пластинчатый суспензор, покрытый CVD TaC

Краткое описание:

Пластина-подложка VET Energy с покрытием TaC, нанесенным методом CVD, — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Она обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает ее идеальным решением для обработки кремниевых пластин.


Подробная информация о товаре

Метки товаров

ОнCVD TaC покрытиеПластинчатый подложечный элемент от компании Vet-China разработан для высокоэффективной работы в процессах химического осаждения из газовой фазы (CVD). Этот подложечный элемент отличается прочной конструкцией.Покрытие из карбида тантала (TaC).Обладая исключительной термической стабильностью, химической стойкостью и долговечностью, этот материал является идеальным решением для производства полупроводников и высокотемпературных применений.CVD-покрытие TaCобеспечивает превосходную устойчивость к окислению и износу, позволяя сусцептору сохранять свою целостность и функциональность в суровых условиях.

ветеринарные китайскиеCVD TaC покрытиеПластинчатый подложечный элемент выделяется своей способностью равномерно распределять тепло в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD), обеспечивая точное осаждение слоев и повышая эффективность производства полупроводников. Покрытие Ta-C обеспечивает дополнительную защиту от химической коррозии, продлевая срок службы подложки и улучшая общие характеристики. Благодаря сочетанию передовой технологии CVD-подложечных элементов и высококачественных химических покрытий TaC, этот элемент является ключевым компонентом для отраслей промышленности, требующих точности и надежности в условиях высоких температур.

Независимо от того, используется ли он в производстве полупроводников или в других высокотехнологичных областях,CVD TaC-покрытая пластинчатая подложкаРазработан с учетом требований современного производства. Благодаря репутации Semicera как производителя инновационных и качественных изделий, этот продукт обеспечивает превосходную производительность и долговечность, что делает его надежным выбором для процессов CVD.

Покрытие из карбида тантала (TaC) представляет собой покрытие из карбида тантала (TaC), получаемое методом физического осаждения из паровой фазы, и обладает следующими характеристиками:

1. Высокая твердость: твердость покрытия TaC высока, обычно достигает 2500-3000 HV, что делает его превосходным твердым покрытием.

2. Износостойкость: покрытие TaC обладает высокой износостойкостью, что позволяет эффективно снизить износ и повреждения механических деталей в процессе эксплуатации.

3. Хорошая термостойкость: покрытие TaC сохраняет свои превосходные характеристики даже в условиях высоких температур.

4. Хорошая химическая стабильность: покрытие из TaC обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять многим химическим реакциям, таким как воздействие кислот и щелочей.

Покрытие TaC13
Покрытие TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физические свойства ТаС покрытие

密度/ Плотность

14,3 (г/см³)

比辐射率 / Удельная излучательная способность

0.3

热膨胀系数 Коэффициент теплового расширения

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Твердость (ГК)

2000 HK

电阻 / Сопротивление

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термическая стабильность

<2500℃

石墨尺寸变化 / Изменения размера графита

-10~-20 мкм

涂层厚度 / Толщина покрытия

Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Компания Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. — высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, включая графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхностей и многое другое. Продукция широко используется в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.

Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!

生产设备

公司客户

 

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат в WhatsApp!