Cincin Grafit Dilapisi Tantalum Karbida Berpori
Grafit dilapisi tantalum karbida (TaC) berporiminangka bahan kunci sing dikembangake khusus kanggo lingkungan manufaktur semikonduktor kanthi suhu dhuwur lan korosif banget. Substrate kasebut yaiku grafit isostatik kanthi kemurnian dhuwur, dilapisi lapisan tantalum karbida berpori seragam nggunakake deposisi uap kimia (CVD). TaC nduweni kekerasan sing dhuwur banget (9-10 ing skala Mohs) lan titik leleh 3880°C. Digabungake karo stabilitas termal grafit sing apik banget lan sifat entheng, bahan iki nggabungake kekuatan suhu dhuwur kanthi resistensi serangan kimia lan kejut termal, dadi pilihan sing ideal kanggo peralatan proses semikonduktor sing beroperasi ing kahanan ekstrem.
Kauntungan saka Grafit Tantalum Karbida Berpori:
1. Tahan Korosi Ultra-Dhuwur
-TaC iku inert sacara kimia, kanthi efektif tahan korosi saka halogen kayata fluor lan klorin, saengga bisa ndawakake umur peralatan kanthi signifikan.
-Struktur keropos nambah area permukaan lapisan, mbentuk alangan protèktif sing luwih kuwat lan nyuda risiko partikel rontok.
2. Stabilitas Suhu Tinggi sing Apik Banget
-Kanthi titik leleh sing nyedhaki 4000°C, iki bisa beroperasi sajrone wektu sing suwe ing atmosfer vakum utawa atmosfer inert sing ngluwihi 2500°C.
-Koefisien ekspansi termal lapisan iki cocog banget karo grafit, nyegah retak lan delaminasi sing disebabake dening siklus termal.
3. Kemurnian Tinggi lan Kontaminasi Rendah
-Nggunakake bahan mentah lan proses kelas semikonduktor, kandungan pengotor logam sithik banget, saengga bisa nyuda risiko kontaminasi wafer kanthi signifikan.
-Permukaane padhet lan stabil sacara kimia, nyuda generasi partikel lan nyukupi standar kamar resik sing ketat.
4. Desain Khusus
Wangun sing kompleks bisa diprodhuksi miturut gambar pelanggan, lan porositas lan kekandelan lapisan bisa dikontrol kanggo entuk aliran gas lan konduktivitas termal sing optimal.
5. Umur dawa lan biaya perawatan murah
Ketahanan korosi lan aus sing dhuwur banget saka lapisan TaC keropos nambah umur komponen nganti 3-5 kali lipat dibandhingake karo grafit tradisional, saengga bisa nyuda frekuensi panggantos lan biaya perawatan.
Aplikasi Utama
1. Komponen inti kanggo manufaktur wafer
- Lapisan ruang reaksi, baffle, lan shower-head kanggo peralatan CVD/ALD
- Dhukungan target PVD
- Komponen proses suhu dhuwur kanggo difusi, oksidasi, anil, lan proses liyane
2. Sistem deposisi uap kimia
- Nglindhungi komponen kunci ing lingkungan sing korosif banget (kayata fluorida lan klorida) sajrone proses kasebut
3. Lingkungan korosif suhu dhuwur liyané
- Cocok kanggo pemurnian gas kimia, tungku pangolahan panas khusus, lan aplikasi liyane.
VET Energy minangka produsen profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kelas atas kayata grafit, silikon karbida, kuarsa, uga perawatan bahan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.
Kauntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian lan kualitas sing unggul ing industri;
• Rega kompetitif & wektu pangiriman cepet;
• Pirang-pirang kemitraan industri ing saindenging jagad;
Kita ngajak sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kapan wae!
