Poreuze tantaalcarbide gecoate grafietring

Poreuze tantaalcarbide gecoate grafietring
Poreus tantaalcarbide (TaC) gecoat grafietTantaalcarbide (TaC) is een belangrijk materiaal dat specifiek is ontwikkeld voor de hoge temperaturen en zeer corrosieve omgevingen van de halfgeleiderproductie. Het substraat bestaat uit zeer zuiver isostatisch grafiet, bedekt met een uniform poreuze tantaalcarbidecoating door middel van chemische dampafzetting (CVD). TaC heeft een extreem hoge hardheid (9-10 op de schaal van Mohs) en een smeltpunt van 3880 °C. In combinatie met de uitstekende thermische stabiliteit en het lichte gewicht van grafiet, combineert dit materiaal hoge temperatuursterkte met weerstand tegen chemische aantasting en thermische schokken, waardoor het een ideale keuze is voor halfgeleiderprocesapparatuur die onder extreme omstandigheden werkt.

Voordelen van poreus tantaalcarbidegrafiet:
1. Ultrahoge corrosiebestendigheid
-TaC is chemisch inert en biedt effectieve bescherming tegen corrosie door halogenen zoals fluor en chloor, waardoor de levensduur van apparatuur aanzienlijk wordt verlengd.
-De poreuze structuur vergroot het oppervlak van de coating, waardoor een robuustere beschermende barrière ontstaat en het risico op het loslaten van deeltjes wordt verminderd.
2. Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen
-Met een smeltpunt van bijna 4000 °C kan het gedurende langere perioden functioneren in vacuüm of inerte atmosferen boven de 2500 °C.
-De thermische uitzettingscoëfficiënt van de coating komt zeer goed overeen met die van het grafiet, waardoor scheuren en delaminatie als gevolg van temperatuurschommelingen worden voorkomen.
3. Hoge zuiverheid en lage verontreiniging
-Door gebruik te maken van grondstoffen en processen van halfgeleiderkwaliteit is het gehalte aan metaalverontreinigingen extreem laag, waardoor het risico op waferverontreiniging aanzienlijk wordt verminderd.
-Het oppervlak is dicht en chemisch stabiel, waardoor de vorming van deeltjes wordt verminderd en aan de strenge cleanroomnormen wordt voldaan.
4. Ontwerp op maat
Complexe vormen kunnen worden geproduceerd volgens klanttekeningen, en de porositeit en laagdikte kunnen worden geregeld om een ​​optimale gasstroom en thermische geleidbaarheid te bereiken.
5. Lange levensduur en lage onderhoudskosten
De extreem hoge corrosie- en slijtvastheid van poreuze TaC-coatings verlengt de levensduur van componenten met een factor 3 tot 5 in vergelijking met traditioneel grafiet, waardoor de vervangingsfrequentie en de onderhoudskosten worden verlaagd.

Belangrijkste toepassingen
1. Kerncomponenten voor de productie van wafers
- Bekledingen voor reactiekamers, schotten en douchekoppen voor CVD/ALD-apparatuur
- PVD-doelondersteuning
- Procescomponenten voor hoge temperaturen voor diffusie, oxidatie, gloeien en andere processen
2. Chemische dampafzettingssystemen
- Bescherming van belangrijke componenten in zeer corrosieve omgevingen (zoals fluoriden en chloriden) tijdens het proces
3. Andere corrosieve omgevingen met hoge temperaturen
- Geschikt voor chemische gaszuivering, gespecialiseerde warmtebehandelingsovens en andere toepassingen.