Yakachena Kwazvo CVD Yakasimba SiC Bulk

Tsananguro pfupi:

Kukura nekukurumidza kwemakristaro eSiC single uchishandisa maCVD-SiC bulk sources (Chemical Vapor Deposition - SiC) inzira yakajairika yekugadzira zvinhu zveSiC single crystal zvemhando yepamusoro. Makristaro aya anogona kushandiswa mumhando dzakasiyana-siyana, kusanganisira zvishandiso zvemagetsi zvine simba guru, zvishandiso zve optoelectronic, masensa, uye zvishandiso zve semiconductor.


Ruzivo rweChigadzirwa

Matagi eChigadzirwa

VET Energy inoshandisa kuchena kwakanyanyakabhidhi yesilicon (SiC)yakagadzirwa nemakemikari evapor deposition(CVD)senzvimbo yekurimaMakristaro eSiCnekufambisa utsi hwemuviri (PVT). MuPVT, zvinhu zvinobva pano zvinoiswa muchibooresouye yakanyungudutswa pakristaro yembeu.

Chinhu chakachena kwazvo chinodiwa kuti ugadzire mhando yepamusoroMakristaro eSiC.

VET Energy inonyanya kupa SiC yezvikamu zvikuru yePVT nekuti ine huwandu hwakanyanya kupfuura zvinhu zvidiki zvinoumbwa nekupiswa kwegasi rine Si neC. Kusiyana nekupiswa kwezvikamu zvakasimba kana kuita kweSi neC, haidi vira rayo rekupisa kana danho rinotora nguva refu muvira rekukura. Iyi midziyo yezvikamu zvikuru ine mwero wekubuda kwemvura, izvo zvinovandudza kufanana kwekufamba kusvika kumhanya.

Nhanganyaya:
1. Gadzirira sosi yeCVD-SiC block: Kutanga, unofanirwa kugadzirira sosi yeCVD-SiC block yemhando yepamusoro, iyo inowanzova yakachena uye ine density yakakura. Izvi zvinogona kugadzirwa nenzira ye chemical vapor deposition (CVD) pasi pemamiriro akakodzera ekuita.

2. Kugadzirira substrate: Sarudza substrate yakakodzera se substrate yekukura kweSiC single crystal. Zvinhu zvinoshandiswa zvakanyanya mu substrate zvinosanganisira silicon carbide, silicon nitride, nezvimwewo, izvo zvinoenderana zvakanaka neSiC single crystal iri kukura.

3. Kupisa uye kuisa pasi: Isa CVD-SiC block source ne substrate muchoto chinodziya zvakanyanya uye wopa mamiriro akakodzera ekuisa pasi. Kuisa pasi zvinoreva kuti pakupisa kwakanyanya, source ye block inoshanduka zvakananga kubva pakuva yakasimba kuenda kuhutsi, uye yozodzika zvakare pamusoro pe substrate kuti igadzire kristaro imwe chete.

4. Kudzora tembiricha: Munguva yekuisa pasi pemvura, kuyerera kwetembiricha uye kupararira kwetembiricha zvinofanirwa kudzorwa nemazvo kuti zvikurudzire kuisa pasi pemvura kubva panzvimbo inobuda uye kukura kwemakristaro madiki. Kudzora tembiricha kwakakodzera kunogona kuita kuti pave nemhando yepamusoro yekristaro uye mwero wekukura kwayo.

5. Kudzora mamiriro ekunze: Munguva yekuisa pasi pemvura, mamiriro ekunze ekuita zvinhu anofanirawo kudzorwa. Gasi risina kuchena zvakanyanya (rakadai seargon) rinowanzo shandiswa segasi rinotakura zvinhu kuchengetedza kumanikidzwa kwakakodzera uye kuchena uye kudzivirira kusvibiswa netsvina.

6. Kukura kwekristaro imwe chete: CVD-SiC block source inoshanduka kuita vapor phase panguva ye sublimation process uye inodzoka zvakare pamusoro pe substrate kuti igadzire chimiro chimwe chete chekristaro. Kukura nekukurumidza kweSiC single crystals kunogona kuwanikwa kuburikidza nemamiriro akakodzera e sublimation uye kudzora tembiricha.

Mabhuroko eCVD SiC (2)

Tinokugamuchirai neushamwari kuti mushanyire fekitori yedu, ngatikurukurei zvakawanda!

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Yakapfuura:
  • Zvinotevera:

  • Kutaurirana paWhatsApp paIndaneti!