に優れており、精密な層堆積を保証し、半導体製造の効率を高めます。Ta-Cコーティングは化学腐食に対する保護性能を高め、サセプターの寿命を延ばし、全体的な性能を向上させます。高度なCVDサセプター技術と高品質のTaC化学コーティングを組み合わせたこのサセプターは、高温環境における精度と信頼性が求められる産業にとって重要なコンポーネントです。
半導体の製造やその他のハイテク用途に使用される場合でも、CVD TaCコーティングプレートサセプター現代の製造業のニーズに応えるよう設計されています。セミセラの革新性と品質に対する高い評価に裏打ちされたこの製品は、優れた性能と長期的な耐久性を備えており、CVDプロセスにおける信頼できる選択肢となっています。
TaC コーティングは物理蒸着技術によって製造されるタンタルカーバイド (TaC) コーティングの一種で、次のような特徴があります。
1.高硬度：TaCコーティングの硬度は高く、通常2500〜3000HVに達し、優れたハードコーティングです。
2. 耐摩耗性：TaCコーティングは耐摩耗性に優れており、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減します。
3. 優れた耐高温性: TaC コーティングは、高温環境下でも優れた性能を維持します。
4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは化学的安定性に優れ、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。
| 炭化钽涂層の物理特性 物理特性 物理的特性 タック コーティング | |
| 密度/ 密度 | 14.3 (g/cm³) |
| 比放射率 / 比放射率 | 0.3 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
| 努氏の硬さ/ 硬度（HK） | 2000香港 |
| 電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5 オーム*cm |
| 熱稳安定性 / 熱安定性 | 2500℃未満 |
| 石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズの変化 | -10～-20μm |
| 層の厚さ / コーティングの厚さ | ≥20umの標準値（35um±10um） |
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