Silizio karburo porotsuko SiC zeramika

Silizio karburo porotsuko SiC zeramika
SiC zeramika porotsuaerrendimendu handiko zeramikazko materiala da, poro-egitura kontrolagarria duena, purutasun ultra-handia, tenperatura altuko erresistentzia, talka termikoarekiko erresistentzia eta inertzia kimikoa dituena. Oso erabilia da arlo aurreratuetan, hala nola erdieroaleen fabrikazioan, siliziozko oblea fotovoltaikoen ekoizpenean eta hirugarren belaunaldiko erdieroaleen (SiC/GaN) epitaxial prozesuetan.

VET Energy-k SiC hauts purua erabiltzen du sinterizazio-teknologia aurreratuarekin konbinatuta poroen tamainaren kontrol zehatza lortzeko (0,05–100 μm), iragazketa, difusio, katalisi eta kudeaketa termikorako aplikazio-eskakizun ugari betez. Aukera aproposa da erdieroaleen eta fotovoltaikoen industrientzat errendimendu-tasak hobetzeko, kutsadura murrizteko eta prozesuak optimizatzeko.

Gure abantaila nagusiak
✅ Ultra-purutasun handikoa:
metalezko ezpurutasunak <0.5ppm, SEMI estandarren arabera, oblearen kutsadura saihestuz;
✅ Tenperatura altuko erresistentzia (1600 ℃-tan etengabeko erabilera):
egokia tenperatura altuko inguruneetarako, hala nola CVD, difusio-labeak eta silizio-urtzea;
✅ Kolpe termikoarekiko erresistentzia handia:
tenperatura aldaketa azkarretara egokitzen da, ekipoen geldialdi denbora murriztuz
✅ Inertzi kimikoa (azido, alkali eta urtutako metalen aurrean erresistentea):
HF eta Cl₂ bezalako gas korrosiboen aurrean erresistentea, metalezko iragazkien iraupena baino askoz handiagoa duena;
✅ Kontrolatutako poro-egitura (0,05-100um):
iragazketa mailakatua onartzen du, fluidoen fluxuaren eraginkortasuna hobetuz;

Aplikazio tipikoa
1. Erdieroaleen fabrikazioa: CVD/ALD gasen iragazketa, difusio-labeen fluxu-banaketa plakak, ihes-gasen grabatze-tratamendua, etab.
2. Industria fotovoltaikoa: siliziozko materialaren urtze-iragazketa, PERC zelulen estaldura-maskarak, etab.
3. Hirugarren Belaunaldiko Erdieroaleak (SiC/GaN): Oblea epitaxial aurretratamendua.