VET Energy örän ýokary arassalygy ulanýarkremniý karbidi (SiC)himiki bug çökündisi bilen emele gelen(Ýürek-damar keselleri)ösdürmek üçin çeşme material hökmündeSiC kristallaryfiziki bug daşamagy (PVT) arkaly. PVT-de çeşme material a ýüklenýärkrestwe tohum kristalynyň üstüne sublimasiýa edildi.
Ýokary hilli önüm öndürmek üçin ýokary arassalyk çeşmesi gerekSiC kristallary.
“VET Energy” kompaniýasy PVT üçin uly bölejikli SiC üpjün etmekde ýöriteleşýär, sebäbi onuň dykyzlygy Si we C saklaýan gazlaryň öz-özünden ýanmagy netijesinde emele gelen kiçi bölejikli materialdan has ýokarydyr. Gaty fazaly sinterlemeden ýa-da Si we C reaksiýasyndan tapawutlylykda, ol ýörite sinterleme peçini ýa-da ösüş peçinde wagt talap edýän sinterleme ädimini talap etmeýär. Bu uly bölejikli material diýen ýaly üýtgewsiz bugarma tizligine eýedir, bu bolsa işden işiň birmeňzeşligini gowulandyrýar.
Giriş:
1. CVD-SiC blok çeşmesini taýýarlaň: Ilki bilen, adatça ýokary arassalyk we ýokary dykyzlyk bolan ýokary hilli CVD-SiC blok çeşmesini taýýarlamaly. Muny degişli reaksiýa şertlerinde himiki bug çökündisi (CVD) usuly bilen taýýarlap bolýar.
2. Substraty taýýarlamak: SiC monokristalynyň ösüşi üçin substrat hökmünde degişli substraty saýlaň. Köp ulanylýan substrat materiallaryna ösýän SiC monokristalyna gowy gabat gelýän kremniý karbidi, kremniý nitridi we ş.m. girýär.
3. Gyzdyrmak we sublimasiýa: CVD-SiC blok çeşmesini we substraty ýokary temperaturaly peje goýuň we degişli sublimasiýa şertlerini üpjün ediň. Sublimasiýa ýokary temperaturada blok çeşmesiniň gönüden-göni gaty ýagdaýdan bug ýagdaýyna geçmegini we soňra substratyň ýüzünde gaýtadan kondensasiýalanyp, ýeke kristal emele getirmegini aňladýar.
4. Temperatura gözegçiligi: Sublimasiýa prosesinde blok çeşmesiniň sublimasiýasyny we monokristallaryň ösüşini höweslendirmek üçin temperatura gradientini we temperatura paýlanyşyny takyk gözegçilikde saklamak gerek. Degişli temperatura gözegçiligi ideal kristal hiline we ösüş tizligine ýetip biler.
5. Atmosferany gözegçilikde saklamak: Sublimasiýa prosesinde reaksiýa atmosferasyny hem gözegçilikde saklamak gerek. Ýokary arassa inert gaz (meselem, argon) adatça degişli basyşy we arassalygy saklamak hem-de hapaçylyklar bilen hapalanmagyň öňüni almak üçin daşaýjy gaz hökmünde ulanylýar.
6. Bir kristally ösüş: CVD-SiC blok çeşmesi sublimasiýa prosesinde bug fazasyna geçýär we substrat ýüzünde gaýtadan kondensasiýa bolup, bir kristally gurluş emele getirýär. SiC bir kristallarynyň çalt ösüşi degişli sublimasiýa şertleri we temperatura gradientini dolandyrmak arkaly gazanylyp bilner.









