
Kuartzozko oblea-ontziaerdieroaleen fabrikazioan, zelula fotovoltaikoen ekoizpenean eta material aurreratuen ikerketan eta garapenean funtsezko tresna da, tenperatura altuko prozesuetan obleen transferentzia eta kokapen egonkorrerako diseinatua. Produktu hau silize urtu ultra-purutasunez (SiO2) egina dago, tenperatura-erresistentzia bikaina, egonkortasun kimikoa eta metalen kutsadura ultra-baxuko ezaugarriak ditu, difusio-labeetarako, oxidazio-labeetarako, PECVD/LPCVDrako eta beste ekipamendu batzuetarako egokia, eta oso erabilia da obleen estaldura, ioien inplantazioa, tenperatura altuko errekuntza eta beste nukleo-prozesu batzuetan.
VET Energy-ren kuartzozko ontziaren abantaila nagusiak:
- Ultra-purutasun handiko materiala
Purutasuna ≥99.99%: Ezpurutasun edukia (Na, K, Fe, etab.) <5ppm, oblearen kutsadura saihestuz eta txiparen errendimendua bermatuz.
Prezipitazio eta adsorzio txikia: gainazala super-leundua dago (Ra≤0.4μm) partikulen atxikimendua eta gas hondakinak murrizteko. - Tenperatura altuko egonkortasuna
Tenperatura muga: Epe luzeko lan-tenperatura 1100 ℃-koa, epe laburreko gailurra 1300 ℃-koa, deformaziorik ez, kristal-prezipitaziorik ez.
Hedapen termikoko koefiziente baxua (5.5x10-7/℃), kolpe termikoen erresistentzia bikaina, tenperatura igoera eta jaitsiera azkarreko prozesuetara egokitzeko modukoa (adibidez, RTP erreketa azkarra). - Egitura-diseinu zehatza
Zirrikituaren zehaztasuna ± 0,1 mm: 2"-tik 12"-ra bitarteko obleak bat etortzea, tartearen uniformetasun-errorea <0,05 mm, obleak desplazamendurik gabe bermatuz.
Karga-ahalmen handia: Gehienez 50 obleako karga (12 hazbeteko obleten arabera) ontzi bakarrean, oblea meheen (≥100um) transferentzia egonkorra ahalbidetuz. - Inertzia kimikoa
Korrosioarekiko erresistentzia: Azidoarekiko (HF izan ezik), alkaliarekiko eta disolbatzaile organikoekiko korrosioarekiko erresistentea, CMP garbiketa prozesuarekin bateragarria.
Gasarekiko estankotasun bikaina: Ihes-tasa <5x10-10 Pa.m3/s, hutsean eta babes-gas inguruneetarako egokia. - Bizitza luzea eta mantentze-lanak
Bizi-itxaropena ≥ 5000 ziklo (lan-baldintza normalak), gainazala behin eta berriz garbitu eta erabili daiteke, kostu orokorra murriztuz.
Diseinu modularra: ordezkapen partziala onartzen du (adibidez, itsasontzi hortz bakarra), geldialdi denbora murriztuz.
Bezeroaren beharren arabera, gainazal gardenak eta izoztuak eskaintzen ditugu:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd goi-mailako material aurreratuen ekoizpenean eta salmentan zentratzen den goi-mailako teknologiako enpresa bat da, grafitoa, silizio karburoa, zeramika, gainazaleko tratamendua bezalako SiC estaldura, TaC estaldura, beira-karbono estaldura, karbono pirolitiko estaldura, etab. bezalako materialak eta teknologiak barne. Produktu hauek oso erabiliak dira fotovoltaikoan, erdieroaleetan, energia berrietan, metalurgian, etab.
Gure talde teknikoa bertako ikerketa-erakunde nagusietatik dator, eta hainbat teknologia patentatu garatu ditu produktuen errendimendua eta kalitatea bermatzeko, eta bezeroei material-irtenbide profesionalak ere eskain diezazkieke.
-
Silizio karburo porotsuko SiC zeramika
-
Erdieroaleen ekipamendu kontsumigarriak alumina zer...
-
Tenperatura altuko eta higaduraren aurkako alumina zer...
-
Aurreratutako Zeramikazko Hutseko Chuck Porotsua
-
Alumina zeramikazko erdieroaleen elektrodo mahuka
-
Zeramikazko oblea berogailua AlN alumina berogailu elementua








