Grafiet waferboot voor depositie

Grafietwafelboot voor depositie (uitgelichte afbeelding)

Korte beschrijving:

De VET Energy grafiet waferhouder is een hoogwaardig verbruiksartikel, speciaal ontwikkeld voor depositieprocessen in de halfgeleider-, fotovoltaïsche en andere industrieën. Dit product is gemaakt van zeer zuiver, dicht grafiet en beschikt over uitstekende eigenschappen op het gebied van hoge temperaturen, corrosiebestendigheid, vormvastheid en andere eigenschappen. Het biedt een stabiel platform voor het depositieproces en zorgt voor een uniforme en vlakke afzetting van dunne films.

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

De PECVD-grafietboot van VET Energy is vervaardigd met zeer zuiver isostatisch grafiet, met een porositeit van minder dan 15% en een oppervlakteruwheid Ra≤1,6 μm. De superieure dimensionale stabiliteit en thermische geleidbaarheid zorgen voor een uniforme filmdepositie en een verbeterde celrendement.

Grafietmateriaal van SGL:

Typische parameter: R6510
Index	Testnorm	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Bulkdichtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Open porositeit	DIN66133	10	%
Middelgrote poriën	DIN66133	1.8	μm
Doorlaatbaarheid	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifieke elektrische weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Youngs modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Thermische uitzetting (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermische geleidbaarheid (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Het is specifiek ontworpen voor de productie van hoogrenderende zonnecellen en ondersteunt de verwerking van G12-wafers van groot formaat. Het geoptimaliseerde ontwerp van de drager verhoogt de doorvoer aanzienlijk, wat resulteert in hogere opbrengsten en lagere productiekosten.

Item	Type	Nummer waferdrager
PEVCD Grephite boot - De 156-serie	156-13 grafieten boot	144
	156-19 grafieten boot	216
	156-21 grafieten boot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite boot - De 125-serie	125-15 grafieten boot	196
	125-19 grafieten boot	252
	125-21 grafietboot	280