Bulc SiC Soladach CVD Ard-Íonachta

Cur Síos Achomair:

Is modh coitianta é fás tapa criostail aonair SiC ag baint úsáide as foinsí mórchóir CVD-SiC (Chemical Vape Deposition – SiC) chun ábhair chriostail aonair SiC ardchaighdeáin a ullmhú. Is féidir na criostail aonair seo a úsáid i réimse feidhmeanna, lena n-áirítear gléasanna leictreonacha ardchumhachta, gléasanna optúlaictreonacha, braiteoirí, agus gléasanna leathsheoltóra.

Seol ríomhphost chugainn Íoslódáil mar PDF

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Úsáideann VET Energy íonacht thar a bheith ardcarbaid sileacain (SiC)foirmithe trí thaisceadh gaile ceimiceach(CVD)mar ábhar foinse le haghaidh fáscriostail SiCtrí iompar fisiceach gaile (PVT). I PVT, luchtaítear an t-ábhar foinse isteach ibreogánagus sublimated ar chriostal síl.

Tá foinse ardíonachta ag teastáil chun ardcháilíocht a mhonarúcriostail SiC.

Speisialtóireacht VET Energy is ea SiC mórcháithníní a sholáthar le haghaidh PVT toisc go bhfuil dlús níos airde aige ná ábhar beagcháithníní a fhoirmítear trí dhó spontáineach gás ina bhfuil Si agus C. Murab ionann agus sintéiriú céim sholadaigh nó imoibriú Si agus C, níl foirnéis shintéirithe tiomnaithe ná céim shintéirithe a thógann go leor ama i bhfoirnéis fáis ag teastáil uaidh. Tá ráta galúcháin beagnach tairiseach ag an ábhar mórcháithníní seo, rud a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht ó rith go rith.

Réamhrá:
1. Ullmhaigh foinse bhloc CVD-SiC: Ar dtús, ní mór duit foinse bhloc CVD-SiC ardchaighdeáin a ullmhú, a bhfuil íonacht ard agus dlús ard aici de ghnáth. Is féidir é seo a ullmhú tríd an modh taiscthe gaile ceimicigh (CVD) faoi choinníollacha imoibrithe cuí.

2. Ullmhú foshraithe: Roghnaigh foshraith oiriúnach mar an foshraith le haghaidh fás criostail aonair SiC. I measc na n-ábhar foshraithe a úsáidtear go coitianta tá cairbíd sileacain, níotráit sileacain, srl., a bhfuil dea-mheaitseáil acu leis an gcriostal aonair SiC atá ag fás.

3. Téamh agus sublimation: Cuir an fhoinse bhloc CVD-SiC agus an tsubstráit i bhfoirnéis ardteochta agus cuir coinníollacha sublimation cuí ar fáil. Ciallaíonn sublimation go n-athraíonn an fhoinse bhloc go díreach ó staid sholadach go staid gaile ag teocht ard, agus ansin ath-chomhdhlúthaíonn sé ar dhromchla an tsubstráit chun criostal aonair a fhoirmiú.

4. Rialú teochta: Le linn an phróisis sublimation, ní mór an grádán teochta agus an dáileadh teochta a rialú go beacht chun sublimation an fhoinse bhloc agus fás criostail aonair a chur chun cinn. Is féidir le rialú teochta cuí cáilíocht criostail agus ráta fáis idéalach a bhaint amach.

5. Rialú atmaisféir: Le linn an phróisis sublimation, ní mór an t-atmaisféar imoibrithe a rialú freisin. De ghnáth, úsáidtear gás támh ard-íonachta (amhail argón) mar ghás iompróra chun brú agus íonacht chuí a choinneáil agus chun éilliú le neamhíonachtaí a chosc.

6. Fás criostail aonair: Téann foinse bhloc CVD-SiC faoi aistriú céime gaile le linn an phróisis sublimation agus ath-chomhdhlúthaíonn sé ar dhromchla an tsubstráit chun struchtúr criostail aonair a fhoirmiú. Is féidir fás tapa criostail aonair SiC a bhaint amach trí choinníollacha sublimation cuí agus rialú grádáin teochta.