DeCVD TaC-belagtPlate-susceptoren fra vet-china er konstruert for høy ytelse i kjemisk dampavsetning (CVD)-prosesser. Denne susceptoren har en robustTaC (tantalkarbid) belegg, som tilbyr eksepsjonell termisk stabilitet, kjemisk motstand og holdbarhet, noe som gjør den til en ideell løsning for halvlederproduksjon og høytemperaturapplikasjoner.CVD TaC-beleggsikrer utmerket motstand mot oksidasjon og slitasje, slik at susceptoren opprettholder sin integritet og funksjon i tøffe miljøer.
vet-kinesiskCVD TaC-belagtPlate Susceptor skiller seg ut for sin evne til å fordele varme jevnt under CVD-prosesser, noe som sikrer presis lagavsetning og forbedrer effektiviteten ved halvlederproduksjon. Ta-C-belegget gir ekstra beskyttelse mot kjemisk korrosjon, forlenger levetiden til susceptoren og forbedrer den generelle ytelsen. Med en kombinasjon av avansert CVD-susceptorteknologi og kjemiske TaC-belegg av høy kvalitet, er denne susceptoren en nøkkelkomponent for industrier som krever presisjon og pålitelighet i miljøer med høy temperatur.
Enten den brukes i produksjon av halvledere eller andre høyteknologiske applikasjoner,CVD TaC-belagt platemotstander utviklet for å møte kravene til moderne produksjon. Støttet av Semiceras rykte for innovasjon og kvalitet, tilbyr dette produktet overlegen ytelse og langvarig holdbarhet, noe som gjør det til et pålitelig valg for CVD-prosesser.
TaC-belegg er et slags tantalkarbid (TaC) belegg fremstilt ved fysisk dampavsetningsteknologi, det har følgende egenskaper:
1. Høy hardhet: TaC-beleggets hardhet er høy, vanligvis kan den nå 2500-3000HV, og er et utmerket hardt belegg.
2. Slitasjemotstand: TaC-belegg er svært slitesterkt, noe som effektivt kan redusere slitasje og skade på mekaniske deler under bruk.
3. God høytemperaturbestandighet: TaC-belegget kan også opprettholde sin utmerkede ytelse under høye temperaturer.
4. God kjemisk stabilitet: TaC-belegg har god kjemisk stabilitet og kan motstå mange kjemiske reaksjoner, som syrer og baser.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiske egenskaper til TaC belegg | |
| 密度/ Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spesifikk emissivitet | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansjonskoeffisient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hardhet (HK) | 2000 Hongkong |
| 电阻 / Motstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Termisk stabilitet | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Endringer i grafittstørrelse | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Beleggtykkelse | Typisk verdi ≥20 µm (35 µm ± 10 µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på produksjon og salg av avanserte materialer av høy kvalitet, materialer og teknologi som dekker grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling og så videre. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.
Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!
