placa receptora revestida com CVD TaC

Descrição resumida:

O susceptor de placa revestido com TaC por CVD da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.


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ORevestido com CVD TaCO suporte de placa da vet-china foi projetado para alto desempenho em processos de deposição química de vapor (CVD). Este suporte apresenta uma estrutura robusta.Revestimento de TaC (Carbeto de Tântalo)Oferecendo estabilidade térmica, resistência química e durabilidade excepcionais, o material é uma solução ideal para a fabricação de semicondutores e aplicações em altas temperaturas.Revestimento CVD TaCGarante excelente resistência à oxidação e ao desgaste, permitindo que o susceptor mantenha sua integridade e função em ambientes agressivos.

veterinário-chinaRevestido com CVD TaCO Plate Susceptor destaca-se pela sua capacidade de distribuir o calor uniformemente durante os processos de CVD, garantindo a deposição precisa de camadas e aumentando a eficiência da fabricação de semicondutores. O revestimento de Ta-C proporciona proteção adicional contra corrosão química, prolongando a vida útil do susceptor e melhorando o desempenho geral. Com a combinação de tecnologia avançada de susceptor CVD e revestimentos químicos de Ta-C de alta qualidade, este susceptor é um componente essencial para indústrias que exigem precisão e confiabilidade em ambientes de alta temperatura.

Seja utilizado na produção de semicondutores ou em outras aplicações de alta tecnologia, oSusceptor de placa revestida com CVD TaCFoi projetado para atender às demandas da fabricação moderna. Com o respaldo da reputação da Semicera em inovação e qualidade, este produto oferece desempenho superior e durabilidade de longa duração, tornando-o uma escolha confiável para processos de CVD.

O revestimento de TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, e possui as seguintes características:

1. Alta dureza: A dureza do revestimento de TaC é alta, geralmente podendo atingir 2500-3000 HV, sendo um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento de TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode reduzir efetivamente o desgaste e os danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: o revestimento de TaC mantém seu excelente desempenho mesmo em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento de TaC possui boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

Revestimento TaC13
Revestimento TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propriedades físicas de TaC revestimento

密度/ Densidade

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emissividade específica

0,3

热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2000 HK

电阻 / Resistência

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Estabilidade térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Alterações no tamanho do grafite

-10~-20um

涂层厚度 / Espessura do revestimento

≥20um valor típico (35um±10um)

A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. é uma empresa de alta tecnologia focada na produção e venda de materiais avançados de ponta, abrangendo grafite, carbeto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e outros. Os produtos são amplamente utilizados em setores como energia fotovoltaica, semicondutores, energias renováveis, metalurgia, entre outros.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.

Será um prazer recebê-lo(a) em nossa fábrica. Vamos conversar mais sobre o assunto!

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