SiC cruaidh CVD àrd-ghlanachd ann am mòr-chuid

Ìomhaigh Sònraichte ann am Bulk SiC Solid CVD Àrd-ghlanachd

Tuairisgeul Goirid:

’S e dòigh chumanta airson stuthan criostail singilte SiC àrd-inbhe ullachadh a th’ ann am fàs luath criostalan singilte SiC le bhith a’ cleachdadh stòran mòra CVD-SiC (Chemical Vapor Deposition – SiC). Faodar na criostalan singilte seo a chleachdadh ann an grunn thagraidhean, nam measg innealan dealanach àrd-chumhachd, innealan optoelectronic, mothachairean, agus innealan leth-chonnsachaidh.

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh Toraidh

Tagaichean Bathar

Bidh VET Energy a’ cleachdadh purrachd fìor àrdcarbaid sileacon (SiC)air a chruthachadh le tasgadh ceò ceimigeach(CVD)mar an stuth tùsail airson fàscriostalan SiCle còmhdhail smùid corporra (PVT). Ann am PVT, thèid an stuth tùsail a luchdachadh a-steach docrùiseagagus air a chur fo-shìnte air criostal sìl.

Tha feum air stòr àrd-ghlanachd gus càileachd àrd a dhèanamhcriostalan SiC.

Tha VET Energy gu sònraichte a’ toirt seachad SiC mòr-ghràineach airson PVT leis gu bheil dùmhlachd nas àirde aige na stuth beag-ghràineach a chaidh a chruthachadh le losgadh fèin-ghluasadach gasaichean anns a bheil Si agus C. Eu-coltach ri sintering ìre-chruaidh no ath-bhualadh Si agus C, chan eil feum aige air fùirneis sintering sònraichte no ceum sintering a bheir ùine ann am fùirneis fàis. Tha ìre falmhachaidh cha mhòr seasmhach aig an stuth mòr-ghràineach seo, a leasaicheas cunbhalachd ruith gu ruith.

Ro-ràdh:
1. Ullaich stòr bloca CVD-SiC: An toiseach, feumaidh tu stòr bloca CVD-SiC àrd-inbhe ullachadh, a bhios mar as trice de ghlanachd àrd agus dùmhlachd àrd. Faodar seo ullachadh leis an dòigh tasgadh smùid ceimigeach (CVD) fo chumhachan ath-bhualadh iomchaidh.

2. Ullachadh fo-strat: Tagh fo-strat iomchaidh mar an fo-strat airson fàs criostail singilte SiC. Am measg nan stuthan fo-strat a thathas a’ cleachdadh gu cumanta tha carbide silicon, nitride silicon, msaa., a tha a’ freagairt gu math ris a’ chriostal singilte SiC a tha a’ fàs.

3. Teasachadh agus fo-shruthadh: Cuir stòr bloca CVD-SiC agus an t-substrate ann an àmhainn àrd-theodhachd agus thoir seachad suidheachaidhean fo-shruthadh iomchaidh. Tha fo-shruthadh a’ ciallachadh, aig teòthachd àrd, gu bheil stòr a’ bhloca ag atharrachadh gu dìreach bho staid chruaidh gu staid smùid, agus an uairsin a’ dùmhlachadh a-rithist air uachdar an t-substrate gus criostal singilte a chruthachadh.

4. Smachd teòthachd: Rè a’ phròiseis sublimation, feumar smachd mionaideach a chumail air an ìre teòthachd agus air sgaoileadh na teòthachd gus sublimation stòr a’ bhloca agus fàs criostalan singilte adhartachadh. Faodaidh smachd teòthachd iomchaidh càileachd criostail agus ìre fàis air leth a choileanadh.

5. Smachd àile: Rè a’ phròiseis sublimation, feumar smachd a chumail air an àile ath-bhualaidh cuideachd. Mar as trice, bithear a’ cleachdadh gas neo-ghnìomhach àrd-ghlanachd (leithid argon) mar ghas giùlain gus cuideam agus purrachd iomchaidh a chumail suas agus casg a chuir air truailleadh le neo-chunbhalachdan.

6. Fàs criostail singilte: Bidh an stòr bloc CVD-SiC a’ dol tro atharrachadh ìre smùide rè a’ phròiseas sublimation agus a’ dùmhlachadh a-rithist air uachdar an t-substrate gus structar criostail singilte a chruthachadh. Faodar fàs luath criostalan singilte SiC a choileanadh tro chumhachan sublimation iomchaidh agus smachd air caisead teòthachd.