VET Energy аз тозагии ултра-баланд истифода мебарадкарбиди кремний (SiC)бо роҳи таҳшиншавии буғи кимиёвӣ ба вуҷуд омадааст(CVD)ҳамчун манбаи парваришиКристаллҳои SiCтавассути интиқоли буғи физикӣ (PVT). Дар PVT, маводи манбаъ батачва ба кристалли тухмӣ сублиматсия карда шудааст.
Барои истеҳсоли босифат манбаи тозагии баланд лозим астКристаллҳои SiC.
Ширкати VET Energy дар таъмини SiC-и зарраҳои калон барои PVT тахассус дорад, зеро он нисбат ба маводи зарраҳои хурд, ки дар натиҷаи сӯхтани худсаронаи газҳои дорои Si ва C ба вуҷуд меоянд, зичии баландтар дорад. Бар хилофи синтези фазаи сахт ё реаксияи Si ва C, он ба кӯраи махсуси синтез ё марҳилаи вақти зиёдро дар кӯраи афзоиш талаб намекунад. Ин маводи зарраҳои калон суръати бухоршавии қариб доимӣ дорад, ки якрангии давидан ба давиданро беҳтар мекунад.
Муқаддима:
1. Манбаи блоки CVD-SiC-ро омода кунед: Аввалан, шумо бояд манбаи блоки CVD-SiC-и баландсифатро омода кунед, ки одатан дорои тозагии баланд ва зичии баланд аст. Онро бо усули буғгузории кимиёвӣ (CVD) дар шароити мувофиқи реаксия омода кардан мумкин аст.
2. Омодасозии субстрат: Субстрати мувофиқро ҳамчун субстрат барои афзоиши монокристаллии SiC интихоб кунед. Маводҳои субстратии маъмулан истифодашаванда карбиди кремний, нитриди кремний ва ғайраро дар бар мегиранд, ки бо монокристаллии афзояндаи SiC мувофиқати хуб доранд.
3. Гармкунӣ ва сублиматсия: Манбаи блоки CVD-SiC ва субстратро дар кӯраи ҳарорати баланд ҷойгир кунед ва шароити мувофиқи сублиматсияро фароҳам оваред. Сублиматсия маънои онро дорад, ки дар ҳарорати баланд манбаи блок мустақиман аз ҳолати сахт ба ҳолати буғӣ тағйир меёбад ва сипас дар сатҳи субстрат дубора конденсатсия шуда, як кристаллро ташкил медиҳад.
4. Назорати ҳарорат: Дар раванди сублиматсия, градиенти ҳарорат ва тақсимоти ҳарорат бояд дақиқ назорат карда шаванд, то сублиматсияи манбаи блок ва афзоиши монокристаллҳоро мусоидат кунанд. Назорати дурусти ҳарорат метавонад ба сифати беҳтарини кристалл ва суръати афзоиш ноил гардад.
5. Назорати атмосфера: Дар раванди сублиматсия, атмосфераи реаксия низ бояд назорат карда шавад. Гази инертии тозагии баланд (масалан, аргон) одатан ҳамчун гази интиқолдиҳанда барои нигоҳ доштани фишор ва покии мувофиқ ва пешгирии ифлосшавӣ аз ифлосшавӣ истифода мешавад.
6. Афзоиши як кристаллӣ: Манбаи блоки CVD-SiC ҳангоми раванди сублиматсия гузариши фазаи буғро аз сар мегузаронад ва дар сатҳи субстрат дубора конденсация шуда, сохтори як кристаллӣ ташкил медиҳад. Афзоиши босуръати як кристаллҳои SiC метавонад тавассути шароити мувофиқи сублиматсия ва назорати градиенти ҳарорат ба даст оварда шавад.
Шуморо самимона барои боздид аз корхонаи мо истиқбол мекунем, биёед муҳокимаи минбаъда кунем!
