VET એનર્જી અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતાનો ઉપયોગ કરે છેસિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC)રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપ દ્વારા રચાય છે(સીવીડી)ખેતી માટે સ્ત્રોત સામગ્રી તરીકેSiC સ્ફટિકોભૌતિક વરાળ પરિવહન (PVT) દ્વારા. PVT માં, સ્રોત સામગ્રીને a માં લોડ કરવામાં આવે છેક્રુસિબલઅને બીજ સ્ફટિક પર સબલિમિટેડ.
ઉચ્ચ ગુણવત્તાવાળા ઉત્પાદન માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા સ્ત્રોતની જરૂર પડે છેSiC સ્ફટિકો.
VET એનર્જી PVT માટે મોટા કણોવાળા SiC પૂરા પાડવામાં નિષ્ણાત છે કારણ કે તેમાં Si અને C ધરાવતા વાયુઓના સ્વયંભૂ દહન દ્વારા રચાયેલા નાના કણોવાળા પદાર્થો કરતાં વધુ ઘનતા છે. ઘન-તબક્કાના સિન્ટરિંગ અથવા Si અને C ની પ્રતિક્રિયાથી વિપરીત, તેને સમર્પિત સિન્ટરિંગ ભઠ્ઠી અથવા વૃદ્ધિ ભઠ્ઠીમાં સમય માંગી લેતી સિન્ટરિંગ પગલાની જરૂર નથી. આ મોટા કણોવાળા પદાર્થોમાં લગભગ સતત બાષ્પીભવન દર હોય છે, જે રન-ટુ-રન એકરૂપતાને સુધારે છે.
પરિચય:
1. CVD-SiC બ્લોક સ્ત્રોત તૈયાર કરો: સૌપ્રથમ, તમારે ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા CVD-SiC બ્લોક સ્ત્રોત તૈયાર કરવાની જરૂર છે, જે સામાન્ય રીતે ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ ઘનતા ધરાવતો હોય છે. આ યોગ્ય પ્રતિક્રિયા પરિસ્થિતિઓ હેઠળ રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપણ (CVD) પદ્ધતિ દ્વારા તૈયાર કરી શકાય છે.
2. સબસ્ટ્રેટ તૈયારી: SiC સિંગલ ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ માટે સબસ્ટ્રેટ તરીકે યોગ્ય સબસ્ટ્રેટ પસંદ કરો. સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતી સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીમાં સિલિકોન કાર્બાઇડ, સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે, જે વધતા SiC સિંગલ ક્રિસ્ટલ સાથે સારો મેળ ખાય છે.
3. ગરમી અને ઉત્કર્ષ: CVD-SiC બ્લોક સ્ત્રોત અને સબસ્ટ્રેટને ઉચ્ચ-તાપમાન ભઠ્ઠીમાં મૂકો અને યોગ્ય ઉત્કર્ષ સ્થિતિઓ પ્રદાન કરો. ઉત્કર્ષનો અર્થ એ છે કે ઉચ્ચ તાપમાને, બ્લોક સ્ત્રોત સીધા ઘનમાંથી બાષ્પ સ્થિતિમાં બદલાય છે, અને પછી સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર ફરીથી ઘનીકરણ થાય છે અને એક સ્ફટિક બનાવે છે.
4. તાપમાન નિયંત્રણ: ઉત્કર્ષ પ્રક્રિયા દરમિયાન, બ્લોક સ્ત્રોતના ઉત્કર્ષ અને સિંગલ સ્ફટિકોના વિકાસને પ્રોત્સાહન આપવા માટે તાપમાન ઢાળ અને તાપમાન વિતરણને ચોક્કસ રીતે નિયંત્રિત કરવાની જરૂર છે. યોગ્ય તાપમાન નિયંત્રણ આદર્શ સ્ફટિક ગુણવત્તા અને વૃદ્ધિ દર પ્રાપ્ત કરી શકે છે.
5. વાતાવરણ નિયંત્રણ: ઉત્કર્ષ પ્રક્રિયા દરમિયાન, પ્રતિક્રિયા વાતાવરણને પણ નિયંત્રિત કરવાની જરૂર છે. ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા નિષ્ક્રિય ગેસ (જેમ કે આર્ગોન) નો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે યોગ્ય દબાણ અને શુદ્ધતા જાળવવા અને અશુદ્ધિઓ દ્વારા દૂષણ અટકાવવા માટે વાહક ગેસ તરીકે થાય છે.
6. સિંગલ ક્રિસ્ટલ ગ્રોથ: CVD-SiC બ્લોક સ્ત્રોત સબલાઈમેશન પ્રક્રિયા દરમિયાન બાષ્પ તબક્કાના સંક્રમણમાંથી પસાર થાય છે અને સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર ફરીથી ઘટ્ટ થઈને સિંગલ ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર બનાવે છે. યોગ્ય સબલાઈમેશન પરિસ્થિતિઓ અને તાપમાન ગ્રેડિયન્ટ નિયંત્રણ દ્વારા SiC સિંગલ ક્રિસ્ટલ્સનો ઝડપી વિકાસ પ્રાપ્ત કરી શકાય છે.
અમારા ફેક્ટરીની મુલાકાત લેવા માટે આપનું હાર્દિક સ્વાગત છે, ચાલો વધુ ચર્ચા કરીએ!
