Díl a sestava s půlměsícovým grafitem potaženým SiC pro epitaxi SiC

Díl a sestava s půlměsícovým grafitem potaženým karbidem siliku pro epitaxi SiC (na obrázku)

Stručný popis:

Společnost VET Energy je profesionálním výrobcem a dodavatelem klíčových komponentů epitaxních pecí z karbidu křemíku. Naše poloměsícová sestava využívá vysoce čistý grafit v kombinaci s pokročilou technologií CVD povlakování. Je navržena pro vysokoteplotní a vysoce korozivní epitaxní prostředí. Vysoce čistý grafit dodává komponentě vynikající odolnost vůči vysokým teplotám (>1600℃) a tepelnou stabilitu, což zajišťuje rovnoměrnost tepelného pole; CVD povlak vytváří na povrchu hustou ochrannou vrstvu díky technologii CVD, čímž výrazně zlepšuje antioxidační a antileptací vlastnosti a prodlužuje životnost více než třikrát.

Materiál:Vysoce čistý grafit

Zacházení:Povlak CVD-SiC nebo CVD-TaC

Přizpůsobení:K dispozici

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

Grafitový díl ve tvaru půlměsíce s povlakem SiCje klíčovou součástí používanou v procesech výroby polovodičů, zejména pro epitaxní zařízení z SiC. Jeho strukturální provedení a materiálové vlastnosti přímo určují kvalitu a efektivitu výroby epitaxních destiček.

Konstrukce reakční komory:
Půlměsícová část se skládá ze dvou částí, horní a spodní, které jsou k sobě připevněny a tvoří uzavřenou růstovou komoru, která pojme substrát z karbidu křemíku (obvykle 4H-SiC nebo 6H-SiC) a dosahuje růstu epitaxní vrstvy přesnou regulací pole proudění plynu (například směsí SiH₄, C₃H₈ a H₂).
Regulace teplotního pole:
Vysoce čistý grafitový základ v kombinaci s indukční topnou cívkou dokáže udržovat rovnoměrnost teploty komory (v rozmezí ±5 °C) při vysoké teplotě 1500–1700 °C, čímž je zajištěna konzistence tloušťky epitaxní vrstvy.
Pokyny pro proudění vzduchu:
Navržením polohy vstupu a výstupu vzduchu (například bočního vstupu a výstupu vzduchu z horizontálního tělesa pece) je laminární proudění reakčního plynu vedeno skrz povrch substrátu, čímž se snižují růstové vady způsobené turbulencí.

Základní materiál: vysoce čistý grafit
Požadavky na čistotu:obsah uhlíku ≥99,99 %, obsah popela ≤5 ppm, aby se zajistilo, že se při vysokých teplotách nebudou vysrážet žádné nečistoty, které by mohly kontaminovat epitaxní vrstvu.
Výhody výkonu:
Vysoká tepelná vodivost:Tepelná vodivost při pokojové teplotě dosahuje 150 W/(m·K), což se blíží úrovni mědi a umožňuje rychlý přenos tepla.
Nízký koeficient roztažnosti:5×10^-6/℃ (25–1000 ℃), odpovídající substrátu z karbidu křemíku (4,2×10^-6/℃), což snižuje praskání povlaku způsobené tepelným namáháním.
Přesnost zpracování:Rozměrová tolerance ±0,05 mm je dosažena CNC obráběním, aby bylo zajištěno utěsnění komory.

Diferencované aplikace CVD SiC a CVD TaC

Povlak	Proces	Srovnání	Typická aplikace
CVD-SiC	Teplota: 1000-1200℃ Tlak: 10-100 Torr	Tvrdost HV2500, tloušťka 50-100um, vynikající odolnost proti oxidaci (stabilní pod 1600℃)	Univerzální epitaxní pece vhodné pro konvenční atmosféry, jako je vodík a silan
CVD-TaC	Teplota: 1600-1800℃ Tlak: 1-10 Torr	Tvrdost HV3000, tloušťka 20-50 μm, extrémně odolná proti korozi (odolává korozivním plynům, jako je HCl, NH₃ atd.)	Vysoce korozivní prostředí (jako jsou zařízení pro epitaxi a leptání GaN) nebo speciální procesy vyžadující ultravysoké teploty 2600 °C

Společnost VET Energy je profesionální výrobce zaměřený na výzkum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálů, jako je grafit, karbid křemíku a křemen, a také na zpracování materiálů, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.

Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Výhody VET Energy zahrnují:
• Vlastní továrna a profesionální laboratoř;
• Špičková úroveň čistoty a kvality v oboru;
• Konkurenceschopná cena a rychlé dodání;
• Mnohočetná průmyslová partnerství po celém světě;

Vítáme vás kdykoli k návštěvě naší továrny a laboratoře!