قایق ویفر گرافیتی VET Energy یک ماده مصرفی با کیفیت بالا است که برای فرآیندهای رسوبگذاری در صنایع نیمههادی، فتوولتائیک و سایر صنایع طراحی شده است. این محصول که از مواد گرافیتی با خلوص بالا و چگالی بالا ساخته شده است، دارای مقاومت عالی در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و سایر مشخصات است و میتواند یک بستر حامل پایدار برای فرآیند رسوبگذاری فراهم کند تا یکنواختی و صافی رسوب لایه نازک را تضمین کند.
قایق گرافیتی PECVD از شرکت VET Energy با گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا ساخته شده است که دارای تخلخل زیر 15٪ و زبری سطح Ra≤1.6μm است. پایداری ابعادی و رسانایی حرارتی برتر، رسوب یکنواخت فیلم و افزایش راندمان سلول را تضمین میکند.
مواد گرافیتی از SGL:
| پارامتر معمول: R6510 | |||
| فهرست | استاندارد آزمون | ارزش | واحد |
| اندازه متوسط دانه | ایزو ۱۳۳۲۰ | ۱۰ | میکرومتر |
| چگالی ظاهری | استاندارد DIN IEC 60413/204 | ۱.۸۳ | گرم بر سانتیمتر مربع3 |
| تخلخل باز | DIN66133 | ۱۰ | % |
| اندازه منافذ متوسط | DIN66133 | ۱.۸ | میکرومتر |
| نفوذپذیری | دین ۵۱۹۳۵ | ۰.۰۶ | سانتیمتر مربع بر ثانیه |
| سختی راکول HR5/100 | استاندارد DIN IEC60413/303 | ۹۰ | HR |
| مقاومت الکتریکی ویژه | استاندارد DIN IEC 60413/402 | ۱۳ | میکرو اهم |
| استحکام خمشی | استاندارد DIN IEC 60413/501 | 60 | مگاپاسکال |
| مقاومت فشاری | دین ۵۱۹۱۰ | ۱۳۰ | مگاپاسکال |
| مدول یانگ | دین ۵۱۹۱۵ | ۱۱.۵×۱۰³ | مگاپاسکال |
| انبساط حرارتی (20-200℃) | دین ۵۱۹۰۹ | ۴.۲X۱۰-6 | K-1 |
| رسانایی حرارتی (20℃) | دین ۵۱۹۰۸ | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
این محصول به طور خاص برای تولید سلولهای خورشیدی با راندمان بالا طراحی شده است و از پردازش ویفرهای بزرگ G12 پشتیبانی میکند. طراحی بهینه حامل، توان عملیاتی را به طور قابل توجهی افزایش میدهد و نرخ بازده بالاتر و هزینههای تولید پایینتری را ممکن میسازد.
| مورد | نوع | حامل ویفر شماره |
| قایق گرافیتی PEVCD - سری ۱۵۶ | قایق گرافیتی ۱۵۶-۱۳ | ۱۴۴ |
| قایق گرافیتی ۱۵۶-۱۹ | ۲۱۶ | |
| قایق گرافیتی ۱۵۶-۲۱ | ۲۴۰ | |
| قایق گرافیتی ۱۵۶-۲۳ | ۳۰۸ | |
| قایق گرافیتی PEVCD - سری 125 | قایق گرافیتی ۱۲۵-۱۵ | ۱۹۶ |
| قایق گرافیتی ۱۲۵-۱۹ | ۲۵۲ | |
| قایق گرافیتی ۱۲۵-۲۱ | ۲۸۰ |
