لوله فرآیند نفوذ SiC کاربید سیلیکون
لولههای کوره نفوذی کاربید سیلیکوناجزای کلیدی مورد استفاده در نیمههادیها، عملیات حرارتی دمای بالا و فرآیندهای آمادهسازی مواد هستند. آنها در درجه اول به عنوان محفظه پشتیبانی و واکنش برای کورههای انتشار یا کورههای اکسیداسیون استفاده میشوند و فرآیندهایی مانند واکنش اتمسفری، اکسیداسیون، انتشار و آنیل را در محیطهای با دمای بالا و بسیار خورنده انجام میدهند.
شرکت VET Energy در طراحی و ساخت لولههای کاربید سیلیکون (SiC) برای کاربردهای نیمههادی در دمای بالا و خورنده تخصص دارد. با امکانات تولید پیشرفته و فناوریهای اختصاصی CVD و تفجوشی، لولههایی را ارائه میدهیم که از پایداری حرارتی عالی، مقاومت در برابر اکسیداسیون و عمر طولانی برخوردارند.
مزایای تیوبهای SiC شرکت VET Energy:
خلوص فوق العاده بالا:با استفاده از یک فرآیند پخت ویژه، ناخالصیهای فلزی مضر (مانند Na، K، Fe و Al) تا سطح ppb کاهش مییابند.
انتشار گاز بسیار کم:در محیطهای با دمای بالا و خلاء بالا، خروج گاز بسیار کمتر از کوارتز است که به طور مؤثر از آلودگی محفظه فرآیند جلوگیری میکند، کیفیت ذاتی لایههای نازک رسوبشده یا رشد کریستال را تضمین میکند و بازده محصول را به طور قابل توجهی بهبود میبخشد (به ویژه برای اپیتاکسی SiC، رشد GaN و تولید سیلیکون تک کریستالی پیشرفته بسیار مهم است).
پایداری در دمای بالا:دمای عملیاتی طولانی مدت بیش از 1600 درجه سانتیگراد (بسیار بالاتر از نقطه نرم شدن کوارتز، تقریباً 1200 درجه سانتیگراد) امکانپذیر است، و دماهای کوتاه مدت میتوانند حتی دماهای بالاتر (مانند 1800 درجه سانتیگراد) را نیز تحمل کنند و الزامات دمای فوق العاده بالای نیمه هادیهای نسل سوم و فرآیندهای رشد کریستال را برآورده سازند.
مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی:مقاومت بسیار بالا در برابر گازهای بسیار خورنده مانند HCl، Cl₂ و HF و همچنین سیلیکون مذاب و بخار فلز، حفظ یکپارچگی ساختاری و سطح نهایی در اتمسفرهای پیچیده مانند CVD، انتشار، اکسیداسیون و اچینگ، با طول عمری بسیار بیشتر از لولههای کوره کوارتز.
رسانایی حرارتی عالی:رسانایی حرارتی آن دهها برابر بیشتر از کوارتز است که توزیع دمای کوره را سریعتر و یکنواختتر کرده و یکنواختی و تکرارپذیری فرآیند را بهبود میبخشد. این امر به ویژه برای پردازش چند ویفری با مساحت بزرگ (به عنوان مثال، کورههای انتشار فتوولتائیک و راکتورهای MOCVD) بسیار مهم است.
پایداری ابعادی:ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین آن تضمین میکند که لوله کوره حتی در معرض نوسانات مکرر و شدید دما، هندسه بسیار پایداری را حفظ کند و از خرابی آببندی یا تمرکز تنش ناشی از انبساط و انقباض حرارتی جلوگیری کند.
دوام:سختی و استحکام بالای آن به لوله کوره خواص مکانیکی عالی میدهد و آن را در برابر تغییر شکل و آسیب مقاوم میکند.
کاربرد معمول:
تولید نیمههادی:رشد اپیتاکسیال SiC/GaN (MOCVD، HTCVD)، اپیتاکسی مبتنی بر سیلیکون، انتشار/اکسیداسیون/بازپخت در دمای بالا (RTP) و LPCVD.
صنعت فتوولتائیک:نفوذ در دمای بالا (نفوذ فسفر/بور) و آنیل کردن سلولهای خورشیدی سیلیکونی بلوری.
| 重结晶碳化硅物理特性 خواص فیزیکی کاربید سیلیکون تبلور مجدد یافته | |
| 性质 / املاک | 典型数值 / مقدار معمول |
| 使用温度/ دمای کار (°C) | ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد (با اکسیژن)، ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد (محیط احیاکننده) |
| سی سی含量/ محتوای SiC | > ۹۹.۹۶٪ |
| 自由Si含量/ محتوای رایگان Si | <0.1٪ |
| 体积密度/چگالی ظاهری | ۲.۶۰-۲.۷۰ گرم بر سانتیمتر مکعب3 |
| 气孔率/ تخلخل ظاهری | کمتر از ۱۶٪ |
| 抗压强度/ مقاومت فشاری | > 600مگاپاسکال |
| 常温抗弯强度/استحکام خمشی سرد | ۸۰-۹۰ مگاپاسکال (۲۰ درجه سانتیگراد) |
| 高温抗弯强度استحکام خمشی گرم | ۹۰-۱۰۰ مگاپاسکال (۱۴۰۰ درجه سانتیگراد) |
| 热膨胀系数/ انبساط حرارتی @ 1500°C | ۴.۷۰ ۱۰-6/°C |
| 导热系数/رسانایی حرارتی در دمای ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد | ۲۳وات/متر • کلوین |
| 杨氏模量/ مدول الاستیک | ۲۴۰ گیگا پاسکال |
| 抗热震性/ مقاومت در برابر شوک حرارتی | فوقالعاده خوب |
شرکت VET Energy یک تولیدکننده حرفهای است که بر تحقیق و توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا مانند گرافیت، کاربید سیلیکون، کوارتز و همچنین عملیات حرارتی مواد مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره تمرکز دارد. این محصولات به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمههادیها، انرژیهای نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار میگیرند.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و میتواند راهحلهای حرفهایتری برای شما ارائه دهد.
مزایای انرژی VET شامل موارد زیر است:
• کارخانه و آزمایشگاه تخصصی اختصاصی؛
• سطوح خلوص و کیفیت پیشرو در صنعت؛
• قیمت رقابتی و زمان تحویل سریع؛
• مشارکتهای صنعتی متعدد در سراسر جهان؛
ما از شما استقبال میکنیم تا در هر زمانی از کارخانه و آزمایشگاه ما بازدید کنید!
