Grafietwaferboot voor depositie

VET Energy grafietwaferboot is een hoogwaardig verbruiksartikel, speciaal ontwikkeld voor depositieprocessen in de halfgeleider-, fotovoltaïsche en andere industrieën. Gemaakt van zeer zuiver grafietmateriaal met een hoge dichtheid, heeft dit product een uitstekende temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, maatvastheid en andere eigenschappen. Het kan een stabiel dragerplatform bieden voor het depositieproces en de uniformiteit en vlakheid van de depositie van dunne films garanderen.

De PECVD-grafietboot van VET Energy is vervaardigd met isostatisch grafiet met een hoge zuiverheidsgraad, met een porositeit van minder dan 15% en een oppervlakteruwheid van Ra ≤ 1,6 μm. De superieure maatvastheid en thermische geleidbaarheid zorgen voor een uniforme filmafzetting en een verbeterde celefficiëntie.