VET Energy는 초고순도를 사용합니다탄화규소(SiC)화학 기상 증착으로 형성됨(CVD)성장의 원료로서SiC 결정물리적 증기 수송(PVT)에 의해. PVT에서는 원료 물질이도가니그리고 종자 결정으로 승화되었습니다.
고품질 제품을 제조하려면 고순도 원료가 필요합니다.SiC 결정.
VET 에너지는 PVT용 대입자 SiC 공급을 전문으로 합니다. Si와 C 함유 가스의 자연 연소로 형성된 소입자 재료보다 밀도가 높기 때문입니다. 고상 소결이나 Si와 C의 반응과 달리, 전용 소결로나 성장로에서 시간이 많이 소요되는 소결 단계가 필요하지 않습니다. 이 대입자 재료는 거의 일정한 증발 속도를 유지하여 공정 간 균일성을 향상시킵니다.
소개:
1. CVD-SiC 블록 소스 준비: 먼저, 일반적으로 고순도 및 고밀도의 고품질 CVD-SiC 블록 소스를 준비해야 합니다. 이는 적절한 반응 조건에서 화학 기상 증착(CVD) 방법을 통해 제조할 수 있습니다.
2. 기판 준비: SiC 단결정 성장에 적합한 기판을 선택합니다. 일반적으로 사용되는 기판 소재로는 탄화규소, 질화규소 등이 있으며, 이는 성장하는 SiC 단결정과 잘 맞습니다.
3. 가열 및 승화: CVD-SiC 블록 소스와 기판을 고온로에 넣고 적절한 승화 조건을 설정합니다. 승화는 고온에서 블록 소스가 고체에서 기체로 직접 변한 후 기판 표면에 재응축되어 단결정을 형성하는 것을 의미합니다.
4. 온도 제어: 승화 공정에서는 블록 소스의 승화와 단결정 성장을 촉진하기 위해 온도 구배와 온도 분포를 정밀하게 제어해야 합니다. 적절한 온도 제어를 통해 이상적인 결정 품질과 성장 속도를 얻을 수 있습니다.
5. 분위기 제어: 승화 공정 중에는 반응 분위기도 제어해야 합니다. 적절한 압력과 순도를 유지하고 불순물에 의한 오염을 방지하기 위해 일반적으로 고순도 불활성 가스(예: 아르곤)를 운반 가스로 사용합니다.
6. 단결정 성장: CVD-SiC 블록 소스는 승화 공정 동안 기상 전이를 거쳐 기판 표면에 재응축되어 단결정 구조를 형성합니다. 적절한 승화 조건과 온도 구배 제어를 통해 SiC 단결정의 빠른 성장을 달성할 수 있습니다.
우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!
