TaC бүрэх гэж юу вэ?

Хурдтай хөгжиж буй хагас дамжуулагчийн салбарт гүйцэтгэл, бат бөх чанар, үр ашгийг дээшлүүлэх материал чухал ач холбогдолтой юм. Ийм шинэлэг зүйл бол бал чулуун эд ангиудад хэрэглэдэг хамгийн сүүлийн үеийн хамгаалалтын давхарга болох Тантал карбидын (TaC) бүрээс юм. Энэхүү блог нь TaC coating-ийн тодорхойлолт, техникийн давуу тал, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хувиргах хэрэглээг судлах болно.

TaC бүрээстэй вафель мэдрэгч

 

Ⅰ. TaC бүрэх гэж юу вэ?

 

TaC бүрэх нь бал чулуун гадаргуу дээр тогтсон тантал карбид (тантал ба нүүрстөрөгчийн нэгдэл) -ээс бүрдсэн өндөр гүйцэтгэлтэй керамик давхарга юм. Энэхүү бүрхүүлийг ихэвчлэн Химийн уурын хуримтлал (CVD) эсвэл Физик уурын хуримтлал (PVD) техник ашиглан түрхэж, бал чулууг эрс тэс нөхцлөөс хамгаалдаг нягт, хэт цэвэр хаалт үүсгэдэг.

 

TaC бүрхүүлийн үндсэн шинж чанарууд

 

Өндөр температурын тогтвортой байдал: 2200°С-аас дээш температурт тэсвэртэй, 1600°C-ээс дээш температурт мууддаг цахиур карбид (SiC) зэрэг уламжлалт материалаас илүү сайн.

Химийн эсэргүүцэл: Устөрөгч (H₂), аммиак (NH₃), цахиурын уур, хайлсан металл зэргээс үүсэх зэврэлтийг тэсвэрлэдэг бөгөөд хагас дамжуулагч боловсруулах орчинд нэн чухал.

Хэт өндөр цэвэршилттэй: Бохирдлын түвшин 5 ppm-ээс бага, болор ургах процесс дахь бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.

Дулааны болон механик бат бөх чанар: Бал чулуунд хүчтэй наалддаг, дулааны тэлэлт багатай (6.3×10⁻⁶/K), хатуулаг (~2000 HK) нь дулааны эргэлтийн үед удаан эдэлгээтэй байдаг.

Ⅱ. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд TaC бүрэх: Гол хэрэглээ

 

TaC бүрсэн графит бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлд, ялангуяа цахиурын карбид (SiC) болон галлийн нитрид (GaN) төхөөрөмжүүдэд зайлшгүй шаардлагатай. Тэдгээрийн хэрэглээний чухал тохиолдлуудыг доор харуулав.

 

1. SiC Single Crystal Growth

SiC хавтан нь цахилгаан хэрэгсэл болон цахилгаан тээврийн хэрэгсэлд чухал ач холбогдолтой. TaC бүрсэн графит тигель ба мэдрэгчийг физик уурын тээвэрлэлт (PVT) болон өндөр температурт CVD (HT-CVD) системд дараахь зорилгоор ашигладаг.

● Бохирдлыг дарах: TaC-ийн бага хэмжээний хольц (жишээ нь, бор <0.01 ppm эсрэг графит дахь 1 ppm) нь SiC талст дахь согогийг бууруулж, өрөмтчийн эсэргүүцлийг сайжруулдаг (бүрээгүй бал чулууны хувьд 4.5 ом-см-ийн эсрэг 0.1 ом-см).

● Дулааны менежментийг сайжруулах: Нэг төрлийн ялгаруулах чадвар (1000°C-д 0.3) нь дулааны жигд тархалтыг баталгаажуулж, болор чанарыг оновчтой болгодог.

 

2. Эпитаксийн өсөлт (GaN/SiC)

Металл-Органик CVD (MOCVD) реакторуудад вафель зөөгч, форсунк зэрэг TaC бүрсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:

Хийн урвалаас урьдчилан сэргийлэх: 1400°С-д аммиак ба устөрөгчөөр сийлбэрлэхийг эсэргүүцэж, реакторын бүрэн бүтэн байдлыг хадгална.

Ургацыг сайжруулах: Бал чулуунаас ялгарах тоосонцорыг багасгаснаар CVD TaC бүрэх нь эпитаксиаль давхаргын согогийг багасгадаг бөгөөд энэ нь өндөр үзүүлэлттэй LED болон RF төхөөрөмжүүдэд чухал ач холбогдолтой юм.

 CVD TaC бүрсэн хавтан мэдрэгч

3. Хагас дамжуулагчийн бусад хэрэглээ

Өндөр температурт реакторууд: GaN үйлдвэрлэлийн шингээгч ба халаагч нь устөрөгчөөр баялаг орчинд TaC-ийн тогтвортой байдлыг хангадаг.

Өрөөнд харьцах: Бөгж, таг гэх мэт бүрсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь вафель шилжүүлэх явцад металлын бохирдлыг бууруулдаг

 

Ⅲ. TaC бүрэх яагаад өөр хувилбаруудаас илүү сайн ажилладаг вэ?

 

Уламжлалт материалтай харьцуулах нь TaC-ийн давуу талыг онцолж өгдөг.

Өмч TaC бүрэх SiC бүрэх Нүцгэн графит
Хамгийн их температур >2200°C <1600°C ~2000°C (муудсан)
Etch Rate NH₃ 0.2 мкм/цаг 1.5 мкм/цаг Үгүй
Бохирдлын түвшин <5 ppm Илүү өндөр 260 ppm хүчилтөрөгч
Дулааны цохилтын эсэргүүцэл Маш сайн Дунд зэрэг Хөөрхий

Салбарын харьцуулалтаас авсан мэдээлэл

 

IV. Яагаад МСҮТ-ийг сонгох вэ?

 

Технологийн судалгаа, хөгжилд тасралтгүй хөрөнгө оруулалт хийсний дарааМБС's Тантал карбид (TaC) бүрсэн эд анги, гэх мэтTaC бүрсэн бал чулуу чиглүүлэгч цагираг, CVD TaC бүрсэн хавтан мэдрэгч, Эпитаксийн төхөөрөмжид зориулсан TaC бүрсэн шингээгч,Тантал карбидаар бүрсэн сүвэрхэг бал чулуу материалболонTaC бүрээстэй вафель мэдрэгч, Европ, Америкийн зах зээлд маш их алдартай. МБС нь таны урт хугацааны түнш болохыг чин сэтгэлээсээ хүлээж байна.

TaC бүрсэн-доод-хагас сарын-хэсэг


Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 10
WhatsApp онлайн чат!