Susceptor de placa revestida com TaC CVD

Descrição curta:

O susceptor de placas revestidas com CVD TaC da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para proporcionar desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.


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ORevestimento CVD TaCO Susceptor de Placas da vet-china foi projetado para alto desempenho em processos de deposição química de vapor (CVD). Este susceptor apresenta uma estrutura robustaRevestimento TaC (Carbeto de Tântalo), oferecendo estabilidade térmica excepcional, resistência química e durabilidade, tornando-se uma solução ideal para a fabricação de semicondutores e aplicações de alta temperatura.Revestimento CVD TaCgarante excelente resistência à oxidação e ao desgaste, permitindo que o susceptor mantenha sua integridade e função em ambientes agressivos.

vet-china'sRevestimento CVD TaCO Plate Susceptor destaca-se por sua capacidade de distribuir o calor uniformemente durante os processos de CVD, garantindo a deposição precisa de camadas e aumentando a eficiência da fabricação de semicondutores. O revestimento Ta-C oferece proteção adicional contra corrosão química, prolongando a vida útil do susceptor e melhorando o desempenho geral. Com uma combinação de tecnologia avançada de susceptor CVD e revestimentos químicos TaC de alta qualidade, este susceptor é um componente essencial para indústrias que exigem precisão e confiabilidade em ambientes de alta temperatura.

Seja usado na produção de semicondutores ou outras aplicações de alta tecnologia, oSusceptor de placa revestida com TaC CVDfoi projetado para atender às demandas da manufatura moderna. Apoiado pela reputação de inovação e qualidade da Semicera, este produto oferece desempenho superior e longa durabilidade, tornando-se uma escolha confiável para processos de CVD.

O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode atingir 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: o revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode reduzir efetivamente o desgaste e os danos das peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: o revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: o revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

Revestimento TaC13
Revestimento TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propriedades físicas de TaC revestimento

密度/ Densidade

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emissividade específica

0,3

热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2000 HK

电阻 / Resistência

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Estabilidade térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Alterações no tamanho do grafite

-10~-20um

涂层厚度 / Espessura do revestimento

≥20um valor típico (35um±10um)

A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e venda de materiais avançados de alta qualidade, abrangendo grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e outros. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica é formada por importantes instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

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