Токоприемник с покрытием CVD TaC

Краткое описание:

Токоприемник пластины с покрытием CVD TaC от VET Energy — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и тепловой однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для приложений обработки пластин.


Подробности продукта

Теги продукта

TheПокрытие CVD TaCPlate Susceptor от vet-china разработан для высокопроизводительных процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD). Этот приемник отличается прочнымПокрытие TaC (карбид тантала), предлагая исключительную термическую стабильность, химическую стойкость и долговечность, что делает его идеальным решением для производства полупроводников и высокотемпературных применений.CVD-покрытие TaCобеспечивает отличную устойчивость к окислению и износу, позволяя токоприемнику сохранять свою целостность и функциональность в суровых условиях.

ветеринар-китайПокрытие CVD TaCPlate Susceptor выделяется своей способностью равномерно распределять тепло во время процессов CVD, обеспечивая точное осаждение слоев и повышая эффективность изготовления полупроводников. Покрытие Ta-C обеспечивает дополнительную защиту от химической коррозии, продлевая срок службы токоприемника и улучшая общую производительность. Благодаря сочетанию передовой технологии токоприемника CVD и высококачественных химических покрытий TaC этот токоприемник является ключевым компонентом для отраслей промышленности, требующих точности и надежности в условиях высоких температур.

Независимо от того, используется ли он в производстве полупроводников или других высокотехнологичных приложениях,Токоприемник с покрытием CVD TaCразработан для удовлетворения потребностей современного производства. Опираясь на репутацию Semicera в области инноваций и качества, этот продукт обеспечивает превосходную производительность и длительный срок службы, что делает его надежным выбором для процессов химического осаждения из газовой фазы.

Покрытие TaC представляет собой разновидность покрытия из карбида тантала (TaC), полученного методом физического осаждения из паровой фазы, оно имеет следующие характеристики:

1. Высокая твердость: твердость покрытия TaC высокая, обычно может достигать 2500-3000HV, это превосходное твердое покрытие.

2. Износостойкость: покрытие TaC очень износостойкое, что может эффективно снизить износ и повреждение механических деталей во время использования.

3. Хорошая стойкость к высоким температурам: покрытие TaC также может сохранять свои превосходные характеристики в условиях высоких температур.

4. Хорошая химическая стабильность: покрытие TaC обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять многим химическим реакциям, таким как воздействие кислот и щелочей.

Покрытие TaC13
Покрытие TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физические свойства ТаС покрытие

密度/ Плотность

14,3 (г/см³)

比辐射率 / Удельная излучательная способность

0.3

热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Твёрдость (HK)

2000 гонконгских крон

电阻 / Сопротивление

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термическая стабильность

<2500℃

石墨尺寸变化 / Изменение размера графита

-10~-20мкм

涂层厚度 / Толщина покрытия

≥20 мкм типичное значение (35 мкм±10 мкм)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd — высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, материалов и технологий, охватывающих графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхности и т. д. Продукция широко используется в фотоэлектрической, полупроводниковой, новой энергетике, металлургии и т. д.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!