De CVD-coating focusring voor plasma-etsen is een essentieel verbruiksonderdeel dat wordt gebruikt in geavanceerde halfgeleideretssystemen. Dit product is ontworpen met een composietstructuur van substraat + CVD-coating en is bedoeld om de plasmaverdeling te optimaliseren, de etsuniformiteit te verbeteren en de levensduur van de kamercomponenten te verlengen.
Bij Vet Energy zetten we onze diepgaande expertise in chemische dampafzettingstechnologie (CVD) en geavanceerde keramische materialen in om focusringen te leveren die voldoen aan de strenge eisen van moderne halfgeleiderknooppunten, waaronder FinFET- en 3D NAND-processen.
De rol van de focusring bij plasma-etsen
Bij plasma-etssystemen (zoals ICP- en CCP-reactoren) bevindt de focusring zich rond de rand van de wafer en speelt deze een cruciale rol in de processtabiliteit en de opbrengst.
1. Controle van de plasma-uniformiteit
De focusring fungeert als een elektrische en fysieke grens die helpt bij het reguleren van de plasmadichtheidsverdeling over het waferoppervlak.
Belangrijkste voordelen:
● Verbeterde uniformiteit van de etssnelheid
● Verminderde variatie van midden naar rand
● Verbeterde procesherhaalbaarheid
2. Randeffectcompensatie
Zonder focusring kan vervorming van de plasmamantel aan de rand van de wafer leiden tot ongelijkmatige etsing.
De focusring functioneert in feite als een "virtuele waferverlenging", waardoor randgerelateerde afwijkingen zoals:
● Overetsing aan de randen van de wafer
● Kritische afmeting (CD) afwijking
● Profielvervorming
3. Ionentraject en energiecontrole
Door het lokale elektrische veld te beïnvloeden, helpt de focusring de invalshoeken en energieverdeling van de ionen te stabiliseren, wat cruciaal is voor:
● Etsen met een hoge aspectverhouding (HAR)
● Anisotrope profielregeling
● Minder schade aan de zijwand
4. Bescherming van de kamer en vermindering van verontreiniging
De focusring fungeert als opofferingscomponent en absorbeert de directe blootstelling aan plasma en de daarbij vrijgekomen bijproducten.
De daaruit voortvloeiende voordelen:
● Verminderde erosie van de kamerwand
● Lagere deeltjesverontreiniging
● Langere onderhoudsintervallen (preventief onderhoud)
